>
>
2025-12-05
1.ই-রশ্মি বাষ্পীভবন
উচ্চ-শক্তির ইলেকট্রন বিম ব্যবহার করে লক্ষ্যবস্তুতে বোমা ফেলতে, গতিশক্তিকে তাপীয় শক্তিতে রূপান্তরিত করে লক্ষ্যবস্তু গলে বা উজ্জ্বল করতে।গ্যাসীয় পরমাণুগুলি পাতলা ফিল্ম গঠনের জন্য স্তর পৃষ্ঠের উপর ঘনীভূত হয়এটি একটি "তাপীয় বাষ্পীভবন জমা" প্রক্রিয়া, এটি খাঁটি ধাতু এবং অক্সাইডের মতো বাল্ক লক্ষ্যগুলি ব্যবহার করে।
2.ম্যাগনেট্রন স্পট্রিং
ইনার্ট গ্যাসগুলি (যেমন, আর) প্লাজমাতে আয়নীকরণ করতে আরএফ / ডিসি বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র ব্যবহার করে। ত্বরিত আয়নগুলি লক্ষ্য পৃষ্ঠকে বোমা মেরে, স্পটার লক্ষ্য পরমাণুগুলিতে গতি স্থানান্তর করে, যা স্তরটিতে জমা হয়।যৌগিক ছায়াছবি "প্রতিক্রিয়াশীল স্পটারিং" (O2 প্রবর্তন) দ্বারা অর্জন করা যায়, N2), বাল্ক বা শীট খাদ/সংমিশ্রণ লক্ষ্যমাত্রা ব্যবহার করে।
|
তুলনা মাত্রা |
ই-রশ্মি বাষ্পীভবন |
ম্যাগনেট্রন স্পট্রিং |
|
ডিপোজিট রেট |
উচ্চ (০.১.১০ এনএম/সেকেন্ড), দ্রুত ঘন ফিল্ম জমাট বাঁধার জন্য আদর্শ |
মাঝারি-নিম্ন (০.০১.১ এনএম/এস), পাতলা ফিল্মের জন্য সুনির্দিষ্ট |
|
ফিল্ম অভিন্নতা |
মাঝারি (± 5 ∼ 10%), স্তর ঘূর্ণন নকশা উপর নির্ভর করে |
দুর্দান্ত (± 1 ¢ 3%), বড় এলাকার লেপ জন্য অসামান্য |
|
ফিল্ম ঘনত্ব |
নিম্ন (পোরোসিটি 5 ¢ 15%) আর্দ্রতা শোষণের প্রবণতা |
আল্ট্রা-হাই (পোরোসিটি <২%), ঘন এবং পরিধান প্রতিরোধী |
|
সংযুক্তি |
মাঝারি (ভ্যান ডের ওয়াল্স শক্তির আধিপত্য), সাবস্ট্র্যাট প্রাক চিকিত্সা প্রয়োজন |
শক্তিশালী (ইন্টারফেস মিশ্রণ আইওন বোমা হামলার মাধ্যমে), উচ্চতর স্থায়িত্ব |
|
অপটিক্যাল পারফরম্যান্স কন্ট্রোল |
স্থিতিশীল বিচ্ছিন্নতা সূচক (খাঁটি উপাদান বাষ্পীভবন); স্বচ্ছ ফিল্মের জন্য উচ্চ প্রবাহিততা (যেমন, SiO2, TiO2); কম ছড়িয়ে পড়া ক্ষতি |
Tunable refractive index (sputtering power/gas ratio); সহজ কম্পোজিট ফিল্ম তৈরি (যেমন, TiN, AlN) reactive sputtering এর মাধ্যমে; smooth films এর সাথে অতি-নিম্ন ছড়িয়ে পড়া ক্ষতি |
|
উপাদানগত সামঞ্জস্য |
উচ্চ গলনাঙ্কযুক্ত উপকরণগুলির জন্য উপযুক্ত (যেমন, Ta2O5, ZrO2); কম গলনাঙ্কযুক্ত/অস্থির উপকরণগুলির জন্য চ্যালেঞ্জিং |
বিস্তৃত (ধাতু, খাদ, যৌগ); মাল্টি-কম্পোনেন্ট ফিল্ম (যেমন, আইটিও, এমজিএফ 2-আল 2 ও 3) সক্ষম করে |
|
সাবস্ট্র্যাট তাপমাত্রার প্রভাব |
উচ্চ (১৫০-৩০০ ডিগ্রি সেলসিয়াস), স্তর বিকৃতির ঝুঁকি |
নিম্ন (0°C), নিম্ন তাপমাত্রা জমাট বাঁধতে সাবস্ট্র্যাট রক্ষা করে |
|
সরঞ্জামের খরচ ও রক্ষণাবেক্ষণ |
কম প্রাথমিক খরচ, সহজ রক্ষণাবেক্ষণ (সহজ লক্ষ্য প্রতিস্থাপন) |
উচ্চ প্রাথমিক খরচ (খরচো ম্যাগনেট্রন লক্ষ্যমাত্রা/পাওয়ার সিস্টেম); লক্ষ্যমাত্রা ব্যবহারের হার 30-50% |
•ছোট থেকে মাঝারি ব্যাচ উৎপাদনঃ গবেষণাগার গবেষণা ও উন্নয়ন, কাস্টমাইজড অপটিক্যাল উপাদান (লেন্স অ্যান্টি-রিফ্লেক্টিভ লেপ, সংকীর্ণ ব্যান্ড ফিল্টার) ।
•উচ্চ গলন বিন্দু বিশুদ্ধ ছায়াছবি: উচ্চ প্রতিচ্ছবি সূচক TiO2/ZrO2 ছায়াছবি, নিম্ন প্রতিচ্ছবি সূচক SiO2 ছায়াছবি।
•ঘন ফিল্মের জন্য প্রয়োজনীয়তাঃ আইআর প্রতিফলিত ফিল্ম (> 1μm), ধাতু প্রতিফলিত স্তর (Al, Ag ফিল্ম) ।
•তাপমাত্রার প্রতি সংবেদনশীল নয়ঃ গ্লাস, উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধী সিরামিক।
•ব্যাপক শিল্প উৎপাদনঃ ডিসপ্লে প্যানেল (আইটিও স্বচ্ছ পরিবাহী ফিল্ম), মোবাইল ফোনের লেন্সের এআর লেপ।
•বড় এলাকার লেপঃ পিভি গ্লাস, আর্কিটেকচারাল গ্লাস (> 1m2) ।
•উচ্চ স্থায়িত্বের চাহিদাঃ অটোমোটিভ অপটিক্যাল উপাদান, বহিরঙ্গন অপটিক্যাল যন্ত্রপাতি (পরিধান/জারা প্রতিরোধের) ।
•কম্পোজিট/মাল্টি-লেয়ার ফিল্মঃ গ্রেডিয়েন্ট রিফ্র্যাকটিভ ইন্ডেক্স ফিল্ম, মাল্টি-লেয়ার ফিল্টার (নির্ভুল ইন্টারফেস নিয়ন্ত্রণ) ।
•নিম্ন তাপমাত্রায় জমাট বাঁধনঃ প্লাস্টিকের স্তর (পিসি, পিএমএমএ), নমনীয় অপটিক্যাল উপাদান।
✅ উপকারিতা:
•উচ্চ অবসান দক্ষতা, সংক্ষিপ্ত উৎপাদন চক্র;
•খাঁটি ফিল্মের স্থিতিশীল অপটিক্যাল পারফরম্যান্স, চমৎকার ট্রান্সমিট্যান্স;
•কম সরঞ্জাম বিনিয়োগ, সহজ অপারেশন।
∙ অসুবিধা:
•ফিল্মের ঘনত্ব কম, দীর্ঘমেয়াদী স্থিতিশীলতা কম;
•বড় এলাকার অভিন্নতা নিয়ন্ত্রণ কঠিন;
•সীমিত ফিল্মের ধরন (অস্থির কম গলনযোগ্য উপাদান) ।
✅ উপকারিতা:
•শক্তিশালী আঠালো, ঘন / পরিধান প্রতিরোধী ফিল্ম, ভাল পরিবেশগত স্থিতিশীলতা;
•উচ্চতর বড় এলাকা অভিন্নতা, ভর উৎপাদন জন্য উপযুক্ত;
•ব্যাপক উপাদান সামঞ্জস্য, জটিল ফিল্ম তৈরি;
•নিম্ন তাপমাত্রা জমাট বাঁধতে পারে।
∙ অসুবিধা:
•ধীর অবসানের হার, কম ঘন ফিল্ম দক্ষতা;
•উচ্চ সরঞ্জাম খরচ, জটিল রক্ষণাবেক্ষণ (দ্রুত লক্ষ্যমাত্রা খরচ);
•রিঅ্যাক্টিভ স্পটারিংয়ের জন্য গ্যাসের অনুপাতের সঠিক নিয়ন্ত্রণ প্রয়োজন, উচ্চ প্রক্রিয়া টিউনিং অসুবিধা।
যে কোন সময় আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন