تبخير شعاع إلكتروني مقابل التدفق المغناطيسي للطلاء البصري: تحليل مقارن

I. نظرة عامة على المبادئ الأساسية

1.تبخر شعاع الكهرباء

يستخدم أشعة إلكترونية عالية الطاقة لتفجير مواد الهدف، وتحويل الطاقة الحركية إلى طاقة حرارية لإذابة الهدف.تتكثف الذرات الغازية على سطح الركيزة لتشكيل أفلام رقيقةعملية "ترسب تبخير حراري"، تستخدم أهداف كبيرة مثل المعادن النقية وأكسيدات.

2.رذاذ المغناطيس

تستخدم الحقول الكهربائية الراديوية/المستمرة لتأين الغازات الخاملة (مثل Ar) في البلازما. تقوم الأيونات المتسارعة بقصف سطح الهدف ، ونقل الزخم إلى ذرات الهدف ، والتي تتراكم على الروك.يمكن الحصول على الأفلام المركبة عن طريق "التدفق التفاعلي" (إدخال O2، N2) ، باستخدام أهداف السبائك / المركبات السائبة أو الصفيحة.

II. مقارنة الأداء الرئيسي (بالنسبة للطلاء البصري)

III - سيناريوهات التطبيق

تبخر شعاع الكهرباء

•إنتاج الدفعات الصغيرة والمتوسطة: مختبر البحث والتطوير، المكونات البصرية المخصصة (طلاءات العدسة المضادة للانعكاس، مرشحات النطاق الضيق).

•الأفلام النقية ذات نقطة ذوبان عالية: أفلام TiO2/ZrO2 ذات مؤشر انكسار مرتفع، أفلام SiO2 ذات مؤشر انكسار منخفض.

•متطلبات الألواح السميكة: الألواح العاكسة للأشعة تحت الحمراء (> 1μm) ، الطبقات العاكسة للمعادن (ألواح Al ، Ag).

•الرواسب غير الحساسة للحرارة: الزجاج والسيراميك المقاوم لدرجات الحرارة العالية.

رذاذ المغناطيس

•الإنتاج الصناعي الضخم: لوحات العرض (أفلام التوصيل الشفافة ITO) ، طلاء AR لمعدات الهاتف المحمول.

•طلاء المساحة الكبيرة: الزجاج الكهروضوئي، الزجاج المعماري (> 1m2).

•احتياجات عالية من المتانة: المكونات البصرية للسيارات، والأدوات البصرية الخارجية (مقاومة للاستنزاف / التآكل).

•الأفلام المركبة/متعددة الطبقات: الأفلام ذات المؤشر الانكساري المتدرج، المرشحات متعددة الطبقات (تحكم الدقة في الواجهة).

•ترسب درجة حرارة منخفضة: مواد بلاستيكية (PC ، PMMA) ، مواد بصرية مرنة.

IV. إيجابيات وسلبيات ملخص

تبخر شعاع الكهرباء

✅ المزايا

•كفاءة عالية في الترسب، دورة إنتاج قصيرة.

•أداء بصري مستقر للأفلام النقية، وعبرة ممتازة

•استثمارات معدات منخفضة، تشغيل سهل

عيبات:

•ضعف كثافة الفيلم وعدم كفاية الاستقرار على المدى الطويل.

•التحكم الصعب في توحيد المساحة الكبيرة.

•أنواع محدودة من الأفلام (المواد المتطايرة ذات الذوبان المنخفض).

رذاذ المغناطيس

✅ المزايا

•التماسك القوي، الأفلام الكثيفة/ المقاومة للاستعمال، الاستقرار البيئي الجيد.

•توحيد ممتاز في المساحة الكبيرة، مناسبة للإنتاج الجماعي.

•مادة متوافقة واسعة، تصنيع فيلم معقد.

•الترسب منخفض الحرارة يحمي الركائز

عيبات:

•معدل ترسب بطيء، كفاءة فيلم سميك منخفضة.

•تكلفة المعدات العالية، الصيانة المعقدة (الاستهلاك الهدف السريع)

•التحكم الدقيق في نسبة الغازات المطلوبة للتدفق التفاعلي، صعوبة عالية في ضبط العملية.