Máy Phủ Phim Chân Không PVD Cuộn đến Cuộn Lion King

Tổng quan về công nghệ

Phủ chân không PVD (R2R) cuộn đến cuộn là một công nghệ lắng đọng pha hơi vật lý tiên tiến được thiết kế để phủ liên tục các chất nền linh hoạt trong môi trường chân không (áp suất < 10⁻³ Torr). Quy trình sáng tạo này sử dụng kỹ thuật phun từ hoặc bay hơi để lắng đọng các lớp màng mỏng kim loại, oxit, nitrit hoặc cacbua lên các vật liệu linh hoạt, mang lại các đặc tính chức năng và trang trí vượt trội. Phương pháp R2R PVD vượt trội trong sản xuất số lượng lớn các vật liệu linh hoạt được phủ cho các ứng dụng điện tử, bao bì và công nghiệp.

Nguyên tắc hoạt động

Máy phủ chân không PVD cuộn đến cuộn thực hiện lắng đọng màng mỏng liên tục trên các chất nền linh hoạt thông qua một chuỗi quy trình được kiểm soát chính xác. Hệ thống duy trì độ căng của chất nền và điều kiện chân không trong suốt toàn bộ chu kỳ sản xuất để đảm bảo chất lượng lớp phủ đồng đều.

Nguyên tắc hoạt động từng bước:

1. Thiết lập Hệ thống Cuộn:

Cuộn chất nền linh hoạt (ví dụ: màng nhựa, lá kim loại) được nạp vào trạm cuộn. Các hệ thống kiểm soát độ căng được kích hoạt để duy trì độ căng thích hợp của chất nền trong quá trình xử lý.

1. Làm rỗng buồng chân không:

Buồng chân không đa vùng được làm rỗng đến áp suất quy trình yêu cầu bằng cách sử dụng kết hợp các bơm cơ học, Roots và khuếch tán để đạt đến mức chân không cuối cùng ≤5×10⁻⁴ Pa.

1. Quy trình tiền xử lý:

Chất nền trải qua quá trình làm sạch plasma hoặc kích hoạt bề mặt để loại bỏ các chất gây ô nhiễm và cải thiện độ bám dính của lớp phủ. Bước này sử dụng plasma argon để ăn mòn bề mặt chất nền.

1. Vào Vùng lắng đọng:

Chất nền đã được xử lý trước đi vào vùng lắng đọng, nơi vật liệu được hóa hơi từ các đích rắn bằng cách sử dụng các nguồn phun từ hoặc bay hơi.

1. Lắng đọng màng:

Vật liệu hóa hơi ngưng tụ trên bề mặt chất nền chuyển động, tạo thành một lớp màng mỏng. Khí phản ứng (N₂, O₂) có thể được đưa vào để tạo thành lớp phủ hợp chất (nitrit, oxit).

1. Làm mát & Đông đặc:

Chất nền đã được phủ đi qua vùng làm mát để ổn định cấu trúc màng lắng đọng trước khi ra khỏi buồng chân không.

1. Quá trình cuộn:

Chất nền đã được phủ được cuộn lên một cuộn thu dưới độ căng được kiểm soát, đảm bảo việc xử lý thích hợp vật liệu đã hoàn thành.

1. Kiểm soát quy trình:

Các hệ thống PLC tiên tiến theo dõi và điều chỉnh các thông số lắng đọng trong thời gian thực, bao gồm tốc độ đường truyền, công suất đích, tốc độ dòng khí và mức chân không để duy trì chất lượng lớp phủ nhất quán.

Ưu điểm chính

Hiệu quả sản xuất cao: Quá trình liên tục cho phép tốc độ sản xuất từ 10–300 mét mỗi phút, phù hợp với sản xuất quy mô lớn.

Độ đồng đều của lớp phủ vượt trội: Đạt được độ đồng đều về độ dày trong phạm vi ±3% trên chiều rộng và chiều dài của chất nền, đảm bảo hiệu suất nhất quán.

Tính linh hoạt của vật liệu: Có khả năng lắng đọng nhiều loại vật liệu khác nhau bao gồm kim loại (Al, Ag, Cu), oxit (SiO₂, Al₂O₃), nitrit (SiNx) và cacbua trên các chất nền linh hoạt khác nhau.

Đặc tính rào cản tuyệt vời: Lớp phủ cung cấp hiệu suất rào cản độ ẩm và oxy vượt trội (thấp nhất là 0,1 cc/m²/ngày đối với tốc độ truyền oxy).

Sản xuất tiết kiệm chi phí: Tỷ lệ sử dụng vật liệu cao (>85%) và giảm chất thải so với các phương pháp xử lý theo lô.

Thân thiện với môi trường: Quy trình không dung môi, không tạo ra chất thải nguy hại, đáp ứng các tiêu chuẩn EU RoHS và ISO 14001.

Các ngành công nghiệp ứng dụng

Điện tử linh hoạt: Bảng điều khiển cảm ứng, màn hình linh hoạt, OLED và bảng mạch in.

Bao bì: Bao bì thực phẩm và dược phẩm, màng rào cản và vật liệu bao bì kim loại hóa.

Năng lượng: Thành phần pin mặt trời, điện cực pin và thiết bị lưu trữ năng lượng.

Màng công nghiệp: Màng trang trí, màng bảo vệ và màng chức năng.

Ô tô: Màng trang trí nội thất, bề mặt bảng điều khiển và thành phần cảm biến.

Hàng tiêu dùng: Bao bì linh hoạt, giấy gói quà và linh kiện thiết bị điện tử.

Hiệu ứng lớp phủ & Tính chất chức năng

Hệ thống PVD cuộn đến cuộn có thể tạo ra nhiều lớp phủ chức năng khác nhau với các đặc tính hiệu suất cụ thể:

Lớp phủ quang học: Màng dẫn điện trong suốt, lớp phủ chống phản xạ và màng lọc ánh sáng.

Lớp phủ rào cản: Rào cản độ ẩm và oxy hiệu suất cao cho các ứng dụng bao bì.

Lớp phủ dẫn điện: Màng dẫn điện điện trở thấp cho các ứng dụng điện tử (điện trở bề mặt <10 Ω/sq).

Lớp phủ trang trí: Lớp hoàn thiện kim loại (vàng, bạc, crôm) với khả năng chống mài mòn tuyệt vời.

Lớp phủ bảo vệ: Màng chống trầy xước và chống ăn mòn để tăng độ bền.

Các loại cấu trúc

Thiết kế một buồng: Cấu hình nhỏ gọn cho các ứng dụng phủ đơn giản với các yêu cầu về chiều rộng chất nền hạn chế.

Thiết kế đa buồng: Hệ thống mô-đun với các vùng riêng biệt để tiền xử lý, lắng đọng và làm mát, cho phép lớp phủ đa lớp phức tạp.

Cấu hình chiều rộng lớn: Thiết kế chuyên dụng cho các chất nền có chiều rộng lên đến 2000mm, lý tưởng cho các ứng dụng bao bì và khổ lớn.

Cấu hình tốc độ cao: Được tối ưu hóa để đạt sản lượng tối đa với khả năng kiểm soát độ căng tiên tiến cho các chất nền mỏng, tinh tế.

Vật liệu chất nền

Nhựa dẻo (PET, PP, PE, PI), lá kim loại (Al, Cu), giấy, hàng dệt và vật liệu composite.

Vật liệu lớp phủ

Kim loại: Nhôm (Al), đồng (Cu), bạc (Ag), crôm (Cr).

Oxit: Silicon dioxide (SiO₂), nhôm oxit (Al₂O₃), titan oxit (TiO₂).

Nitrit: Silicon nitride (SiNx), titanium nitride (TiN).

Hợp kim: Nhiều đích hợp kim khác nhau cho lớp phủ chức năng chuyên dụng.

Các dây chuyền sản xuất hỗ trợ

Tích hợp với hệ thống làm sạch trước khi phủ, mô-đun xử lý plasma và hệ thống kiểm tra sau khi phủ (đo độ dày quang học, phát hiện khuyết tật).

Vật tư tiêu hao

Vật liệu đích (Al, Cu, Ag, SiO₂, v.v.), khí quy trình (Ar, N₂, O₂) và dầu bơm chân không.

Ứng dụng

Điện tử: Màn hình linh hoạt, màn hình cảm ứng và điện tử in yêu cầu lớp phủ dẫn điện và bảo vệ.

Bao bì: Màng rào cản cao để bảo quản thực phẩm và bao bì dược phẩm.

Năng lượng: Màng quang điện và linh kiện pin với lớp phủ chức năng chuyên dụng.

Ô tô: Màng trang trí và bảo vệ cho các ứng dụng nội và ngoại thất.

Tùy chỉnh

Hệ thống PVD R2R của chúng tôi có các vùng lắng đọng có thể điều chỉnh, cấu hình đa đích và hệ thống kiểm soát độ căng tiên tiến. Các tùy chọn tùy chỉnh bao gồm chiều rộng web, số lượng trạm phủ và các mô-đun quy trình chuyên dụng cho các yêu cầu ứng dụng độc đáo.