라이온 킹 PVD 진공 코팅 기계

기술 개요

롤 투 롤 (R2R) PVD 진공 코팅은 진공 환경에서 유연한 기판의 연속 코팅 (압 < 10−3 Torr) 을 위해 설계된 첨단 물리적 증기 퇴적 기술이다.이 혁신적 인 과정 은 금속 의 얇은 필름 을 퇴적 하기 위해 자기트론 분출 또는 증발 기술 을 이용 합니다, 산화물, 질소 또는 탄화물 유연한 재료로, 뛰어난 기능적 및 장식적 특성을 제공합니다.R2R PVD 방법은 전자제품에 대한 코팅 유연성 물질의 대량 생산에 탁월합니다., 포장 및 산업용 응용 프로그램.

작동 원칙

롤 투 롤 PVD 진공 코팅 기계는 정확하게 제어 된 일련의 과정을 통해 유연한 기판에 지속적인 얇은 필름 퇴적을 수행합니다.시스템은 전체 생산 주기 동안 기판 긴장 및 진공 조건을 유지하여 균일한 코팅 품질을 보장합니다..

단계별 작동 원리:

1.풀기 시스템 설정:

유연한 기판 롤 (예를 들어, 플라스틱 필름, 금속 필름) 은 풀기 역에 부하됩니다. 가공 중에 기판의 적절한 튼튼성을 유지하기 위해 긴장 제어 시스템이 작동합니다.

1.진공실 대피:

다중 영역 진공 방은 기계적, 뿌리 및 확산 펌프의 조합을 사용하여 필요한 공정 압력에 진공하여 최종 진공 수준 ≤5×10−4 Pa에 도달합니다.

1.사전 처리 과정:

기판은 오염 물질을 제거하고 코팅 접착력을 향상시키기 위해 플라스마 정화 또는 표면 활성화를 거친다. 이 단계는 기판 표면을 새기 위해 아르곤 플라스마를 사용합니다.

1.퇴적 구역 진입:

미리 처리된 기판은 퇴적 구역으로 들어가고, 매그네트론 스프터링 또는 증발원을 사용하여 고체 목표물에서 물질을 증발시킵니다.

1.필름 분해:

증기 된 물질은 움직이는 기판 표면에 응고하여 얇은 필름을 형성합니다. 반응성 가스 (N2, O2) 를 도입하여 복합 코팅 (산화질소, 산화질소) 을 형성 할 수 있습니다.

1.냉각 및 응고:

코팅 된 기체는 진공 방 밖으로 나기 전에 퇴적 된 필름 구조를 안정시키기 위해 냉각 구역을 통과합니다.

1.롤링 프로세스:

코팅 된 기판은 제어 된 긴장 하에 흡수 롤에 롤되어 완성 된 재료의 적절한 취급을 보장합니다.

1.프로세스 제어:

첨단 PLC 시스템은 선 속도, 목표 전력, 가스 흐름 속도 및 진공 수준을 포함하여 일관된 코팅 품질을 유지하기 위해 실시간으로 퇴적 매개 변수를 모니터링하고 조정합니다.

주요 이점

높은 생산 효율성:연속 가공은 1분당 10~300m의 생산 속도를 가능하게 하며, 대규모 제조에 적합합니다.

우수한 코팅 균일성:두께의 균일성은 기판 너비와 길이의 ±3% 내에 달성되며 일관된 성능을 보장합니다.

재료 다양성:금속 (Al, Ag, Cu), 산화물 (SiO2, Al2O3), 질산물 (SiNx) 및 탄화물 등 다양한 유연한 기판에 다양한 물질을 저장할 수 있다.

우수한 장벽 특성:코팅은 우수한 습도 및 산소 장벽 성능을 제공합니다 (산소 전송 속도에서 0.1 cc/m2/day까지 낮습니다).

비용 효율적 인 생산:대량 처리 방식에 비해 높은 재료 활용률 (>85%) 및 폐기물 감소

환경 친화적:위험 폐기물 발생이 없는 용매 없는 공정으로 EU RoHS 및 ISO 14001 표준을 충족합니다.

응용 산업

유연한 전자:터치 패널, 플렉서블 디스플레이, OLED, 인쇄 회로 보드

포장:식품 및 의약품 포장, 장막 필름, 금속화 포장재

에너지:태양전지 부품, 배터리 전극, 에너지 저장장치

산업용 필름:장식용 필름, 보호 필름, 기능성 필름

자동차:실내 장식 필름, 제어판 표면, 센서 부품

소비물:유연한 포장, 선물 포장, 전자 장치 부품

코팅 효과 및 기능적 특성

롤 투 롤 PVD 시스템은 특정 성능 특성을 가진 다양한 기능 코팅을 생산할 수 있습니다.

광학 코팅:투명한 전도성 필름, 반사 방지 코팅, 빛 필터링 필름

장벽 코팅:포장용 용품의 고성능 습도 및 산소 장벽

선도성 코팅:전자 용품에 사용되는 저저항성 전도성 필름 (표면 저항 <10 Ω/sq)

장식용 코팅:금속 (금, 은, 크롬) 은 경개 저항성이 뛰어나다.

보호 코팅:더 오래 사용할 수 있도록 스크래치 저항성 및 부식 저항성 필름.

구조 유형

단일 방 설계:제한된 기판 너비 요구 사항이있는 간단한 코팅 애플리케이션을위한 컴팩트 구성

다방위 설계:전처리, 퇴적 및 냉각을 위한 별도의 구역을 가진 모듈 시스템으로 복잡한 다층 코팅을 허용합니다.

넓은 너비 구성:2000mm까지의 폭의 기판에 대한 전문 설계, 포장 및 대용량 애플리케이션에 이상적입니다.

고속 구성이:얇고 섬세한 기판을 위한 첨단 긴장 조절으로 최대 생산 처리량을 위해 최적화되었습니다.

기판 소재

유연한 플라스틱 (PET, PP, PE, PI), 금속 필름 (Al, Cu), 종이, 섬유 및 복합재료.

코팅 소재

금속: 알루미늄 (Al), 구리 (Cu), 은 (Ag), 크롬 (Cr).

산화물: 실리콘 이산화물 (SiO2), 알루미늄 산화물 (Al2O3), 티타늄 산화물 (TiO2)

질산화물: 실리콘 질산화물 (SiNx), 티타늄 질산화물 (TiN)

합금: 특수 기능 코팅을 위한 다양한 합금 목표물.

지원 생산 라인

선 코팅 청소 시스템, 플라즈마 처리 모듈 및 코팅 후 검사 시스템 (광학 두께 측정, 결함 탐지) 과 통합됩니다.

소모품

대상 재료 (Al, Cu, Ag, SiO2, 등), 공정 가스 (Ar, N2, O2) 및 진공 펌프 오일.

신청서

전자:유연한 디스플레이, 터치 스크린, 유도 및 보호 코팅이 필요한 인쇄 전자제품

포장:식품 보존 및 의약품 포장용 고장벽 필름

에너지:광전기 필름과 특수 기능 코팅을 가진 배터리 부품

자동차:실내 및 외관용 장식 및 보호 필름

사용자 정의

우리의 R2R PVD 시스템은 조절 가능한 퇴적 구역, 다목적 구성 및 고급 긴장 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 사용자 정의 옵션에는 웹 너비, 코팅 스테이션 수,특수한 애플리케이션 요구사항을 위한 특화된 프로세스 모듈.