Lion King Roll-to-Roll PVD Vakuumbeschichtungsmaschine

Technologieübersicht

Roll to Roll (R2R) PVD-Vakuumbeschichtung ist eine fortschrittliche physikalische Dampfdepositionstechnologie, die für die kontinuierliche Beschichtung von flexiblen Substraten in einer Vakuumumgebung (Druck < 10−3 Torr) entwickelt wurde.Dieses innovative Verfahren verwendet Magnetron-Sputterung oder Verdunstungstechniken, um dünne Metallfolien abzulegen, Oxide, Nitride oder Karbide auf flexible Materialien, die überlegene funktionelle und dekorative Eigenschaften bieten.Die R2R-PVD-Methode zeichnet sich bei der Produktion von hochvolumigen beschichteten flexiblen Materialien für Elektronik aus, Verpackung und industrielle Anwendungen.

Arbeitsprinzip

Eine Roll-to-Roll-PVD-Vakuumbeschichtungsmaschine führt durch eine präzise kontrollierte Abfolge von Prozessen eine kontinuierliche Dünnschichtablagerung auf flexible Substrate durch.Das System hält die Spannungs- und Vakuumbedingungen des Substrats während des gesamten Produktionszyklus aufrecht, um eine einheitliche Beschichtungsqualität zu gewährleisten..

Arbeitsprinzip Schritt für Schritt:

1.Einrichtung des Systems zur Entspannung:

Die flexible Substratrolle (z. B. Kunststofffolie, Metallfolie) wird auf die Aufwicklungsanlage geladen.

1.Vakuumkammer Evakuierung:

Die Mehrzonen-Vakuumkammer wird mit einer Kombination von mechanischen, Roots- und Diffusionspumpen auf den erforderlichen Prozessdruck evakuiert, um ein ultimatives Vakuumniveau von ≤ 5 × 10−4 Pa zu erreichen.

1.Vorbehandlung:

Das Substrat wird einer Plasma-Reinigung oder Oberflächenaktivierung unterzogen, um Verunreinigungen zu entfernen und die Beschichtungsabhängigkeit zu verbessern.

1.Eintritt in die Deposition Zone:

Das vorbehandelte Substrat tritt in die Ablagerungszone ein, in der das Material mit Hilfe von Magnetronen-Sputtern oder Verdunstungsquellen von festen Zielen verdampft wird.

1.Filmbestätigung:

Das verdampfte Material kondensiert sich auf der beweglichen Substratoberfläche und bildet einen dünnen Film.

1.Kühlung und Verfestigung:

Das beschichtete Substrat durchläuft eine Kühlzone, um die abgelagene Filmstruktur zu stabilisieren, bevor es die Vakuumkammer verlässt.

1.Wickelprozess:

Das beschichtete Substrat wird unter kontrollierter Spannung auf eine Aufnahmerolle gewickelt, um eine ordnungsgemäße Handhabung des fertigen Materials sicherzustellen.

1.Prozesssteuerung:

Erweiterte PLC-Systeme überwachen und passen die Ablagerungsparameter in Echtzeit an, einschließlich der Leitunggeschwindigkeit, der Zielleistung, der Gasdurchflussraten und der Vakuumstärke, um eine gleichbleibende Beschichtungsqualität zu gewährleisten.

Wichtige Vorteile

Hohe ProduktionseffizienzDie kontinuierliche Verarbeitung ermöglicht eine Produktionsgeschwindigkeit von 10 ‰ 300 Metern pro Minute, die für die Großproduktion geeignet ist.

Überlegene Beschichtungsuniformität:Erreicht eine Dicken-Einheitlichkeit von ± 3% über die Substratbreite und -Länge hinweg und gewährleistet eine gleichbleibende Leistung.

Materialvielseitigkeit:In der Lage, verschiedene Materialien, einschließlich Metalle (Al, Ag, Cu), Oxide (SiO2, Al2O3), Nitride (SiNx) und Carbide auf unterschiedlichen flexiblen Substraten abzulegen.

Ausgezeichnete Barriereeigenschaften:Die Beschichtungen bieten eine überlegene Feuchtigkeits- und Sauerstoffbarriereleistung (bis zu 0,1 cc/m2/Tag für die Sauerstoffübertragungsrate).

Kostenwirksame Produktion:Hohe Materialnutzung (> 85%) und geringere Abfälle im Vergleich zu Chargenverarbeitungsmethoden.

Umweltfreundlich:Lösungsmittelfreies Verfahren ohne Entstehung gefährlicher Abfälle, das den EU-RoHS- und ISO 14001-Normen entspricht.

Angewandte Industrie

Flexible Elektronik:Touch-Panels, flexible Displays, OLEDs und Leiterplatten.

Verpackung:Lebensmittel- und pharmazeutische Verpackungen, Barrierefolien und metallisierte Verpackungsmaterialien.

Energie:Komponenten von Solarzellen, Batterieelektroden und Energiespeicher.

Industriefilme:Dekorative Filme, Schutzfilme und funktionelle Membranen.

Automobilindustrie:Innenarchitektonische Dekorationsfolien, Kontrollplattenoberflächen und Sensorkomponenten.

Verbrauchsgüter:Flexible Verpackungen, Geschenkverpackungen und elektronische Gerätekomponenten.

Beschichtungseffekte und funktionelle Eigenschaften

Das Roll to Roll PVD-System kann verschiedene funktionelle Beschichtungen mit spezifischen Leistungsmerkmalen herstellen:

Optische Beschichtungen:Durchsichtige leitfähige Filme, antireflektierende Beschichtungen und lichtfilternde Filme.

Barrierebeschichtungen:Hochleistungs-Feuchtigkeits- und Sauerstoffbarrieren für Verpackungen.

mit einer Breite von mehr als 20 mm,Leitfähige Folie mit geringem Widerstand für elektronische Anwendungen (Oberflächenwiderstand < 10 Ω/q).

mit einer Breite von mehr als 20 mm,Metallische Oberflächen (Gold, Silber, Chrom) mit hervorragender Abriebfestigkeit.

Schutzbeschichtungen:Kratz- und Korrosionsbeständige Folien für eine höhere Haltbarkeit.

Strukturtypen

Einfachkammerkonstruktion:Kompakte Konfiguration für einfache Beschichtungsanwendungen mit begrenzten Anforderungen an die Substratbreite.

Mehrfachkammerkonstruktion:Modulares System mit separaten Zonen für Vorbehandlung, Ablagerung und Kühlung, das komplexe Mehrschichtbeschichtungen ermöglicht.

Breitbreitenkonfiguration:Spezialisiertes Design für Substrate bis zu einer Breite von 2000 mm, ideal für Verpackungen und Großformat-Anwendungen.

Hochgeschwindigkeitskonfiguration:Optimiert für maximale Produktionsleistung mit fortschrittlicher Spannungskontrolle für dünne, empfindliche Substrate.

Substratmaterialien

Flexible Kunststoffe (PET, PP, PE, PI), Metallfolien (Al, Cu), Papier, Textilien und Verbundwerkstoffe.

Beschichtungsmaterialien

Metalle: Aluminium (Al), Kupfer (Cu), Silber (Ag), Chrom (Cr).

Oxide: Siliziumdioxid (SiO2), Aluminiumoxid (Al2O3), Titanoxid (TiO2).

Nitride: Siliziumnitrid (SiNx), Titannitrid (TiN).

Legierungen: Verschiedene Legierungsziele für spezielle funktionelle Beschichtungen.

Unterstützende Produktionslinien

Integriert mit Vorbeschichtung Reinigungssystemen, Plasmabehandlungsmodulen und Nachbeschichtung Inspektionssysteme (optische Dicke Messung, Defektdetektion).

Verbrauchsmaterialien

Zielmaterialien (Al, Cu, Ag, SiO2 usw.), Prozessgase (Ar, N2, O2) und Vakuumpumpenöle.

Anwendungen

Elektronik:Flexible Displays, Touchscreen und gedruckte Elektronik, die leitfähige und schützende Beschichtungen erfordern.

Verpackung:Hochbarrierefolien für Lebensmittelkonservierung und pharmazeutische Verpackungen.

Energie:Photovoltaikfolien und Batteriekomponenten mit speziellen funktionalen Beschichtungen.

Automobilindustrie:Dekorative und schützende Folien für Innen- und Außenanwendungen.

Anpassung

Unsere R2R-PVD-Systeme verfügen über verstellbare Ablagerungszonen, Multi-Target-Konfigurationen und fortschrittliche Spannungskontrollsysteme.und spezialisierte Prozessmodule für spezielle Anwendungsbedürfnisse.