ماشین پوشش خلاء PVD Lion King

خلاصه ی تکنولوژی

پوشش خلاء PVD از رول به رول (R2R) یک فناوری پیشرفته تسهیل بخار فیزیکی است که برای پوشش مداوم زیربناهای انعطاف پذیر در محیط خلاء (ضغط < 10-3 Torr) طراحی شده است.این فرآیند نوآورانه از تکنیک های اسپتر کردن ماگنترون یا تبخیر استفاده می کند تا فیلم های نازک فلزات را قرار دهد، اکسید ها، نیترید ها یا کاربید ها را روی مواد انعطاف پذیر قرار می دهند که خواص عملکردی و تزئینی برتر را فراهم می کنند.روش R2R PVD در تولید حجم بالا از مواد انعطاف پذیر پوشش داده شده برای الکترونیک برجسته است، بسته بندی و کاربردهای صنعتی.

اصل کار

یک ماشین پوشش خلاء PVD رول به رول، از طریق یک دنباله دقیق کنترل شده از فرآیندهای، رسوب مداوم فیلم نازک را بر روی زیربناهای انعطاف پذیر انجام می دهد.سیستم شرایط تنش و خلاء بستر را در طول کل چرخه تولید حفظ می کند تا کیفیت پوشش یکسانی را تضمین کند.

اصول کار مرحله به مرحله:

1.تنظیمات سیستم باز کردن:

رول سبسترات انعطاف پذیر (به عنوان مثال، فیلم پلاستیکی، ورق فلزی) بر روی ایستگاه حل و فصل بارگذاری می شود. سیستم های کنترل تنش برای حفظ تنش مناسب سبسترات در طول پردازش درگیر می شوند.

1.تخليه اتاق خلاء:

اتاق خلاء چند منطقه ای با استفاده از ترکیبی از پمپ های مکانیکی، ریشه ها و پخش به فشار مورد نیاز تخلیه می شود تا به سطوح خلاء نهایی ≤5 × 10-4 Pa برسد.

1.فرآیند پیش درمان:

بستر تحت تمیز کردن پلاسما یا فعال سازی سطح قرار می گیرد تا آلاینده ها را از بین ببرد و چسبندگی پوشش را بهبود بخشد. این مرحله از پلاسما آرگون برای حک کردن سطح بستر استفاده می کند.

1.ورود به منطقه سپرده گذاری:

بستر پیش درمان شده وارد منطقه رسوب می شود که در آن مواد از اهداف جامد با استفاده از اسپتر کردن ماگنترون یا منابع تبخیر تبخیر می شوند.

1.فيلم سپرده:

مواد تبخیر شده بر روی سطح زیربنای متحرک ، یک فیلم نازک تشکیل می دهند. گاز های واکنش پذیر (N2 ، O2) می توانند برای تشکیل پوشش های ترکیبی (نیترید ، اکسید) وارد شوند.

1.خنک سازی و جامد سازی:

بستر پوشش داده شده قبل از خروج از اتاق خلاء از یک منطقه خنک کننده برای تثبیت ساختار فیلم سپرده می گذرد.

1.فرآیند پیچ و تاب:

بستر پوشش داده شده تحت فشار کنترل شده بر روی یک رول گیرنده پیچیده می شود، اطمینان از دستکاری مناسب مواد نهایی.

1.کنترل فرآیند:

سیستم های پیشرفته PLC پارامترهای رسوب را در زمان واقعی نظارت و تنظیم می کنند، از جمله سرعت خط، قدرت هدف، نرخ جریان گاز و سطح خلاء برای حفظ کیفیت ثابت پوشش.

مزیت های اصلی

بهره وری تولید بالا:پردازش مستمر سرعت تولید را به سرعت 10 × 300 متر در دقیقه امکان پذیر می کند که برای تولید در مقیاس بزرگ مناسب است.

یکنواختی پوشش برتر:دستیابی به یکسانی ضخامت در عرض ± 3٪ در عرض و طول بستر، اطمینان از عملکرد سازگار.

تنوع مواد:قادر به سپرده گذاری مواد مختلف از جمله فلزات (Al، Ag، Cu) ، اکسیدها (SiO2، Al2O3) ، نیتریدها (SiNx) و کربیدهای مختلف بر روی زیربناهای انعطاف پذیر.

خواص موانع عالی:پوشش ها عملکرد رطوبت و موانع اکسیژن برتر را ارائه می دهند (در حدود 0.1 سی سی / متر / روز برای سرعت انتقال اکسیژن).

تولید مقرون به صرفهمیزان استفاده از مواد بالا (> 85٪) و کاهش ضایعات در مقایسه با روش های پردازش دسته.

دوستانه به محیط زیست:فرآیند بدون حلال بدون تولید زباله های خطرناک، مطابق با استاندارد های RoHS و ISO 14001 اتحادیه اروپا.

صنایع کاربردی

الکترونیک انعطاف پذیر:پنل های لمسی، صفحه نمایش های انعطاف پذیر، OLED ها و صفحه های مداری چاپی.

بسته بندی:بسته بندی مواد غذایی و دارویی، فیلم های مانع و مواد بسته بندی فلزی.

انرژی:اجزای سلول های خورشیدی، الکترود های باتری و دستگاه های ذخیره انرژی.

فیلم های صنعتی:فیلم های تزئینی، فیلم های محافظ و غشا های کاربردی.

خودرو:فیلم های تزئینی داخلی، سطوح پنل کنترل و اجزای سنسور.

کالاهای مصرفی:بسته بندی انعطاف پذیر، بسته بندی هدیه، و قطعات دستگاه الکترونیکی.

اثرات پوشش و خواص کاربردی

سیستم رول تا رول PVD می تواند پوشش های کاربردی مختلفی را با ویژگی های عملکردی خاص تولید کند:

پوشش های نوری:فیلم های رسانای شفاف، پوشش های ضد انعکاس و فیلم های فیلتر نور.

پوشش های مانع:موانع رطوبت و اکسیژن با عملکرد بالا برای کاربردهای بسته بندی

پوشش های رسانا:فیلم های رسانای مقاومت پایین برای کاربردهای الکترونیکی (مقاومت سطح <10 Ω/sq).

پوشش های تزئینی:پوشش فلزی (طلای، نقره، کروم) با مقاومت بسیار عالی در برابر سایش.

پوشش های محافظ:فیلم های مقاوم به خراش و مقاوم به خوردگی برای دوام بیشتر.

انواع ساختار

طراحی تک اتاق:پیکربندی فشرده برای کاربردهای پوشش ساده با نیازهای محدودی در عرض بستر.

طراحی چند اتاقی:سیستم ماژولار با مناطق جداگانه برای پیش تربیتی، رسوب و خنک سازی، اجازه پوشش چند لایه ای پیچیده را می دهد.

پیکربندی پهن:طراحی تخصصی برای سبسترها تا عرض 2000 میلی متر، ایده آل برای بسته بندی و برنامه های کاربردی بزرگ.

تنظیمات سرعت بالا:برای حداکثر تولید بهینه شده با کنترل تنش پیشرفته برای زیربناهای نازک و نازک.

مواد زیربنایی

پلاستیک های انعطاف پذیر (PET، PP، PE، PI) ، ورق های فلزی (Al، Cu) ، کاغذ، پارچه و مواد کامپوزیت.

مواد پوشش

فلزات: آلومینیوم (Al) ، مس (Cu) ، نقره (Ag) ، کروم (Cr).

اکسید: دی اکسید سیلیکون (SiO2) ، اکسید آلومینیوم (Al2O3) ، اکسید تیتانیوم (TiO2)

نیتریدها: نیترید سیلیکون (SiNx) ، نیترید تیتانیوم (TiN)

آلیاژ: اهداف مختلف آلیاژ برای پوشش های کاربردی تخصصی.

خطوط تولیدی پشتیبانی

یکپارچه با سیستم های تمیز کردن قبل از پوشش، ماژول های درمان پلاسما و سیستم های بازرسی پس از پوشش (مقادیر ضخامت نوری، تشخیص نقص).

مواد مصرفی

مواد هدف (Al، Cu، Ag، SiO2 و غیره) ، گاز های فرآیند (Ar، N2، O2) و روغن های پمپ خلاء.

درخواست ها

الکترونیک:صفحه نمایش های انعطاف پذیر، صفحه نمایش های لمسی و دستگاه های الکترونیکی چاپی که نیاز به پوشش رسانا و محافظ دارند.

بسته بندی:فیلم های مانع بالا برای نگهداری مواد غذایی و بسته بندی دارویی.

انرژی:فیلم های خورشیدی و قطعات باتری با پوشش های کاربردی تخصصی

خودرو:فیلم های تزئینی و محافظتی برای کاربردهای داخلی و خارجی

سفارشی سازی

سیستم های PVD R2R ما دارای مناطق رسوب قابل تنظیم، پیکربندی های چند هدف و سیستم های کنترل تنش پیشرفته هستند. گزینه های سفارشی شامل عرض وب، تعداد ایستگاه های پوشش،و ماژول های فرآیند تخصصی برای نیازهای کاربردی منحصر به فرد.