Lion King Rulo-Rulo PVD Vakum Kaplama Makinesi

Teknolojiye Genel Bakış

Rulo-Rulo (R2R) PVD vakum kaplama, esnek yüzeylerin vakum ortamında (basınç < 10⁻³ Torr) sürekli kaplanması için tasarlanmış gelişmiş bir fiziksel buhar biriktirme teknolojisidir. Bu yenilikçi süreç, esnek malzemeler üzerine metal, oksit, nitrür veya karbür ince filmler biriktirmek için manyetron püskürtme veya buharlaştırma tekniklerini kullanır ve üstün fonksiyonel ve dekoratif özellikler sağlar. R2R PVD yöntemi, elektronik, ambalaj ve endüstriyel uygulamalar için kaplanmış esnek malzemelerin yüksek hacimli üretiminde mükemmeldir.

Çalışma Prensibi

Bir Rulo-Rulo PVD vakum kaplama makinesi, esnek yüzeyler üzerine hassas bir şekilde kontrol edilen bir dizi işlemle sürekli ince film biriktirme gerçekleştirir. Sistem, düzgün kaplama kalitesini sağlamak için tüm üretim döngüsü boyunca yüzey gerginliğini ve vakum koşullarını korur.

Adım adım çalışma prensibi:

1. Geri Sarma Sistemi Kurulumu:

Esnek yüzey rulosu (örneğin, plastik film, metal folyo) geri sarma istasyonuna yüklenir. İşlem sırasında uygun yüzey gerginliğini korumak için gerginlik kontrol sistemleri devreye alınır.

1. Vakum Odası Tahliyesi:

Çok bölgeli vakum odası, nihai vakum seviyelerine ≤5×10⁻⁴ Pa ulaşmak için mekanik, Roots ve difüzyon pompalarının bir kombinasyonu kullanılarak gerekli işlem basıncına tahliye edilir.

1. Ön İşlem Süreci:

Yüzey, kirleticileri gidermek ve kaplama yapışmasını iyileştirmek için plazma temizleme veya yüzey aktivasyonundan geçer. Bu adım, yüzeyin aşındırılması için argon plazması kullanır.

1. Biriktirme Bölgesine Giriş:

Ön işlemden geçirilmiş yüzey, manyetron püskürtme veya buharlaştırma kaynakları kullanılarak katı hedeflerden malzemenin buharlaştırıldığı biriktirme bölgesine girer.

1. Film Biriktirme:

Buharlaşan malzeme, hareketli yüzey yüzeyinde yoğunlaşarak ince bir film oluşturur. Bileşik kaplamalar (nitrürler, oksitler) oluşturmak için reaktif gazlar (N₂, O₂) eklenebilir.

1. Soğutma ve Katılaşma:

Kaplanmış yüzey, vakum odasından çıkmadan önce biriktirilmiş film yapısını stabilize etmek için bir soğutma bölgesinden geçer.

1. Sarma İşlemi:

Kaplanmış yüzey, bitmiş malzemenin uygun şekilde işlenmesini sağlayarak kontrollü gerginlik altında bir toplama rulosuna sarılır.

1. Proses Kontrolü:

Gelişmiş PLC sistemleri, tutarlı kaplama kalitesini korumak için hat hızı, hedef gücü, gaz akış hızları ve vakum seviyeleri dahil olmak üzere biriktirme parametrelerini gerçek zamanlı olarak izler ve ayarlar.

Temel Avantajlar

Yüksek Üretim Verimliliği: Sürekli işleme, büyük ölçekli üretim için uygun, dakikada 10–300 metre üretim hızları sağlar.

Üstün Kaplama Düzgünlüğü: Yüzey genişliği ve uzunluğu boyunca ±%3 içinde kalınlık düzgünlüğü elde ederek tutarlı performans sağlar.

Malzeme Çok Yönlülüğü: Çeşitli malzemelerin (Al, Ag, Cu) metaller, oksitler (SiO₂, Al₂O₃), nitrürler (SiNx) ve çeşitli esnek yüzeyler üzerine karbürler dahil olmak üzere biriktirilmesini sağlar.

Mükemmel Bariyer Özellikleri: Kaplamalar, üstün nem ve oksijen bariyer performansı sağlar (oksijen geçirgenlik hızı için 0,1 cc/m²/gün kadar düşük).

Ekonomik Üretim: Toplu işleme yöntemlerine kıyasla yüksek malzeme kullanım oranı (>%85) ve azaltılmış atık.

Çevre Dostu: AB RoHS ve ISO 14001 standartlarını karşılayan, tehlikeli atık üretmeyen, solventsiz bir süreç.

Uygulanan Endüstriler

Esnek Elektronik: Dokunmatik paneller, esnek ekranlar, OLED'ler ve baskılı devre kartları.

Ambalaj: Gıda ve ilaç ambalajları, bariyer filmler ve metallenmiş ambalaj malzemeleri.

Enerji: Güneş pili bileşenleri, pil elektrotları ve enerji depolama cihazları.

Endüstriyel Filmler: Dekoratif filmler, koruyucu filmler ve fonksiyonel membranlar.

Otomotiv: İç dekoratif filmler, kontrol paneli yüzeyleri ve sensör bileşenleri.

Tüketim Malları: Esnek ambalaj, hediye paketleme ve elektronik cihaz bileşenleri.

Kaplama Etkileri ve Fonksiyonel Özellikler

Rulo-Rulo PVD sistemi, belirli performans özelliklerine sahip çeşitli fonksiyonel kaplamalar üretebilir:

Optik Kaplamalar: Şeffaf iletken filmler, yansıma önleyici kaplamalar ve ışık filtreleme filmleri.

Bariyer Kaplamalar: Ambalaj uygulamaları için yüksek performanslı nem ve oksijen bariyerleri.

İletken Kaplamalar: Elektronik uygulamalar için düşük dirençli iletken filmler (yüzey direnci <10 Ω/sq).

Dekoratif Kaplamalar: Mükemmel aşınma direncine sahip metalik yüzeyler (altın, gümüş, krom).

Koruyucu Kaplamalar: Geliştirilmiş dayanıklılık için çizilmeye karşı dayanıklı ve korozyona dayanıklı filmler.

Yapı Tipleri

Tek Odacıklı Tasarım: Sınırlı yüzey genişliği gereksinimleri olan basit kaplama uygulamaları için kompakt yapı.

Çok Odacıklı Tasarım: Ön işlem, biriktirme ve soğutma için ayrı bölgelere sahip modüler sistem, karmaşık çok katmanlı kaplamalara izin verir.

Geniş Genişlik Konfigürasyonu: Ambalaj ve büyük formatlı uygulamalar için ideal olan, 2000 mm'ye kadar yüzeyler için özel tasarım.

Yüksek Hızlı Konfigürasyon: İnce, hassas yüzeyler için gelişmiş gerginlik kontrolü ile maksimum üretim verimi için optimize edilmiştir.

Yüzey Malzemeleri

Esnek plastikler (PET, PP, PE, PI), metal folyolar (Al, Cu), kağıt, tekstil ve kompozit malzemeler.

Kaplama Malzemeleri

Metaller: Alüminyum (Al), bakır (Cu), gümüş (Ag), krom (Cr).

Oksitler: Silisyum dioksit (SiO₂), alüminyum oksit (Al₂O₃), titanyum oksit (TiO₂).

Nitrürler: Silisyum nitrür (SiNx), titanyum nitrür (TiN).

Alaşımlar: Özel fonksiyonel kaplamalar için çeşitli alaşım hedefleri.

Destekleyici Üretim Hatları

Ön kaplama temizleme sistemleri, plazma işleme modülleri ve kaplama sonrası inceleme sistemleri (optik kalınlık ölçümü, kusur tespiti) ile entegre olur.

Sarf Malzemeleri

Hedef malzemeler (Al, Cu, Ag, SiO₂, vb.), proses gazları (Ar, N₂, O₂) ve vakum pompası yağları.

Uygulamalar

Elektronik: İletken ve koruyucu kaplamalar gerektiren esnek ekranlar, dokunmatik ekranlar ve baskılı elektronikler.

Ambalaj: Gıda koruma ve ilaç ambalajları için yüksek bariyer filmler.

Enerji: Özel fonksiyonel kaplamalara sahip fotovoltaik filmler ve pil bileşenleri.

Otomotiv: İç ve dış uygulamalar için dekoratif ve koruyucu filmler.

Özelleştirme

R2R PVD sistemlerimiz ayarlanabilir biriktirme bölgeleri, çoklu hedef konfigürasyonları ve gelişmiş gerginlik kontrol sistemleri sunar. Özelleştirme seçenekleri arasında web genişliği, kaplama istasyonu sayısı ve benzersiz uygulama gereksinimleri için özel proses modülleri bulunur.