เครื่องเคลือบ pvd
เครื่องเคลือบ PVD แบบเปิดด้านตั้ง
,อุปกรณ์เคลือบระบายอะไอน
,เครื่องเคลือบสูญญากาศไอออนอาร์คหลายตัว
อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศและไอออนเพลตติ้งแบบเปิดด้านข้างแนวตั้งใช้การออกแบบช่องแนวตั้งพร้อมช่องเปิดด้านข้างอย่างรวดเร็ว เหมาะสำหรับการหนีบและนำชิ้นงานออกเป็นชุด โครงสร้างหลักประกอบด้วยห้าโมดูล: ระบบสุญญากาศ, ระบบหลักไอออนเพลตติ้ง, ระบบหนีบชิ้นงาน, ระบบควบคุม และระบบเสริม
อุปกรณ์ไอออนเพลตติ้งแบบเปิดด้านข้างแนวตั้งใช้เทคโนโลยีการสะสมไอระเหยทางกายภาพ (PVD) ไอออนเพลตติ้ง หลักการคือการทำให้ไอออนของอะตอมวัสดุเป้าหมายในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ และสะสมลงบนพื้นผิวชิ้นงานผ่านสนามไฟฟ้าเพื่อสร้างฟิล์ม
- สะดวกในการโหลดและขนถ่ายชิ้นงาน: ประตูข้างไม่กินพื้นที่ด้านบน ซึ่งเหมาะสำหรับการยกและหนีบชิ้นงานขนาดใหญ่และหนัก เมื่อเทียบกับอุปกรณ์เปิดด้านบน จะช่วยลดความเข้มข้นของแรงงานในการโหลดและขนถ่ายได้อย่างมาก และปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิต
- อัตราการใช้ช่องสูง: การจัดวางแนวตั้งช่วยให้สามารถแขวนชิ้นงานในแนวตั้ง ส่งผลให้มีความสม่ำเสมอในการหมุนที่ดีขึ้นในระหว่างการเคลือบ และหลีกเลี่ยงปัญหาการกีดขวางระหว่างชิ้นงานและวัสดุเป้าหมาย เหมาะสำหรับการเคลือบชิ้นส่วนขนาดเล็กหรือชิ้นงานรูปทรงยาว
- เข้ากันได้กับกระบวนการไอออนเพลตติ้งต่างๆ เช่น ไอออนเพลตติ้งแบบสปัตเตอร์แมกนีตรอน และไอออนเพลตติ้งแบบอาร์ค สามารถเตรียมชั้นฟิล์มต่างๆ ได้ รวมถึงฟิล์มโลหะ ฟิล์มโลหะผสม และฟิล์มแข็งแบบผสม (เช่น TiN, TiCN, DLC)
- การปรับพารามิเตอร์กระบวนการที่หลากหลาย โดยการปรับอัตราส่วนก๊าซ กระแสเป้าหมาย และแรงดันไฟฟ้าไบแอสของชิ้นงาน เพื่อตอบสนองความต้องการด้านประสิทธิภาพของชิ้นงานที่แตกต่างกัน
ระบบควบคุม PLC แบบบูรณาการ รองรับการทำงานอัตโนมัติแบบคลิกเดียว ลดการแทรกแซงด้วยตนเอง พารามิเตอร์กระบวนการสามารถจัดเก็บและเรียกคืนได้ เพื่อให้มั่นใจถึงความสม่ำเสมอของคุณภาพการเคลือบสำหรับชุดต่างๆ
กระบวนการเคลือบสูญญากาศไม่มีการปล่อยของเสียหรือก๊าซไอเสีย ทำให้เป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อมมากกว่าการชุบด้วยไฟฟ้า ใช้ระบบทำความร้อนและความเย็นที่มีประสิทธิภาพ โดยใช้พลังงานน้อยกว่าอุปกรณ์เคลือบแนวนอนที่มีกำลังการผลิตเท่ากัน
- ประสิทธิภาพของชั้นฟิล์มที่ยอดเยี่ยม: ชั้นฟิล์มที่สะสมมีความแข็งสูง (HV1000~4000) การยึดเกาะสูง และค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำ มีความทนทานต่อการสึกหรอ ทนต่อการกัดกร่อน และทนต่ออุณหภูมิสูงได้ดีกว่าชั้นชุบด้วยไฟฟ้าแบบดั้งเดิม
- ประสิทธิภาพการผลิตสูง: การออกแบบแบบเปิดด้านข้างช่วยให้สามารถโหลดและขนถ่ายชิ้นงานได้อย่างรวดเร็ว รวมกับเฟรมยึดชิ้นงานแบบหมุนเป็นชุด ทำให้สามารถเคลือบชิ้นงานได้จำนวนมากต่อชุด อุปกรณ์มีความเร็วในการปั๊มสุญญากาศที่รวดเร็วและรอบการทำงานที่สั้น (โดยทั่วไป 1~3 ชั่วโมงต่อชุด)
- การเสียรูปของชิ้นงานน้อย: อุณหภูมิการเคลือบสามารถควบคุมได้ เมื่อเทียบกับการชุบสารเคมีที่อุณหภูมิสูง การเสียรูปจากความร้อนของชิ้นงานมีน้อยที่สุด ทำให้เหมาะสำหรับชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำ (เช่น เครื่องมือ แม่พิมพ์ และฮาร์ดแวร์ที่มีความแม่นยำ) การเคลือบ
- การใช้งานและการบำรุงรักษาที่สะดวก: การออกแบบแบบเปิดด้านข้างช่วยอำนวยความสะดวกในการทำความสะอาดช่อง การเปลี่ยนวัสดุเป้าหมาย และการบำรุงรักษาอุปกรณ์ อินเทอร์เฟซระบบควบคุมใช้งานง่าย พร้อมฟังก์ชันการวินิจฉัยข้อบกพร่องที่สมบูรณ์ ลดเกณฑ์การใช้งาน
- ใช้งานได้อย่างกว้างขวาง: สามารถจัดการกับชิ้นงานวัสดุต่างๆ (โลหะ เซรามิก โลหะผสมแข็ง) และชิ้นงานรูปทรงต่างๆ (แบน โค้ง ชิ้นส่วนช่องที่ซับซ้อน)
อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศและไอออนเพลตติ้งแบบเปิดด้านข้างแนวตั้ง ด้วยกำลังการผลิตสูงและประสิทธิภาพของชั้นฟิล์มที่ยอดเยี่ยม จึงมีการใช้งานอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น เครื่องมือและแม่พิมพ์ ฮาร์ดแวร์ตกแต่ง ชิ้นส่วนยานยนต์ อุปกรณ์ทางการแพทย์ และการบินและอวกาศ:
-
อุตสาหกรรมเครื่องมือและแม่พิมพ์
ใช้สำหรับการเคลือบเครื่องมือเหล็กความเร็วสูง เครื่องมือโลหะผสมแข็ง แม่พิมพ์ปั๊ม แม่พิมพ์ฉีด (เช่น ฟิล์ม TiN, TiCN) ปรับปรุงความทนทานต่อการสึกหรอ ป้องกันการยึดติด และอายุการใช้งานของเครื่องมือและแม่พิมพ์ 3~10 เท่า -
อุตสาหกรรมฮาร์ดแวร์ตกแต่ง
นำไปใช้กับการเคลือบฮาร์ดแวร์ห้องน้ำ ฮาร์ดแวร์ประตู ชิ้นส่วนนาฬิกา โครงตัวถังโทรศัพท์มือถือ ฯลฯ เตรียมชั้นฟิล์มตกแต่ง เช่น ทองคำ ดำปืน โรสโกลด์ ฯลฯ ทั้งความสวยงามและความทนทานต่อการสึกหรอ -
อุตสาหกรรมชิ้นส่วนยานยนต์
ใช้สำหรับการเคลือบวาล์วเครื่องยนต์ แหวนลูกสูบ เกียร์ จานเบรก ฯลฯ ปรับปรุงความทนทานต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการสึกหรอ และทนต่อการกัดกร่อนของส่วนประกอบ ลดเสียงรบกวนของเครื่องยนต์และการใช้พลังงาน -
อุตสาหกรรมอุปกรณ์ทางการแพทย์
ใช้สำหรับการเคลือบรากฟันเทียม (เช่น ข้อต่อเทียม สกรูกระดูก) เครื่องมือทันตกรรม (เช่น ครอบฟัน รากฟันเทียม) ฯลฯ (เช่น ฟิล์มเพชรชนิด DLC) ปรับปรุงความเข้ากันได้ทางชีวภาพและความทนทานต่อการสึกหรอ -
อุตสาหกรรมการบินและอวกาศ
ใช้สำหรับการเคลือบใบพัดเครื่องยนต์อากาศยาน ชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำในการบินและอวกาศ เตรียมชั้นฟิล์มป้องกันที่มีความทนทานต่ออุณหภูมิสูงและทนต่อการเกิดออกซิเดชัน ปรับให้เข้ากับสภาพแวดล้อมการบริการที่รุนแรง