เครื่องเคลือบสุญญากาศโลหะด้วยไอออนแบบหลายอาร์ค
ระบบชุบนิกเกิลโครเมียม PVD ขั้นสูงสำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรม
เทคโนโลยีการเคลือบด้วยไอออนแบบหลายอาร์ค
การเคลือบด้วยไอออนแบบหลายอาร์คเป็นเทคนิค PVD ที่ใช้กระแสอาร์คสูง (100-500 A) เพื่อระเหยเป้าโลหะหรือเซรามิกในห้องสุญญากาศ (ความดัน < 10⁻² Torr) ไอออนที่เกิดขึ้นจะถูกเร่งไปยังพื้นผิวโดยแรงดันไบแอส ทำให้เกิดการเคลือบที่หนาแน่น แข็งเป็นพิเศษ และมีการยึดเกาะที่เหนือกว่าหลักการทำงาน
การระเหยด้วยอาร์ค: กระแสอาร์คสูงกระทบพื้นผิวเป้า ทำให้เกิดไอออนโลหะที่ระเหย
- การเร่งพลาสมา: แรงดันไบแอสลบที่พื้นผิวจะดึงดูดไอออน เพิ่มความหนาแน่นของฟิล์มและการยึดเกาะ
- การนำก๊าซทำปฏิกิริยาเข้า: การนำออกซิเจนหรือไนโตรเจนเข้าจะสร้างสารประกอบ เช่น TiN หรือ Cr₂O₃
- ข้อได้เปรียบหลัก
อัตราการเคลือบสูง: สามารถเคลือบฟิล์มหนา 1-5 ไมครอน/ชั่วโมง สำหรับการผลิตขนาดใหญ่
- ความแข็งและความทนทานต่อการสึกหรอ: การเคลือบ เช่น TiAlN มีความแข็งสูงถึง 3000 HV ยืดอายุการใช้งานเครื่องมือได้ 3-5 เท่า
- การครอบคลุมสม่ำเสมอ: มีประสิทธิภาพสำหรับรูปทรงที่ซับซ้อนเนื่องจากการแพร่กระจายของพลาสมา
- ความทนทานต่อการกัดกร่อน: ฟิล์มที่หนาแน่นช่วยป้องกันสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
- อุตสาหกรรมที่นำไปใช้
เครื่องมือและแม่พิมพ์, ชิ้นส่วนยานยนต์, เครื่องประดับและนาฬิกา, เครื่องมือแพทย์
ผลการเคลือบและสี
พื้นผิวสำเร็จรูป ได้แก่ ความเงางามเหมือนกระจก หรือพื้นผิวด้าน สีทอง (TiN), สีดำ (CrN), สีน้ำเงิน (TiAlN) และไล่ระดับสีรุ้ง
ประเภทโครงสร้าง
ห้องแนวตั้งสำหรับการประมวลผลแบบแบทช์สำหรับชิ้นส่วนขนาดเล็ก; ห้องแนวนอนสำหรับการเคลือบขนาดใหญ่บนพื้นผิวเรียบหรือทรงกระบอก
วัสดุพื้นผิว
โลหะ (สแตนเลส, อลูมิเนียม), เซรามิก และพลาสติกแข็ง
วัสดุเคลือบ
โลหะ: Ti, Cr, Zr, Al; ไนไตรด์: TiN, CrN, ZrN; คาร์ไบด์: WC, TiC
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
รุ่นการกำหนดค่า
| Lion-700-ION |
Lion-1000-ION |
Lion-1300-ION |
Lion-1600-ION |
Lion-1800-ION |
Lion-2000-ION |
Lion-2200-ION |
ขนาดห้อง (มม.) |
| D700*H700 |
D1000*H1200 |
D1300*H1500 |
D1600*H1800 |
D1800*H2000 |
D2000*H2400 |
D2200*H4000 |
แหล่งจ่ายไฟอาร์ค |
| 4 ชุด |
8 ชุด |
12 ชุด |
16 ชุด |
20 ชุด |
24 ชุด |
40 ชุด |
แหล่งจ่ายไฟไบแอส |
| 4 ชุด |
8 ชุด |
12 ชุด |
16 ชุด |
20 ชุด |
24 ชุด |
40 ชุด |
แหล่งจ่ายไฟไบแอส |
| 12KW |
20KW |
30KW |
40KW |
60KW |
80KW |
80KW |
สุญญากาศสูงสุด |
| 5.0*10-4pa |
กำลังไฟทั้งหมด |
กำลังไฟทั้งหมด |
กำลังไฟทั้งหมด |
กำลังไฟทั้งหมด |
กำลังไฟทั้งหมด |
กำลังไฟทั้งหมด |
กำลังไฟทั้งหมด |
| 50KW |
75KW |
145KW |
190KW |
250KW |
305KW |
455KW |
เวลาวงจรการเคลือบ |
| ประมาณ 15 ถึง 50 นาทีต่อรอบ (ขึ้นอยู่กับข้อกำหนดของชั้นฟิล์มที่เคลือบ) |
ระบบสุญญากาศ |
ปั๊มแพร่/ปั๊มโมเลกุล + ปั๊มรูทส์ + ปั๊มโรตารี่ขับตรงสองขั้นตอน + ปั๊มสำรอง + ปั๊มทำความเย็น (อุปกรณ์เสริม)
ระบบควบคุมและก๊าซ
ระบบควบคุม PLC พร้อมระบบก๊าซ MFC แบบ 4 ทาง และระบบอบความร้อนสูงถึง 350°C
การบรรจุและการจัดส่ง
แผ่นฟิล์มพลาสติก, กล่องไม้, ตู้คอนเทนเนอร์บรรจุมาตรฐานส่งออกไฮคิวบ์
ท่าเรือต้นทาง: กวางตุ้ง
ขนาดบรรจุภัณฑ์เดี่ยว: 60×20×25 ซม.
น้ำหนักรวมเดี่ยว: 20.000 กก.
ตัวอย่างการบรรจุ
กำลังการผลิต
ความสามารถในการจัดหา: 15 ชุดต่อเดือนของเครื่องเคลือบสแตนเลสสำหรับสุญญากาศ PVD