Μηχανή επικαλύψεως με κενό για μεταλλικοποίηση γυαλιού με πολλαπλά ιόντα τόξου
Προηγμένο σύστημα επικάλυψης με χρωμικό νικέλιο PVD για βιομηχανικές εφαρμογές
Τεχνολογία πολυπλακέτας ιόντων
Η πλαστική επίστρωση ιόντων πολλαπλού τόξου είναι μια τεχνική PVD που χρησιμοποιεί τόξα υψηλού ρεύματος (100-500 A) για να εξατμίσει μεταλλικούς ή κεραμικούς στόχους σε θάλαμο κενού (πίεση < 10−2 Torr).Ο ιονισμένος ατμός επιταχύνεται προς το υπόστρωμα από μια τάση προκατάληψης, σχηματίζοντας πυκνά, υπερ-σκληρά στρώματα με ανώτερη προσκόλληση.
Αρχή λειτουργίας
- Εξάτμιση τόξου: Τα τόξα υψηλού ρεύματος χτυπούν την επιφάνεια του στόχου, δημιουργώντας ιονισμένο μεταλλικό ατμό
- Επιτάχυνση πλάσματος: Η αρνητική προκατάληψη στο υπόστρωμα προσελκύει ιόντα, αυξάνοντας την πυκνότητα του φιλμ και την προσκόλληση
- Εισαγωγή αντιδραστικού αερίου: Η εισαγωγή οξυγόνου ή αζώτου σχηματίζει ενώσεις όπως TiN ή Cr2O3
Κύρια πλεονεκτήματα
- Υψηλός ρυθμός αποθέσεως: Επιτυγχάνει πάχους ταινίας 1-5 μm/h για μεγάλης κλίμακας παραγωγή
- Δυνατότητα και αντοχή στη φθορά: Επιχρίσεις όπως το TiAlN παρουσιάζουν σκληρότητα έως 3000 HV, παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής του εργαλείου κατά 3-5 φορές
- Ομοιόμορφη κάλυψη: αποτελεσματική για πολύπλοκες γεωμετρικές διαστάσεις λόγω της διάχυσης πλάσματος
- Αντίσταση στη διάβρωση: Σφιχτές ταινίες προστατεύουν από σκληρά περιβάλλοντα
Εφαρμοσμένες βιομηχανίες
Εργαλεία & Σχήματα, Συστατικά αυτοκινήτων, Κοσμήματα & Ρολόγια, Ιατρικά όργανα
Εφέ Επιχρισμού & Χρώματα
Οι επιφανειακές επιφάνειες περιλαμβάνουν καθρέφτες με μεταλλικές λάμψεις ή ματ υφές σε χρυσό (TiN), μαύρο (CrN), μπλε (TiAlN) και κλίση ουράνιου τόξου
Τύποι δομών
Σημερινός θάλαμος για την επεξεργασία σε παρτίδες μικρών εξαρτημάτων. Οριζόντιος θάλαμος για την κατάθεση σε μεγάλη κλίμακα σε επίπεδα ή κυλινδρικά υπόστρωμα
Υλικά υποστρώματος
Μεταλλικά (ατσάλι, αλουμίνιο), κεραμικά και σκληρά πλαστικά
Υλικά επικάλυψης
Μεταλλικά: Ti, Cr, Zr, Al; Νιτρικά: TiN, CrN, ZrN; Καρβίδια: WC, TiC
Τεχνικές προδιαγραφές
| Πρότυπο διαμόρφωσης |
Λιοντάρι-700-ION |
Λιοντάρι-1000-ΙΟΝ |
Lion-1300-ION |
Λιοντάρι-1600-ION |
Λιοντάρι-1800-ION |
Λιοντάρι-2000-ION |
Λιοντάρι-2200-ION |
| Μέγεθος αίθουσας (MM) |
D700*H700 |
D1000*H1200 |
D1300*H1500 |
D1600*H1800 |
D1800*H2000 |
D2000*H2400 |
D2200*H4000 |
| Ηλεκτρική τροφοδοσία τόξου |
4 σετ |
8 σετ |
12 σετ |
16 σετ |
20 σετ |
24 σετ |
40 σετ |
| Πηγή τόξου |
4 σετ |
8 σετ |
12 σετ |
16 σετ |
20 σετ |
24 σετ |
40 σετ |
| Δύναμη τροφοδοσίας με προκατάληψη |
12KW |
20KW |
30KW |
40KW |
60KW |
60KW |
80KW |
| Τελικό κενό |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
| Συνολική ισχύς |
50KW |
75KW |
145KW |
190KW |
250 kW |
305KW |
455KW |
| Χρόνος κύκλου επικάλυψης |
Περίπου 15 έως 50 λεπτά ανά κύκλο (ανάλογα με τις απαιτήσεις της στρώσης επικαλύψεως με φιλμ) |
Σύστημα κενού
Αντλία διάχυσης/Μοριακή αντλία + Αντλία ριζών + Διπλό στάδιο άμεσης κίνησης Ροταριακή αντλία + Αντλία συγκράτησης + Κρυογενής αντλία (προαιρετική)
Συστήματα ελέγχου και αερίου
Σύστημα ελέγχου PLC με τετραδιάστατο σύστημα εισόδου αερίου MFC και σύστημα ψησίματος έως 350 °C
Συσκευή και παράδοση
Πλαστικό κάλυμμα με φιλμ, ξύλινο κουτί, υψηλό κύβος, τυποποιημένο εμπορευματοκιβώτιο εξαγωγής
Λιμένα αποστολής: Guangdong
Μέγεθος ενιαίας συσκευασίας: 60×20×25 cm
Μονάχα ακαθάριστο βάρος: 20.000 KG
Παραδείγματα συσκευασίας
Ικανότητα εφοδιασμού
Ικανότητα προμήθειας: 15 σετ ανά μήνα συσκευών επικαλύψεως κενού από ανοξείδωτο χάλυβα PVD