| 構成モデル | ライオン-700-ION | ライオン-1000-ION | ライオン-1300-ION | ライオン-1600-ION | ライオン-1800-ION | ライオン-2000-ION | ライオン-2200-ION |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 部屋の大きさ (MM) | D700*H700 | D1000*H1200 | D1300*H1500 | D1600*H1800 | D1800*H2000 | D2000*H2400 | D2200*H4000 |
| 弧の電源 | 4セット | 8セット | 12セット | 16セット | 20セット | 24セット | 40セット |
| 弧源 | 4セット | 8セット | 12セット | 16セット | 20セット | 24セット | 40セット |
| バイアス電源 | 12KW | 20KW | 30KW | 40KW | 60KW | 60KW | 80KW |
| 究極の真空 | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa |
| 総力 | 50KW | 75KW | 145KW | 190KW | 250KW | 305KW | 455KW |
| コート サイクル 時間 | サイクルあたり約15〜50分 (コーティングフィルム層の要求に応じて) | ||||||