| 구성 모델 | Lion-700-ION | Lion-1000-ION | Lion-1300-ION | Lion-1600-ION | Lion-1800-ION | Lion-2000-ION | Lion-2200-ION |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 방 크기 (MM) | D700*H700 | D1000*H1200 | D1300*H1500 | D1600*H1800 | D1800*H2000 | D2000*H2400 | D2200*H4000 |
| 아크 전원 공급 | 4 세트 | 8 세트 | 12 세트 | 16 세트 | 20세트 | 24 세트 | 40 세트 |
| 아크 소스 | 4 세트 | 8 세트 | 12 세트 | 16 세트 | 20세트 | 24 세트 | 40 세트 |
| 비아스 전원 공급 | 12KW | 20KW | 30KW | 40KW | 60KW | 60KW | 80KW |
| 최후 진공 | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa |
| 전체 전력 | 50KW | 75KW | 145KW | 190KW | 250KW | 305KW | 455KW |
| 코팅 사이클 시간 | 주기당 약 15~50분 (염면 필름 층 요구 사항에 따라) | ||||||