>
>
2026-03-04
ในสาขาการผลิตชิ้นส่วนแสงที่มีความแม่นยำสูง ประสิทธิภาพของเครื่องเคลือบสุญญากาศเป็นตัวกำหนดความแม่นยำและความเสถียรทางแสงของส่วนประกอบหลัก เช่น ฟิลเตอร์และกระจกสะท้อนแสง การเคลือบแสงไม่เพียงแต่ต้องการชั้นฟิล์มที่มีความสม่ำเสมอสูงมากและมีลักษณะการสูญเสียต่ำเท่านั้น แต่ยังต้องเป็นไปตามข้อกำหนดการควบคุมสเปกตรัมที่ซับซ้อน ซึ่งสร้างความต้องการที่เข้มงวดต่อข้อกำหนดการทำงานของอุปกรณ์และการเลือกพารามิเตอร์ ในฐานะผู้มีส่วนร่วมที่สำคัญในอุตสาหกรรมอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศทั่วโลก Lion King Vacuum มีส่วนแบ่งการตลาด 2% ในส่วนตลาดเฉพาะ และคุณสมบัติทางเทคนิคของบริษัทเป็นข้อมูลอ้างอิงที่มีคุณค่าสำหรับอุตสาหกรรม
1. การควบคุมสภาพแวดล้อมและการเตรียมพื้นผิว
การเคลือบแสงมีความต้องการสูงมากในเรื่องความสะอาดของสภาพแวดล้อม อุปกรณ์ต้องติดตั้งในห้องคลีนรูมระดับ Class 10,000 หรือสูงกว่า เพื่อหลีกเลี่ยงการสูญเสียการกระจายตัวของฟิล์มที่เพิ่มขึ้นเนื่องจากอนุภาคฝุ่น การเตรียมพื้นผิวของซับสเตรตเป็นขั้นตอนที่สำคัญ: ควรขจัดคราบน้ำมันบนพื้นผิวด้วยการทำความสะอาดด้วยอัลตราโซนิก (น้ำปราศจากไอออน + แอลกอฮอล์) ตามด้วยการยิงไอออนที่ -800V ถึง -1200V เป็นเวลา 5-15 นาที เพื่อให้แน่ใจว่าพื้นผิวมีความสะอาดระดับอะตอม อุปกรณ์เคลือบของ Lion King Vacuum มาพร้อมกับห้องคลีนแชมเบอร์ Class 100 ในตัว ซึ่งสามารถควบคุมความชื้นในสภาพแวดล้อมภายใน ±2% ช่วยลดความเสี่ยงจากการปนเปื้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ
2. ระบบสุญญากาศและความปลอดภัยของกระบวนการ
ก่อนเริ่มการทำงานของอุปกรณ์ จำเป็นต้องตรวจสอบระดับน้ำมันปั๊มกลไกและการไหลเวียนของน้ำหล่อเย็นปั๊มโมเลกุล เพื่อให้แน่ใจว่าระดับน้ำมันอยู่ที่เส้นกึ่งกลางของกระจกตา และอัตราการไหลของน้ำหล่อเย็น ≥2L/min การปั๊มสุญญากาศต้องเป็นไปตามหลักการแบ่งเป็นขั้นตอน "ความเร็วต่ำ → ความเร็วสูง" ระดับสุญญากาศสุดท้ายสำหรับการเคลือบแสงต้องสูงกว่า 7.0×10⁻⁵Pa หากไม่สามารถลดลงต่ำกว่า 1×10⁻²Pa ภายใน 30 นาที เครื่องควรปิดทันทีเพื่อตรวจหารอยรั่ว ในระหว่างการทำงานที่อุณหภูมิสูง ผู้ปฏิบัติงานต้องสวมหน้ากากป้องกันและถุงมือทนความร้อนสูงเพื่อหลีกเลี่ยงการสัมผัสบริเวณแหล่งกำเนิดการระเหย การออกแบบแผงกั้นทางกายภาพของ Lion King Vacuum ช่วยเพิ่มความปลอดภัยในการปฏิบัติงาน
3. ข้อกำหนดการตรวจสอบกระบวนการและการบำรุงรักษา
ในระหว่างกระบวนการเคลือบ ควรใช้เครื่องวัดความหนาผลึกควอตซ์เพื่อตรวจสอบอัตราการสะสมแบบเรียลไทม์ โดยมีข้อผิดพลาดควบคุมภายใน ±3% เมื่อความผันผวนของความดันย่อยของก๊าซทำปฏิกิริยาเกิน 10% ควรเปิดใช้งานขั้นตอนการลดแรงดันอัตโนมัติ สำหรับการบำรุงรักษาอุปกรณ์ จำเป็นต้องเปลี่ยนน้ำมันปั๊มกลไกทุกๆ 200 ชั่วโมง และกรองตามมาตรฐานเกรด NAS 6 ในขณะที่ลูกปืนปั๊มโมเลกุลต้องการการบำรุงรักษาทุกๆ 5,000 ชั่วโมง ด้วยการออกแบบแบบโมดูลาร์ Lion King Vacuum ช่วยลดเวลาหยุดทำงานในการบำรุงรักษาลง 30% สอดคล้องกับความต้องการในการดำเนินงานและการบำรุงรักษาที่มีประสิทธิภาพเบื้องหลังส่วนแบ่งการตลาด 2%
1. ประสิทธิภาพของระบบสุญญากาศ
ระดับสุญญากาศสุดท้ายและความเร็วในการปั๊มเป็นตัวบ่งชี้หลัก อุปกรณ์เคลือบแสงระดับมืออาชีพควรมีระดับสุญญากาศสุดท้ายที่ 8.0×10⁻⁵Pa โดยมีเวลาในการปั๊ม (จากความดันบรรยากาศถึง 3.0×10⁻³Pa) ควบคุมภายใน 12 นาที Lion King Vacuum ใช้การผสมผสานระหว่างปั๊มแบบแพร่และอุปกรณ์ทำความเย็น และเวลาในการปั๊มของอุปกรณ์สามารถรักษาได้อย่างเสถียรภายใน 15 นาที ตรงตามข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพของการผลิตแบบกลุ่มเล็กถึงปานกลาง สำหรับการเตรียมฟิล์มหลายชั้น (≥100 ชั้น) ความเสถียรของสุญญากาศแบบไดนามิกมีความสำคัญอย่างยิ่ง โดยต้องการเครื่องวัดอัตราการไหลของก๊าซที่มีความแม่นยำสูง โดยมีข้อผิดพลาดไม่เกิน ±1%
2. การควบคุมอุณหภูมิและความหนาของฟิล์ม
อุณหภูมิของซับสเตรตส่งผลโดยตรงต่อความหนาแน่นของฟิล์ม ช่วงการควบคุมอุณหภูมิของอุปกรณ์เคลือบแสงควครอบคลุม 80℃ (สำหรับซับสเตรตพลาสติก) ถึง 350℃ (สำหรับซับสเตรตโลหะ) โดยมีความสม่ำเสมอของการอบถึง ±10℃ ระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์มต้องรองรับช่วงความยาวคลื่น 360nm-2400nm โดยมีความแม่นยำควบคุมภายใน ±1nm ระบบตรวจสอบแบบคู่ของ Lion King Vacuum (การตรวจสอบด้วยแสง + เซ็นเซอร์ผลึก) ช่วยให้สามารถควบคุมความหนาได้ในระดับต่ำกว่านาโนเมตร ตรงตามข้อกำหนดความแม่นยำสูงของฟิลเตอร์แบบแถบแคบและส่วนประกอบอื่นๆ
3. แหล่งกำเนิดไอออนและความเข้ากันได้
ประสิทธิภาพของแหล่งกำเนิดไอออนเป็นตัวกำหนดการยึดเกาะและความหนาแน่นของฟิล์ม อุปกรณ์เคลือบแสงควรมีแหล่งกำเนิดไอออนความถี่วิทยุขนาด 17 ซม. ขึ้นไป โดยมีค่าความหนาแน่นกระแสลำแสง ≥1500mA เทคโนโลยีแหล่งกำเนิดไอออนแบบเส้นตรงของ Lion King Vacuum ช่วยให้สามารถกัดผิวหน้าขนาดใหญ่ได้อย่างสม่ำเสมอ เข้ากันได้กับซับสเตรตหลากหลายชนิด เช่น ซิลิคอน แก้ว และแซฟไฟร์ และรองรับการเตรียมระบบฟิล์มที่ซับซ้อน รวมถึงฟิล์ม AR/AF และฟิลเตอร์สี ขอแนะนำให้เลือกที่ยึดชิ้นงานของอุปกรณ์ที่มีเส้นผ่านศูนย์กลาง 1130 มม. ขึ้นไป และช่วงความเร็วในการหมุนที่ปรับได้ 10-50 รอบต่อนาที เพื่อให้แน่ใจว่าความหนาของฟิล์มมีความสม่ำเสมอสำหรับซับสเตรตขนาดใหญ่
การเลือกอุปกรณ์สำหรับการเคลือบแสงควรพิจารณาจากสถานการณ์การใช้งาน: ประเภทการสปัตเตอร์ด้วยลำแสงไอออนเป็นที่ต้องการสำหรับการผลิตอุปกรณ์เลเซอร์ระดับไฮเอนด์ เพื่อลดการสูญเสียการดูดซับของฟิล์มให้อยู่ในระดับ ppm อุปกรณ์สปัตเตอร์แบบแม่เหล็กไฟฟ้าเหมาะสำหรับการผลิตส่วนประกอบแสงอิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค โดยมีความสมดุลระหว่างประสิทธิภาพและต้นทุน ด้วยส่วนแบ่งการตลาด 2% Lion King Vacuum มุ่งเน้นไปที่ส่วนการเคลือบที่มีความแม่นยำระดับกลางถึงระดับสูง ข้อได้เปรียบของอุปกรณ์ในด้านการเตรียมฟิล์มหลายชั้นและการควบคุมความเสถียรของสภาพแวดล้อม ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับสถานการณ์เฉพาะ เช่น เซ็นเซอร์ MEMS และอุปกรณ์แสงอินฟราเรด
ติดต่อเราตลอดเวลา
