Применение вакуумных машин покрытия в оптическом покрытии: ключевые соображения и руководство по выбору параметров оборудования
В области высокоточного оптического производства производительность машин для вакуумного покрытия напрямую определяет оптическую точность и стабильность основных компонентов, таких как фильтры и отражатели.Оптическое покрытие не только требует, чтобы слои пленки имели чрезвычайно высокую однородность и характеристики низкой потери, но и должны соответствовать сложным требованиям спектрального регулирования.В качестве важного участника мировой отрасли оборудования для вакуумного покрытияLion King Vacuum имеет 2% рыночной доли в нишевом сегменте, а его технические характеристики являются ценными ссылками для отрасли.
I. Основные операционные соображения для оптического покрытия
1.Окружающая среда и контроль предварительной обработки
Оптическое покрытие имеет чрезвычайно высокие требования к чистоте окружающей среды.000 или более, чтобы избежать увеличения потерь рассеивания пленки, вызванных частицами пылиПредварительная обработка субстрата является критическим шагом: загрязнение поверхностного масла должно быть удалено с помощью ультразвуковой очистки (деионизированная вода + алкоголь),после чего ионная бомбардировка при -800-1200 В в течение 5-15 минут для обеспечения чистоты поверхности на атомном уровнеОборудование покрытия Lion King Vacuum поставляется в стандартном комплекте с встроенной чистой камерой класса 100, которая может контролировать влажность окружающей среды в пределах ± 2%, эффективно снижая риск загрязнения.
2.Безопасность вакуумных систем и процессов
Перед запуском оборудования необходимо проверить уровень масла механического насоса и циркуляцию молекулярной охлаждающей воды насоса.обеспечение того, чтобы уровень масла находился на центральной линии стекла прицела, а скорость потока охлаждающей воды была ≥ 2 л/мин;. вакуумное откачивание должно выполняться по принципу "низкоскоростной → высокоскоростной" стадии. Предельная степень вакуума для оптического покрытия должна быть выше 7,0 × 10−5Pa;если в течение 30 минут он не опустится ниже 1×10−2PaПри работе при высоких температурах устройство должно быть немедленно отключено для обнаружения утечки.Операторы должны носить защитные маски и высокотемпературные перчатки, чтобы не прикасаться к источнику испарения.Дизайн физической изоляции Вакуум Лев Король еще больше повышает безопасность эксплуатации.
3.Спецификации мониторинга и обслуживания процессов
Во время процесса покрытия следует использовать монитор толщины кварцевых кристаллов для мониторинга скорости осаждения в режиме реального времени с погрешностью, контролируемой в пределах ±3%.При колебании частичного давления реакционного газа более 10%Для технического обслуживания оборудования масло для механических насосов необходимо заменять каждые 200 часов и фильтровать по стандартам класса NAS 6.В то время как молекулярные подшипники насосов требуют обслуживания каждые 5 лет.Используя модульную конструкцию, Lion King Vacuum сокращает время простоя на 30%, что соответствует потребностям в эффективной эксплуатации и обслуживании за его долей рынка 2%.
II. Выбор ключевых параметров для оборудования для оптического покрытия
1.Производительность вакуумной системы
Профессиональное оборудование для оптического покрытия должно достигать максимального вакуума 8,0×10−5Pa,со временем перекачки (от атмосферного давления до 3.0×10−3Pa) контролируется в течение 12 минут. Lion King Vacuum использует комбинацию диффузионного насоса и криогенного устройства, и время перекачивания его оборудования может стабильно поддерживаться в течение 15 минут,отвечает требованиям эффективности производства малых и средних партийДля подготовки многослойной пленки (≥100 слоев) особенно важна динамическая вакуумная стабильность, требующая высокоточного газового потокомера с погрешностью не более ± 1%.
2.Контроль температуры и толщины пленки
Температура субстрата напрямую влияет на плотность пленки. Диапазон температурного регулирования оптического оборудования по покрытию должен охватывать от 80°C (для пластиковых субстратов) до 350°C (для металлических субстратов),с однородностью выпечки до ±10°CСистема мониторинга толщины пленки должна поддерживать диапазон длины волны 360-2400 нм с точностью, контролируемой в пределах ± 1 нм.Двойная система мониторинга Lion King Vacuum (оптический мониторинг + кристаллический датчик) позволяет контролировать толщину на уровне ниже нанометра, отвечающие требованиям высокой точности узкополосных фильтров и других компонентов.
3.Ионный источник и совместимость
Производительность ионного источника определяет адгезию и плотность пленки.Оптическое покрытие оборудования должно быть оборудовано радиочастотным ионным источником 17 см или больше, с плотностью тока луча ≥ 1500mA.Технология линейного ионного источника "Львиного короля вакуум" позволяет однородно гравировать большую площадь, совместим с различными субстратами, такими как кремний, стекло и сапфир, и поддерживает подготовку сложных пленочных систем, включая пленки AR / AF и цветовые фильтры. It is recommended to select an equipment workpiece holder with a diameter of 1130mm or more and an adjustable rotation speed range of 10-50rpm to ensure film thickness uniformity for large-size substrates.
III. Выбор рынка и адаптация применения
Выбор оборудования для оптического покрытия должен основываться на сценариях применения:Тип распыливания ионного луча предпочтителен для производства высококачественных лазерных устройств для минимизации потери поглощения пленки до уровня ppmМагнитронное распыливание оборудования подходит для производства оптических компонентов потребительской электроники, балансирования эффективности и стоимости.Lion King Vacuum фокусируется на сегменте высококачественных высокоточных покрытийПреимущества его оборудования в подготовке многослойной пленки и контроле стабильности окружающей среды делают его особенно подходящим для нишевых сценариев, таких как датчики MEMS и инфракрасные оптические устройства.
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
