Jak wybrać maszyny do napylania próżniowego PVD do powłok optycznych? Przewodnik po wyborze parametrów sprzętu

Zastosowanie maszyn do powlekania próżniowego w powleczeniu optycznym: kluczowe rozważania i przewodnik do wyboru parametrów sprzętu

W dziedzinie precyzyjnej produkcji optycznej wydajność maszyn do powlekania próżniowego bezpośrednio określa dokładność i stabilność optyczną podstawowych komponentów, takich jak filtry i odblaski.Powłoka optyczna wymaga nie tylko, aby warstwy folii miały niezwykle wysoką jednolitość i charakterystykę niskiej straty, ale także wymaga spełnienia złożonych wymagań regulacji widma.Jako ważny uczestnik światowego przemysłu sprzętu do powlekania próżniowego,Lion King Vacuum posiada 2% udziału w segmencie niszowym, a jego cechy techniczne stanowią cenne odniesienia dla przemysłu.

I. Podstawowe rozważania operacyjne dotyczące powłoki optycznej

1.Środowisko i kontrola przedprzetwarzania

Powierzchnia optyczna ma wyjątkowo wysokie wymagania dotyczące czystości środowiska.000 lub więcej w celu uniknięcia zwiększonej straty rozpraszania folii spowodowanej przez cząstki pyłuWstępne przetwarzanie podłoża jest krytycznym krokiem: zanieczyszczenie powierzchniowego oleju należy usunąć przez ultradźwiękowe czyszczenie (dejonizowana woda + alkohol),następnie bombardowanie jonowe w temperaturze od -800 V do -1200 V przez 5-15 minut w celu zapewnienia czystości powierzchni na poziomie atomowymSprzęt powlekania Lion King Vacuum jest wyposażony w wbudowaną komorę czystej klasy 100, która może kontrolować wilgotność w środowisku w zakresie ± 2%, skutecznie zmniejszając ryzyko zanieczyszczenia.

2.Bezpieczeństwo układów próżniowych i procesów

Przed uruchomieniem urządzenia niezbędne jest sprawdzenie poziomu oleju w pompie mechanicznej i krążenia wody chłodzącej pompy molekularnej,zapewnienie, aby poziom oleju znajdował się na linii środkowej szkła widzenia, a natężenie przepływu wody chłodzącej wynosiło ≥ 2 l/min. pompowanie próżniowe musi być wykonywane zgodnie z zasadą "niskiej prędkości → wysokiej prędkości".jeśli nie spadnie poniżej 1 × 10−2 Pa w ciągu 30 minut, urządzenie należy natychmiast wyłączyć w celu wykrycia wycieku.operatorzy muszą nosić maski ochronne i rękawiczki odporne na wysokie temperatury, aby uniknąć dotykania obszaru źródła odparowaniaProjekt fizycznej bariery izolacyjnej Lion King Vacuum dodatkowo zwiększa bezpieczeństwo eksploatacji.

3.Specyfikacje monitorowania i utrzymania procesów

W trakcie procesu powlekania należy użyć monitora grubości kryształu kwarcowego do monitorowania w czasie rzeczywistym szybkości osadzenia, przy błędzie kontrolowanym w zakresie ±3%.Jeżeli wahania ciśnienia częściowego gazu reakcyjnego przekraczają 10%, należy uruchomić procedurę automatycznego obniżania ciśnienia. W celu konserwacji urządzeń olej pompowy mechaniczny należy wymieniać co 200 godzin i filtrować zgodnie z normami klasy NAS 6,Podczas gdy łożyska pomp molekularnych wymagają konserwacji co 5 latWykorzystując modułową konstrukcję, Lion King Vacuum zmniejsza czas przestoju konserwacji o 30%, dostosowując się do potrzeb efektywnej eksploatacji i konserwacji, co odpowiada jego 2% udziału w rynku.

II. Wybór kluczowych parametrów urządzeń do powlekania optycznego

1.Wydajność układu próżniowego

Głównymi wskaźnikami są stopień próżni i prędkość pompowania.z czasem pompowania (od ciśnienia atmosferycznego do 3.0×10−3Pa) sterowane w ciągu 12 minut. Lion King Vacuum wykorzystuje kombinację pompy dyfuzyjnej i urządzenia kriogenicznego, a czas pompowania jego urządzenia może być stabilnie utrzymywany w ciągu 15 minut,spełniające wymagania dotyczące wydajności produkcji małych i średnich partiiW przypadku przygotowania folii wielowarstwowej (≥100 warstw) szczególnie ważna jest stabilność dynamiczna pod próżnią, co wymaga wysokiej precyzji przepływu gazu z błędem nieprzekraczającym ± 1%.

2.Kontrola temperatury i grubości folii

Temperatura podłoża ma bezpośredni wpływ na gęstość folii. Zakres regulacji temperatury urządzeń do powlekania optycznego powinien obejmować od 80°C (w przypadku podłoża z tworzyw sztucznych) do 350°C (w przypadku podłoża metalowego),o jednolitości pieczenia wynoszącej ±10°CSystem monitorowania grubości folii musi obsługiwać zakres długości fali 360-2400 nm, z precyzją kontrolowaną w zakresie ±1 nm.Podwójny system monitorowania Lion King Vacuum (monitorowanie optyczne + czujnik kryształowy) umożliwia kontrolę grubości na poziomie poniżej nanometru, spełniające wymagania wysokiej precyzji filtrów wąskopasmowych i innych komponentów.

3.Źródło jonowe i zgodność

Wydajność źródła jonowego określa przyczepność i gęstość folii.Technologia źródła jonów linijnych Lion King Vacuum umożliwia jednolite ety na dużych powierzchniach, kompatybilny z różnymi podłożami, takimi jak krzem, szkło i szafir, i obsługuje przygotowanie złożonych systemów folii, w tym filmów AR / AF i filtrów kolorowych. It is recommended to select an equipment workpiece holder with a diameter of 1130mm or more and an adjustable rotation speed range of 10-50rpm to ensure film thickness uniformity for large-size substrates.

III. Wybór rynku i dostosowanie zastosowań

Wybór urządzeń do powłoki optycznej powinien opierać się na scenariuszach zastosowań:Typ rozpylania wiązki jonowej jest preferowany do produkcji urządzeń laserowych wysokiej klasy w celu zminimalizowania strat wchłaniania folii do poziomu ppm; urządzenia do rozpylania magnetronów są odpowiednie do produkcji komponentów optycznych elektroniki użytkowej, równoważąc efektywność i koszty.Lion King Vacuum koncentruje się na średnim i wysokim segmencie precyzyjnych powłokZalety jego sprzętu w zakresie przygotowywania filmów wielowarstwowych i kontroli stabilności środowiska sprawiają, że jest on szczególnie odpowiedni do niszowych scenariuszy, takich jak czujniki MEMS i urządzenia optyczne podczerwone.