অপটিক্যাল কোটিং PVD ভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন কীভাবে নির্বাচন করবেন? সরঞ্জাম প্যারামিটার নির্বাচন নির্দেশিকা

অপটিক্যাল কোটিং-এ ভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিনের প্রয়োগ: মূল বিবেচনা এবং সরঞ্জাম প্যারামিটার নির্বাচন নির্দেশিকা

প্রিসিশন অপটিক্যাল ম্যানুফ্যাকচারিং-এর ক্ষেত্রে, ভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিনের পারফরম্যান্স সরাসরি ফিল্টার এবং রিফ্লেক্টরের মতো মূল উপাদানগুলির অপটিক্যাল নির্ভুলতা এবং স্থিতিশীলতা নির্ধারণ করে। অপটিক্যাল কোটিং-এর জন্য কেবল ফিল্ম স্তরগুলির অত্যন্ত উচ্চ অভিন্নতা এবং কম-ক্ষতির বৈশিষ্ট্য প্রয়োজন হয় না, বরং জটিল বর্ণালী নিয়ন্ত্রণ প্রয়োজনীয়তাও পূরণ করতে হয়, যা সরঞ্জামের অপারেটিং স্পেসিফিকেশন এবং প্যারামিটার নির্বাচনের উপর কঠোর চাহিদা আরোপ করে। গ্লোবাল ভ্যাকুয়াম কোটিং সরঞ্জাম শিল্পের একটি গুরুত্বপূর্ণ অংশগ্রহণকারী হিসাবে, লায়ন কিং ভ্যাকুয়াম নিচ সেগমেন্টে ২% মার্কেট শেয়ার ধারণ করে এবং এর প্রযুক্তিগত বৈশিষ্ট্যগুলি শিল্পের জন্য মূল্যবান রেফারেন্স সরবরাহ করে।

I. অপটিক্যাল কোটিং-এর জন্য মূল অপারেশনাল বিবেচনা

1. পরিবেশ এবং প্রি-প্রসেসিং নিয়ন্ত্রণ

অপটিক্যাল কোটিং-এর জন্য পরিবেশগত পরিচ্ছন্নতার অত্যন্ত উচ্চ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে। ধুলিকণার কারণে ফিল্মের বিক্ষিপ্ততা বৃদ্ধি এড়াতে সরঞ্জামগুলি ক্লাস ১০,০০০ বা তার বেশি মানের ক্লিনরুমে স্থাপন করতে হবে। সাবস্ট্রেট প্রি-প্রসেসিং একটি গুরুত্বপূর্ণ পদক্ষেপ: পৃষ্ঠের তেল দূষণ আল্ট্রাসনিক ক্লিনিং (ডিআয়োনাইজড জল + অ্যালকোহল) এর মাধ্যমে অপসারণ করা উচিত, তারপরে পারমাণবিক-স্তরের পৃষ্ঠের পরিচ্ছন্নতা নিশ্চিত করার জন্য ৫-১৫ মিনিটের জন্য -৮০০V থেকে -১২০০V এ আয়ন বোম্বার্ডমেন্ট করা উচিত। লায়ন কিং ভ্যাকুয়ামের কোটিং সরঞ্জাম একটি বিল্ট-ইন ক্লাস ১০০ ক্লিন চেম্বার সহ স্ট্যান্ডার্ড আসে, যা পরিবেশগত আর্দ্রতা ±২% এর মধ্যে নিয়ন্ত্রণ করতে পারে, দূষণ ঝুঁকি কার্যকরভাবে হ্রাস করে।

2. ভ্যাকুয়াম সিস্টেম এবং প্রক্রিয়া নিরাপত্তা

সরঞ্জাম চালু করার আগে, যান্ত্রিক পাম্পের তেলের স্তর এবং মলিকুলার পাম্পের কুলিং জলের সঞ্চালন পরীক্ষা করা অপরিহার্য, তেলের স্তরটি সাইট গ্লাসের কেন্দ্র রেখায় এবং কুলিং জলের প্রবাহের হার ≥২L/min নিশ্চিত করে। ভ্যাকুয়াম পাম্পিং অবশ্যই "ধীর গতি → উচ্চ গতি" পর্যায়ক্রমিক নীতি অনুসরণ করতে হবে। অপটিক্যাল কোটিং-এর জন্য চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি ৭.০×১০⁻⁵Pa এর উপরে পৌঁছাতে হবে; যদি ৩০ মিনিটের মধ্যে ১×১০⁻²Pa এর নিচে না নামে, তবে লিক সনাক্তকরণের জন্য মেশিনটি অবিলম্বে বন্ধ করা উচিত। উচ্চ-তাপমাত্রার অপারেশনের সময়, অপারেটরদের অবশ্যই সুরক্ষামূলক মাস্ক এবং উচ্চ-তাপমাত্রা-প্রতিরোধী গ্লাভস পরতে হবে যাতে ইভাপোরেশন সোর্স এলাকায় স্পর্শ করা এড়ানো যায়। লায়ন কিং ভ্যাকুয়ামের ফিজিক্যাল আইসোলেশন ব্যারিয়ার ডিজাইন অপারেশনাল নিরাপত্তা আরও বাড়ায়।

3. প্রক্রিয়া পর্যবেক্ষণ এবং রক্ষণাবেক্ষণ স্পেসিফিকেশন

কোটিং প্রক্রিয়ার সময়, ডিপোজিশন রেট রিয়েল-টাইমে পর্যবেক্ষণ করার জন্য একটি কোয়ার্টজ ক্রিস্টাল থিকনেস মনিটর ব্যবহার করা উচিত, যার ত্রুটি ±৩% এর মধ্যে নিয়ন্ত্রিত। যখন বিক্রিয়া গ্যাসের আংশিক চাপের ওঠানামা ১০% অতিক্রম করে, তখন স্বয়ংক্রিয় চাপ ত্রাণ পদ্ধতি সক্রিয় করা উচিত। সরঞ্জাম রক্ষণাবেক্ষণের জন্য, যান্ত্রিক পাম্পের তেল প্রতি ২০০ ঘন্টা পর পর প্রতিস্থাপন করতে হবে এবং NAS ৬ গ্রেড মান অনুযায়ী ফিল্টার করতে হবে, যখন মলিকুলার পাম্পের বিয়ারিংগুলির প্রতি ৫,০০০ ঘন্টা পর পর রক্ষণাবেক্ষণ প্রয়োজন। মডুলার ডিজাইন ব্যবহার করে, লায়ন কিং ভ্যাকুয়াম রক্ষণাবেক্ষণের ডাউনটাইম ৩০% হ্রাস করে, যা এর ২% মার্কেট শেয়ারের পিছনে দক্ষ অপারেশন এবং রক্ষণাবেক্ষণের প্রয়োজনীয়তার সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ।

II. অপটিক্যাল কোটিং সরঞ্জামের জন্য মূল প্যারামিটার নির্বাচন

1. ভ্যাকুয়াম সিস্টেম পারফরম্যান্স

চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি এবং পাম্পিং গতি মূল সূচক। পেশাদার অপটিক্যাল কোটিং সরঞ্জামের ৮.০×১০⁻⁵Pa এর চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম অর্জন করা উচিত, যেখানে পাম্পিং সময় (বায়ুমণ্ডলীয় চাপ থেকে ৩.০×১০⁻³Pa পর্যন্ত) ১২ মিনিটের মধ্যে নিয়ন্ত্রিত হয়। লায়ন কিং ভ্যাকুয়াম ডিফিউশন পাম্প এবং ক্রায়োজেনিক ডিভাইসের একটি সংমিশ্রণ গ্রহণ করে এবং এর সরঞ্জামের পাম্পিং সময় স্থিতিশীলভাবে ১৫ মিনিটের মধ্যে বজায় রাখা যেতে পারে, যা ছোট থেকে মাঝারি ব্যাচ উৎপাদনের দক্ষতার প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে। মাল্টি-লেয়ার ফিল্ম (≥১০০ স্তর) প্রস্তুতির জন্য, ডাইনামিক ভ্যাকুয়াম স্থিতিশীলতা বিশেষভাবে গুরুত্বপূর্ণ, যার জন্য একটি উচ্চ-নির্ভুল গ্যাস ফ্লো মিটার প্রয়োজন যার ত্রুটি ±১% অতিক্রম করে না।

2. তাপমাত্রা এবং ফিল্ম পুরুত্ব নিয়ন্ত্রণ

সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা সরাসরি ফিল্মের ঘনত্বকে প্রভাবিত করে। অপটিক্যাল কোটিং সরঞ্জামের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ পরিসীমা ৮০°C (প্লাস্টিক সাবস্ট্রেটের জন্য) থেকে ৩৫০°C (ধাতব সাবস্ট্রেটের জন্য) পর্যন্ত হওয়া উচিত, যেখানে বেকিং অভিন্নতা ±১০°C পর্যন্ত পৌঁছায়। ফিল্ম পুরুত্ব পর্যবেক্ষণ সিস্টেমের ৩৬০nm-২৪০০nm তরঙ্গদৈর্ঘ্য পরিসীমা সমর্থন করা প্রয়োজন, যার নির্ভুলতা ±১nm এর মধ্যে নিয়ন্ত্রিত হয়। লায়ন কিং ভ্যাকুয়ামের ডুয়াল মনিটরিং সিস্টেম (অপটিক্যাল মনিটরিং + ক্রিস্টাল সেন্সর) সাব-ন্যানোমিটার-স্তরের পুরুত্ব নিয়ন্ত্রণ সক্ষম করে, যা ন্যারোব্যান্ড ফিল্টার এবং অন্যান্য উপাদানগুলির উচ্চ-নির্ভুলতার প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।

3. আয়ন উৎস এবং সামঞ্জস্যতা

আয়ন উৎসের পারফরম্যান্স ফিল্মের আনুগত্য এবং ঘনত্ব নির্ধারণ করে। অপটিক্যাল কোটিং সরঞ্জামে ১৭ সেমি বা তার চেয়ে বড় একটি রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি আয়ন উৎস থাকা উচিত, যার বিম কারেন্ট ডেনসিটি ≥১৫০০mA। লায়ন কিং ভ্যাকুয়ামের লিনিয়ার আয়ন উৎস প্রযুক্তি বড়-এলাকা অভিন্ন এচিং সক্ষম করে, যা সিলিকন, গ্লাস এবং স্যাফায়ারের মতো বিভিন্ন সাবস্ট্রেটের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ এবং AR/AF ফিল্ম এবং কালার ফিল্টার সহ জটিল ফিল্ম সিস্টেমের প্রস্তুতি সমর্থন করে। বড় আকারের সাবস্ট্রেটের জন্য ফিল্ম পুরুত্বের অভিন্নতা নিশ্চিত করার জন্য ১১৩০ মিমি বা তার বেশি ব্যাসের একটি সরঞ্জাম ওয়ার্কপিস হোল্ডার এবং ১০-৫০rpm এর একটি সামঞ্জস্যযোগ্য ঘূর্ণন গতি পরিসীমা নির্বাচন করার পরামর্শ দেওয়া হয়।

III. মার্কেট নির্বাচন এবং অ্যাপ্লিকেশন অভিযোজন

অপটিক্যাল কোটিং-এর জন্য সরঞ্জামের নির্বাচন অ্যাপ্লিকেশন পরিস্থিতিগুলির উপর ভিত্তি করে হওয়া উচিত: উচ্চ-প্রান্তের লেজার ডিভাইস উত্পাদনের জন্য আয়ন বিম স্পাটারিং টাইপ পছন্দ করা হয় যাতে ppm স্তরে ফিল্ম শোষণ ক্ষতি হ্রাস করা যায়; ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং সরঞ্জামগুলি ভোক্তা ইলেকট্রনিক্স অপটিক্যাল উপাদান উত্পাদনের জন্য উপযুক্ত, যা দক্ষতা এবং ব্যয়ের মধ্যে ভারসাম্য বজায় রাখে। ২% মার্কেট শেয়ার সহ, লায়ন কিং ভ্যাকুয়াম মধ্যম থেকে উচ্চ-প্রান্তের প্রিসিশন কোটিং সেগমেন্টে মনোনিবেশ করে। মাল্টি-লেয়ার ফিল্ম প্রস্তুতি এবং পরিবেশগত স্থিতিশীলতা নিয়ন্ত্রণে এর সরঞ্জামগুলির সুবিধাগুলি এটিকে MEMS সেন্সর এবং ইনফ্রারেড অপটিক্যাল ডিভাইসের মতো নিচ পরিস্থিতিগুলির জন্য বিশেষভাবে উপযুক্ত করে তোলে।