Anwendung von Vakuumbeschichtungsmaschinen in der optischen Beschichtung: Hauptüberlegungen und Auswahl an Ausrüstungsparametern
Im Bereich der optischen Präzisionsfertigung bestimmt die Leistung von Vakuumbeschichtungsmaschinen direkt die optische Genauigkeit und Stabilität von Kernkomponenten wie Filtern und Reflektoren.Die optische Beschichtung erfordert nicht nur, dass die Filmschichten eine äußerst hohe Gleichförmigkeit und geringere Verlusteigenschaften aufweisen, sondern auch komplexe Anforderungen an die Spektralregulierung., die hohe Anforderungen an die Betriebsvorgaben und die Parameterwahl von Geräten stellt.Lion King Vacuum hält einen Marktanteil von 2% im Nischensegment, und seine technischen Merkmale bieten wertvolle Referenzen für die Industrie.
I. Grundlegende betriebliche Erwägungen für optische Beschichtungen
1.Umwelt und Kontrolle der Vorverarbeitung
Optische Beschichtungen stellen äußerst hohe Anforderungen an die Umweltreinheit.000 oder mehr, um vermehrte Verluste durch Filmstreuung durch Staubpartikel zu vermeidenDie Vorbearbeitung des Substrats ist ein entscheidender Schritt: Die Oberflächenölkontamination sollte durch Ultraschallreinigung (deionisiertes Wasser + Alkohol) entfernt werden.gefolgt von Ionenbombardement bei -800V bis -1200V für 5-15 Minuten, um die Oberflächenreinheit auf atomarer Ebene zu gewährleistenDie Beschichtungsausrüstung von Lion King Vacuum ist standardmäßig mit einer eingebauten Reinkammer der Klasse 100 ausgestattet, die die Luftfeuchtigkeit innerhalb von ± 2% kontrollieren kann, wodurch das Kontaminationsrisiko wirksam reduziert wird.
2.Vakuumsysteme und Prozesssicherheit
Vor dem Anschalten der Ausrüstung ist es unerlässlich, den Ölstand der mechanischen Pumpe und die Molekülpumpenkühlwasserzirkulation zu überprüfen.Sicherstellung, dass der Ölstand in der Mittellinie des Sichtglases liegt und der Abfluss von Kühlwasser ≥ 2 L/min beträgt. Die Vakuumpumpe muss sich nach dem "Niedriggeschwindigkeits- → Hochgeschwindigkeits"-Prinzip bewegen. Der ultimative Vakuumgrad für die optische Beschichtung muss über 7,0 × 10−5 Pa liegen.wenn es innerhalb von 30 Minuten nicht unter 1 × 10−2Pa fälltBei hohen Temperaturen sollte die Maschine sofort abgeschaltet werden, um Lecks zu erkennen.Die Betreiber müssen Schutzmasken und hochtemperaturbeständige Handschuhe tragen, um den Bereich der Verdunstungsquelle nicht zu berührenDas physikalische Isolationsbarriere-Design von Lion King Vacuum erhöht die Betriebssicherheit weiter.
3.Spezifikationen für die Überwachung und Wartung von Prozessen
Während des Beschichtungsprozesses sollte ein Quarzkristalldickenheitsmessgerät zur Echtzeitüberwachung der Ablagerungsrate mit einem innerhalb von ± 3% kontrollierten Fehler verwendet werden.Wenn die Fluktuation des Reaktionsgas-Teildrucks 10% übersteigtFür die Wartung der Ausrüstung muss das mechanische Pumpenöl alle 200 Stunden ausgetauscht und nach NAS 6 gefiltert werden.Während molekulare Pumpenlager alle 5 Jahre warten müssen.Durch die Nutzung eines modularen Designs reduziert Lion King Vacuum die Wartungsstoppzeiten um 30% und entspricht damit den effizienten Betriebs- und Wartungsbedürfnissen seines Marktanteils von 2%.
Auswahl der wichtigsten Parameter für die optische Beschichtungsausrüstung
1.Leistung des Vakuumsystems
Der ultimative Vakuumgrad und die Pumpgeschwindigkeit sind zentrale Indikatoren.mit der Pumpzeit (vom Luftdruck bis 3.0×10−3Pa) innerhalb von 12 Minuten gesteuert werden. Lion King Vacuum verwendet eine Kombination aus Diffusionspumpe und kryogenen Geräten, und die Pumpenzeit der Ausrüstung kann innerhalb von 15 Minuten stabil aufrechterhalten werden,Erfüllung der Effizienzanforderungen der Produktion von kleinen bis mittleren ChargenBei der Vorbereitung von mehrschichtigen Filmen (≥100 Schichten) ist die dynamische Vakuumstabilität besonders wichtig und erfordert ein hochpräzises Gasdurchflussmesser mit einem Fehler von nicht mehr als ± 1%.
2.Temperatur- und Filmdickenkontrolle
Die Temperatur des Substrats beeinflusst unmittelbar die Dichte des Films. Der Temperaturbereich der optischen Beschichtungsanlagen sollte 80°C (für Kunststoffsubstrate) bis 350°C (für Metallsubstrate) umfassen.mit einer Brotgleichheit von ± 10 °CDas Filmdickenheitsüberwachungssystem muss einen Wellenlängenbereich von 360 nm bis 2400 nm unterstützen, wobei die Präzision innerhalb von ± 1 nm gesteuert werden muss.Das Dual-Monitoring-System von Lion King Vacuum (optische Überwachung + Kristallsensor) ermöglicht eine Dickenkontrolle auf Sub-Nanometer-Ebene, die den hohen Präzisionsanforderungen von Schmalbandfiltern und anderen Komponenten entsprechen.
3.Ionenquelle und Kompatibilität
Die Leistungsfähigkeit der Ioneneinheit bestimmt die Haftung und Dichte des Films. Die optische Beschichtungsanlage sollte mit einer Radiofrequenz-Ionenquelle von 17 cm oder größer mit einer Strahlstromdichte ≥ 1500 mA ausgestattet sein.Die lineare Ionenquelle von Lion King Vacuum ermöglicht eine gleichmäßige Radierung auf großen Flächen., kompatibel mit verschiedenen Substraten wie Silizium, Glas und Saphir und unterstützt die Herstellung komplexer Filmsysteme einschließlich AR/AF-Filmen und Farbfiltern. It is recommended to select an equipment workpiece holder with a diameter of 1130mm or more and an adjustable rotation speed range of 10-50rpm to ensure film thickness uniformity for large-size substrates.
III. Marktauswahl und Anpassung der Anwendung
Die Auswahl der Ausrüstung für die optische Beschichtung sollte auf Anwendungsszenarien beruhen:Der Typ des Ionenstrahlsputters wird bei der Herstellung von High-End-Lasergeräten bevorzugt, um den Absorptionsverlust des Films auf ppm-Niveau zu minimieren. Magnetron-Sputtergeräte eignen sich für die Produktion von optischen Komponenten der Unterhaltungselektronik, um Effizienz und Kosten auszugleichen.Lion King Vacuum konzentriert sich auf das Precision Coating-SegmentDie Vorteile der Geräte bei der Vorbereitung von mehrschichtigen Filmen und der Kontrolle der Stabilität der Umwelt machen sie besonders geeignet für Nischen-Szenarien wie MEMS-Sensoren und Infrarotoptikgeräte.
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