Toepassing van vacuümcoatingsmachines in optische coating: belangrijkste overwegingen en handleiding voor de selectie van apparatuurparameters
Op het gebied van precisie-optische productie bepaalt de prestaties van vacuümcoatingsmachines rechtstreeks de optische nauwkeurigheid en stabiliteit van kerncomponenten zoals filters en reflectoren.Optische coating vereist niet alleen dat filmlagen uiterst hoge uniformiteit en lage verlieskenmerken hebben, maar moet ook voldoen aan complexe spectrale regelgevingseisenAls een belangrijke speler in de wereldwijde industrie van vacuümcoatingsapparatuur, heeft het bedrijf in de jaren tachtig een zeer sterke concurrentiepositie.Lion King Vacuum heeft een marktaandeel van 2% in het niche-segment, en zijn technische kenmerken zijn waardevolle referenties voor de industrie.
I. Belangrijkste operationele overwegingen voor optische coating
1.Milieu en controle van de voorverwerking
De optische coating heeft zeer hoge eisen aan de milieu-schoonheid.000 of hoger om verhoogde filmverspreidingsverliezen door stofdeeltjes te voorkomenDe voorverwerking van het substraat is een cruciale stap: de verontreiniging van de oppervlakte met olie moet worden verwijderd door middel van ultrasone reiniging (deionisated water + alcohol),gevolgd door ionbombardement bij -800V tot -1200V gedurende 5-15 minuten om de zuiverheid van het oppervlak op atoomniveau te waarborgenDe coatingapparatuur van Lion King Vacuum is standaard voorzien van een ingebouwde Class 100-schoonkamer, die de luchtvochtigheid binnen ± 2% kan regelen, waardoor het risico op verontreiniging effectief wordt verminderd.
2.Veiligheid van vacuümsystemen en processen
Voordat de apparatuur wordt gestart, is het essentieel om het olieniveau van de mechanische pomp en de circulatie van het koelwater van de moleculaire pomp te controleren.ervoor te zorgen dat het olieniveau in het midden van het zichtglas ligt en dat de koelwaterstroom ≥ 2 l/min is. Vacuümpomping moet volgens het "low-speed → high-speed"-principe plaatsvinden. De ultieme vacuümgraad voor de optische coating moet boven 7,0 × 10−5Pa liggen;als het binnen 30 minuten niet onder 1 × 10−2Pa daalt, moet de machine onmiddellijk worden uitgeschakeld om lekkage te detecteren.De gebruikers moeten beschermende maskers en hoogtemperatuurbestendige handschoenen dragen om te voorkomen dat het gebied van de verdampingsbron wordt aangeraakt.Het fysieke isolatie barrière ontwerp van Lion King Vacuum verbetert de veiligheid van het bedrijf.
3.Specificaties voor procesbewaking en -onderhoud
Tijdens het coatingproces dient een kwartskristallendikte-monitor te worden gebruikt om de afzetting in realtime te controleren, met een fout die binnen ± 3% wordt gecontroleerd.Wanneer de fluctuatie van de reactiegaspartijdruk meer dan 10% bedraagtVoor het onderhoud van de apparatuur moet de olie van de mechanische pomp om de 200 uur worden vervangen en gefilterd volgens NAS 6-normen.terwijl moleculaire pomplagers elke 5 jaar onderhoud nodig hebben.Door gebruik te maken van een modulair ontwerp, vermindert Lion King Vacuum onderhoudsstoptijden met 30%, in overeenstemming met de efficiënte bedrijfs- en onderhoudsbehoeften achter zijn marktaandeel van 2%.
II. Selectie van de belangrijkste parameters voor optische coatingapparatuur
1.Prestaties van het vacuümsysteem
Het uiteindelijke vacuümgraad en de pompsnelheid zijn kernindicatoren.met de pomptijd (van atmosferische druk tot 3.0×10−3Pa) binnen 12 minuten kan worden gecontroleerd. Lion King Vacuum maakt gebruik van een combinatie van een diffusiepomp en een cryogene inrichting en de pomptijd van de apparatuur kan binnen 15 minuten stabiel worden gehandhaafd,voldoen aan de efficiëntievereisten van de productie van kleine tot middelgrote partijenVoor het bereiden van meerlagige folie (≥100 lagen) is dynamische vacuümstabiliteit bijzonder belangrijk en vereist het een zeer nauwkeurige gasstroommeter met een fout van niet meer dan ±1%.
2.Temperatuur- en filmdiktecontrole
De temperatuurtemperatuur van het substraat heeft een directe invloed op de filmdichtheid.met een uniform bakken van ± 10 °CHet filmdiktebewakingssysteem moet een golflengtebereik van 360 nm tot 2400 nm ondersteunen, met een nauwkeurigheid van ± 1 nm.Het dubbele bewakingssysteem van Lion King Vacuum (optische bewaking + kristalsensor) maakt diktecontrole op subnanometerniveau mogelijk, die voldoen aan de hoge precisievereisten van smalbandfilters en andere componenten.
3.Ionbron en compatibiliteit
Optische coatingapparatuur moet worden uitgerust met een radiofrequente ionenbron van 17 cm of groter, met een straalstroomdichtheid ≥ 1500 mA.Lion King Vacuum's lineaire ionenbron technologie maakt het mogelijk om op grote oppervlakte uniform etsen, compatibel met verschillende substraten zoals silicium, glas en saffier, en ondersteunt de bereiding van complexe filmsystemen, waaronder AR / AF-films en kleurenfilters. It is recommended to select an equipment workpiece holder with a diameter of 1130mm or more and an adjustable rotation speed range of 10-50rpm to ensure film thickness uniformity for large-size substrates.
III. Marktkeuze en aanpassing van de toepassing
De keuze van apparatuur voor optische coating moet gebaseerd zijn op toepassingsscenario's:Ionenstraalsputtering is de voorkeur voor de productie van high-end laserapparaten om het filmabsorptieverlies tot ppm te minimaliseren.Met een marktaandeel van 2%, is de productie van magnetron-sputteringapparatuur geschikt voor de productie van optische componenten voor consumentenelektronica, waarbij efficiëntie en kosten worden gebalanceerd.Lion King Vacuum concentreert zich op het mid-to-high-end precisie coating segmentDe voordelen van de apparatuur in de voorbereiding van meerlagige films en de controle van de stabiliteit van het milieu maken het bijzonder geschikt voor niche-scenario's zoals MEMS-sensoren en infraroodoptische apparaten.
Uw bericht moet tussen de 20-3.000 tekens bevatten!
