Optik Kaplama Nasıl Seçilir PVD Vakum Kaplama Makineleri? Ekipman Parametresi Seçim Kılavuzu

Optik kaplamada vakum kaplama makinelerinin uygulanması: Ana Dikkatler ve Ekipman Parametresi Seçimi Rehberi

Hassas optik üretim alanında, vakum kaplama makinelerinin performansı, filtreler ve reflektörler gibi çekirdek bileşenlerin optik doğruluğunu ve istikrarını doğrudan belirler.Optik kaplama sadece film katmanlarının son derece yüksek tekdüzelik ve düşük kayıp özelliklerine sahip olmasını değil, aynı zamanda karmaşık spektrum düzenleme gereksinimlerini de karşılamalıdır., ekipman çalışma özellikleri ve parametreler seçimi için sıkı talepler getirir.Lion King Vacuum, niş segmentinde % 2 pazar payına sahip, ve teknik özellikleri endüstri için değerli referanslar sağlar.

I. Optik kaplama için temel operasyonel düşünceler

1.Çevre ve Ön İşleme Kontrolü

Optik kaplama çevre temizliği için son derece yüksek gereksinimlere sahiptir.Toz parçacıklarından kaynaklanan film dağılım kaybının artmasını önlemek içinSubstrat öncesi işleme kritik bir adımdır: yüzey yağ kirliliği ultrasonik temizlik (deionize su + alkol) ile kaldırılmalıdır,atom seviyesindeki yüzey temizliğini sağlamak için 5-15 dakika boyunca -800V ila -1200V arasında iyon bombardımanı ile takip edilir.. Lion King Vacuum'un kaplama ekipmanları, %2'lik bir sınır içinde çevresel nem kontrol edebilen ve kirlenme riskini etkili bir şekilde azaltan 100 Sınıfı temiz oda ile birlikte standart olarak gelir.

2.Vakum Sistemi ve Süreç Güvenliği

Ekipmanı çalıştırmadan önce mekanik pompa yağ seviyesini ve moleküler pompa soğutma suyunun dolaşımını kontrol etmek şarttır.Yağ seviyesinin görüş camının merkez çizgisinde olmasını ve soğutma suyunun akış hızının ≥2L/min olmasını sağlamak. Vakum pompalaması "düşük hız → yüksek hız" aşamalı ilkesine uymalıdır. Optik kaplama için nihai vakum derecesi 7.0×10−5Pa'nın üzerinde olmalıdır;Eğer 30 dakika içinde 1×10−2Pa'nın altına düşmezseYüksek sıcaklıkta çalışmalar sırasında makine sızıntı tespiti için derhal kapatılmalıdır.Operatörler buharlaşma kaynağı alanına dokunmaktan kaçınmak için koruyucu maskeler ve yüksek sıcaklığa dayanıklı eldivenler takmalıdırlar.Aslan Kral Vacuum'un fiziksel izolasyon bariyer tasarımı operasyonel güvenliği daha da artırıyor.

3.Süreç İzleme ve Bakım Özellikleri

Kaplama işlemi sırasında,% ± 3'ün içinde kontrol edilen bir hata ile gerçek zamanlı olarak çökme oranını izlemek için kuvars kristal kalınlığı monitörü kullanılmalıdır.Reaksiyon gazının kısmi basınç dalgalanması %10'u aştığında, otomatik basınç indirme prosedürü etkinleştirilmelidir. Ekipmanın bakımı için, mekanik pompa yağı her 200 saatte bir değiştirilmeli ve NAS 6 sınıfı standartlarına göre filtre edilmelidir.moleküler pompa rulmanları ise her 5 yılda bir bakım gerektirir.Modüler tasarımını kullanan Lion King Vacuum, %2 pazar payının arkasındaki verimli operasyon ve bakım ihtiyaçlarına uyum sağlayarak bakım kesinti süresini %30 azaltır.

II. Optik kaplama ekipmanları için temel parametrelerin seçimi

1.Vakum Sistemi Performansı

Son vakum derecesi ve pompalama hızı temel göstergelerdir.pompalama süresiyle (atmosfer basıncından 3'e kadar).0×10−3Pa) 12 dakika içinde kontrol edilebilir. Lion King Vacuum, difüzyon pompası ve kriyojenik cihaz kombinasyonunu benimser ve ekipmanının pompalama süresi 15 dakika içinde istikrarlı bir şekilde korunabilir.Küçük ve orta seri üretiminde verimlilik gereksinimlerini karşılamakÇok katmanlı film (≥100 katman) hazırlamak için, dinamik vakum istikrarı özellikle önemlidir ve %1'den fazla olmayan bir hata ile yüksek hassasiyetli bir gaz akış ölçümcüsü gerektirir.

2.Sıcaklık ve Film Kalınlığı Kontrolü

Substrat sıcaklığı film yoğunluğunu doğrudan etkiler. Optik kaplama ekipmanlarının sıcaklık kontrol aralığı 80°C (plastik substratlar için) ile 350°C (metal substratlar için) arasında olmalıdır.Pıhtılama tekilliği ±10°C'ye ulaşanFilm kalınlığı izleme sisteminin, ± 1nm içinde kontrol edilen hassasiyetle 360nm-2400nm dalga boyu aralığını desteklemesi gerekir.Aslan Kral Vacuum'un çift izleme sistemi (optik izleme + kristal sensörü) nanometrenin altındaki kalınlık kontrolünü sağlar, dar bantlı filtrelerin ve diğer bileşenlerin yüksek hassasiyet gereksinimlerini karşılar.

3.İyon Kaynağı ve Uyumluluk

İyon kaynağı performansı film yapışkanlığını ve yoğunluğunu belirler. Optik kaplama ekipmanları, ≥1500mA ışın akım yoğunluğu olan, 17cm veya daha büyük bir radyo frekanslı iyon kaynağı ile donatılmalıdır.Aslan Kral Vacuum'un doğrusal iyon kaynağı teknolojisi, geniş alanlarda eşit kazıma imkanı sağlar., silikon, cam ve safir gibi çeşitli substratlarla uyumludur ve AR / AF filmleri ve renk filtreleri de dahil olmak üzere karmaşık film sistemlerinin hazırlanmasını destekler. It is recommended to select an equipment workpiece holder with a diameter of 1130mm or more and an adjustable rotation speed range of 10-50rpm to ensure film thickness uniformity for large-size substrates.

III. Piyasa Seçimi ve Uygulama Uyumlandırılması

Optik kaplama için ekipman seçimi, uygulama senaryolarına dayanmalıdır:Film emilim kaybını ppm seviyesine kadar en aza indirmek için yüksek kaliteli lazer cihazı üretimi için iyon ışını püskürtme tipi tercih edilir.Magnetron püskürtürme ekipmanları, tüketim elektronikleri optik bileşenleri üretimi, verimlilik ve maliyet dengeleme için uygundur.Lion King Vacuum orta ve yüksek seviye hassas kaplama segmentine odaklanıyorEkipmanının çok katmanlı film hazırlama ve çevresel istikrar kontrolündeki avantajları, MEMS sensörleri ve kızılötesi optik cihazlar gibi niş senaryolar için özellikle uygundur.