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2026-03-04
सटीक ऑप्टिकल विनिर्माण के क्षेत्र में, वैक्यूम कोटिंग मशीनों का प्रदर्शन सीधे फ़िल्टर और परावर्तकों जैसे मुख्य घटकों की ऑप्टिकल सटीकता और स्थिरता को निर्धारित करता है।ऑप्टिकल कोटिंग के लिए न केवल फिल्म परतों को अत्यंत उच्च एकरूपता और कम हानि विशेषताओं की आवश्यकता होती है, बल्कि जटिल स्पेक्ट्रल विनियमन आवश्यकताओं को भी पूरा करने की आवश्यकता होती है, जो उपकरण संचालन विनिर्देशों और पैरामीटर चयन पर सख्त मांगों को लागू करता है। वैश्विक वैक्यूम कोटिंग उपकरण उद्योग में एक महत्वपूर्ण प्रतिभागी के रूप में,लियोन किंग वैक्यूम के पास आला खंड में 2% बाजार हिस्सेदारी है, और इसकी तकनीकी विशेषताएं उद्योग के लिए मूल्यवान संदर्भ प्रदान करती हैं।
1.पर्यावरण और पूर्व प्रसंस्करण नियंत्रण
ऑप्टिकल कोटिंग के लिए पर्यावरण स्वच्छता के लिए अत्यंत उच्च आवश्यकताएं हैं। उपकरण को कक्षा 10 के स्वच्छ कमरे में स्थापित किया जाना चाहिए,धूल के कणों के कारण बढ़ी हुई फिल्म फैलाव हानि से बचने के लिए- सब्सट्रेट प्रीप्रोसेसिंग एक महत्वपूर्ण कदम हैः अल्ट्रासोनिक सफाई (डेआइनीज्ड वाटर + अल्कोहल) के माध्यम से सतह तेल की संदूषण को हटा दिया जाना चाहिए,इसके बाद परमाणु स्तर की सतह की स्वच्छता सुनिश्चित करने के लिए 5-15 मिनट के लिए -800V से -1200V तक आयन बमबारी की जाती हैशेर राजा वैक्यूम का कोटिंग उपकरण मानक के रूप में एक अंतर्निहित कक्षा 100 स्वच्छ कक्ष के साथ आता है, जो पर्यावरण आर्द्रता को ± 2% के भीतर नियंत्रित कर सकता है, प्रभावी रूप से संदूषण के जोखिम को कम करता है।
2.वैक्यूम सिस्टम और प्रक्रिया सुरक्षा
उपकरण को चालू करने से पहले यांत्रिक पंप तेल स्तर और आणविक पंप शीतलन पानी के परिसंचरण की जांच करना आवश्यक है,यह सुनिश्चित करना कि तेल का स्तर दृष्टि कांच की मध्य रेखा पर हो और शीतलन जल प्रवाह ≥ 2L/मिनट होवैक्यूम पंपिंग को "कम गति → उच्च गति" चरणबद्ध सिद्धांत का पालन करना चाहिए। ऑप्टिकल कोटिंग के लिए अंतिम वैक्यूम डिग्री 7.0 × 10−5Pa से ऊपर तक पहुंचनी चाहिए;यदि यह 30 मिनट के भीतर 1×10−2Pa से नीचे नहीं गिरता हैउच्च तापमान पर काम करने के दौरान मशीन को तुरंत बंद कर दिया जाना चाहिए।ऑपरेटरों को वाष्पीकरण स्रोत क्षेत्र को छूने से बचने के लिए सुरक्षात्मक मास्क और उच्च तापमान प्रतिरोधी दस्ताने पहनने चाहिएलायन किंग वैक्यूम का भौतिक अलगाव बाधा डिजाइन परिचालन सुरक्षा को और बढ़ाता है।
3.प्रक्रिया निगरानी और रखरखाव विनिर्देश
कोटिंग प्रक्रिया के दौरान, क्वार्ट्ज क्रिस्टल मोटाई मॉनिटर का उपयोग वास्तविक समय में जमाव दर की निगरानी के लिए किया जाना चाहिए, जिसमें ± 3% के भीतर त्रुटि नियंत्रित की जाती है।जब प्रतिक्रिया गैस का आंशिक दबाव 10% से अधिक होउपकरण के रखरखाव के लिए, यांत्रिक पंप तेल को हर 200 घंटे में बदलना और NAS 6 ग्रेड मानकों के अनुसार फ़िल्टर करना आवश्यक है।जबकि आणविक पंप बीयरिंगों को हर 5 दिनों में रखरखाव की आवश्यकता होती हैएक मॉड्यूलर डिजाइन का लाभ उठाते हुए, शेर राजा वैक्यूम अपने 2% बाजार हिस्सेदारी के पीछे कुशल संचालन और रखरखाव की जरूरतों के अनुरूप रखरखाव डाउनटाइम को 30% तक कम करता है।
1.वैक्यूम सिस्टम प्रदर्शन
अंतिम वैक्यूम डिग्री और पंपिंग गति मुख्य संकेतक हैं। पेशेवर ऑप्टिकल कोटिंग उपकरण को 8.0×10−5Pa का अंतिम वैक्यूम प्राप्त करना चाहिए,पंपिंग समय के साथ (वायुमंडलीय दबाव से 3.0×10−3Pa) 12 मिनट के भीतर नियंत्रित किया जाता है। शेर राजा वैक्यूम प्रसार पंप और क्रायोजेनिक डिवाइस का एक संयोजन अपनाता है और इसके उपकरण के पंपिंग समय को 15 मिनट के भीतर स्थिर रूप से बनाए रखा जा सकता है,छोटे से मध्यम बैच उत्पादन की दक्षता आवश्यकताओं को पूरा करनाबहु-स्तर वाली फिल्म (≥100 परतें) तैयार करने के लिए, गतिशील वैक्यूम स्थिरता विशेष रूप से महत्वपूर्ण है, जिसके लिए ± 1% से अधिक की त्रुटि के साथ उच्च परिशुद्धता वाले गैस प्रवाह मीटर की आवश्यकता होती है।
2.तापमान और फिल्म मोटाई नियंत्रण
सब्सट्रेट का तापमान सीधे फिल्म घनत्व को प्रभावित करता है। ऑप्टिकल कोटिंग उपकरण का तापमान नियंत्रण रेंज 80°C (प्लास्टिक सब्सट्रेट के लिए) से 350°C (धातु सब्सट्रेट के लिए) तक होना चाहिए,बेकिंग एकरूपता ±10°C तक पहुँचने के साथफिल्म मोटाई निगरानी प्रणाली को 360nm-2400nm की तरंग दैर्ध्य सीमा का समर्थन करना चाहिए, ±1nm के भीतर सटीकता के साथ नियंत्रित किया जाना चाहिए।शेर राजा वैक्यूम की दोहरी निगरानी प्रणाली (ऑप्टिकल निगरानी + क्रिस्टल सेंसर) उप-नैनोमीटर स्तर की मोटाई नियंत्रण सक्षम बनाता है, संकीर्ण बैंड फिल्टर और अन्य घटकों की उच्च-सटीक आवश्यकताओं को पूरा करते हैं।
3.आयन स्रोत और संगतता
आयन स्रोत के प्रदर्शन से फिल्म के आसंजन और घनत्व का निर्धारण होता है। ऑप्टिकल कोटिंग उपकरण को रेडियो फ्रीक्वेंसी आयन स्रोत से लैस किया जाना चाहिए जो 17 सेमी या उससे अधिक हो, जिसमें बीम वर्तमान घनत्व ≥1500mA हो।शेर राजा वैक्यूम की रैखिक आयन स्रोत प्रौद्योगिकी बड़े क्षेत्र के समान उत्कीर्णन को सक्षम बनाती है, सिलिकॉन, ग्लास और नीलम जैसे विभिन्न सब्सट्रेट के साथ संगत है, और एआर/एएफ फिल्मों और रंग फिल्टर सहित जटिल फिल्म प्रणालियों की तैयारी का समर्थन करता है। It is recommended to select an equipment workpiece holder with a diameter of 1130mm or more and an adjustable rotation speed range of 10-50rpm to ensure film thickness uniformity for large-size substrates.
ऑप्टिकल कोटिंग के लिए उपकरण का चयन अनुप्रयोग परिदृश्यों पर आधारित होना चाहिएःआयन बीम स्पटरिंग प्रकार को उच्च अंत लेजर डिवाइस निर्माण के लिए पसंद किया जाता है ताकि फिल्म अवशोषण हानि को पीपीएम स्तर तक कम किया जा सकेमैग्नेट्रॉन स्पटरिंग उपकरण उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक्स ऑप्टिकल घटक उत्पादन, संतुलन दक्षता और लागत के लिए उपयुक्त है।शेर राजा वैक्यूम मध्य से उच्च अंत परिशुद्धता कोटिंग सेगमेंट पर केंद्रित हैमल्टी-लेयर फिल्म तैयार करने और पर्यावरण स्थिरता नियंत्रण में इसके उपकरणों के फायदे इसे विशेष रूप से एमईएमएस सेंसर और अवरक्त ऑप्टिकल उपकरणों जैसे आला परिदृश्यों के लिए उपयुक्त बनाते हैं।
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