Πώς να επιλέξετε οπτική επικάλυψη PVD Μηχανές επικάλυψης κενού; Οδηγός επιλογής παραμέτρων εξοπλισμού

Εφαρμογή των μηχανών επικαλύψεως κενού σε οπτική επικαλύβωση: Κύριες σκέψεις και οδηγός επιλογής παραμέτρων εξοπλισμού

Στο πεδίο της οπτικής κατασκευής ακριβείας, η απόδοση των μηχανών επικαλύψεως κενού καθορίζει άμεσα την οπτική ακρίβεια και σταθερότητα βασικών εξαρτημάτων όπως φίλτρα και ανακλαστήρες.Η οπτική επικάλυψη απαιτεί όχι μόνο τα στρώματα φιλμ να έχουν εξαιρετικά υψηλή ομοιομορφία και χαρακτηριστικά χαμηλής απώλειας, αλλά και να πληρούν πολύπλοκες απαιτήσεις ραδιογραφικής ρύθμισης.Ως ένας σημαντικός συμμετέχων στην παγκόσμια βιομηχανία εξοπλισμού επικαλύψεως με κενό,Η Lion King Vacuum κατέχει μερίδιο αγοράς 2% στο τομέα των ειδών, και τα τεχνικά χαρακτηριστικά της παρέχουν πολύτιμες αναφορές για τον κλάδο.

Ι. Βασικές επιχειρησιακές εκτιμήσεις για την οπτική επίστρωση

1.Περιβάλλον και έλεγχος προεπεξεργασίας

Η οπτική επικάλυψη έχει εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις για την καθαριότητα του περιβάλλοντος.000 ή μεγαλύτερο για την αποφυγή αυξημένων απωλειών διάσπασης ταινίας που προκαλούνται από σωματίδια σκόνηςΗ προεπεξεργασία του υποστρώματος είναι ένα κρίσιμο βήμα: η μόλυνση του ελαίου της επιφάνειας πρέπει να αφαιρείται μέσω υπερήχων καθαρισμού (δειονισμένο νερό + αλκοόλ),ακολουθείται από βομβαρδισμό ιόντων σε -800V έως -1200V για 5-15 λεπτά για να εξασφαλιστεί η καθαριότητα της επιφάνειας σε ατομικό επίπεδοΟ εξοπλισμός επικάλυψης του Lion King Vacuum είναι τυποποιημένος με ενσωματωμένο καθαρό θάλαμο κλάσης 100, ο οποίος μπορεί να ελέγχει την υγρασία του περιβάλλοντος εντός ± 2%, μειώνοντας αποτελεσματικά τους κινδύνους μόλυνσης.

2.Ασφάλεια συστήματος κενού και διαδικασίας

Πριν από την έναρξη λειτουργίας του εξοπλισμού, είναι απαραίτητο να ελέγχεται το επίπεδο ελαίου της μηχανικής αντλίας και η κυκλοφορία νερού ψύξης της μοριακής αντλίας,διασφάλιση ότι το επίπεδο του ελαίου βρίσκεται στην κεντρική γραμμή του γυαλιού θέσης και η ροή νερού ψύξης είναι ≥ 2L/min. η αντλία κενού πρέπει να ακολουθεί την αρχή της σταδιακής λειτουργίας "χαμηλής ταχύτητας → υψηλής ταχύτητας".εάν δεν μειωθεί κάτω από 1 × 10−2Pa εντός 30 λεπτώνΚατά τη διάρκεια λειτουργίας σε υψηλές θερμοκρασίες, το μηχάνημα πρέπει να κλείνει αμέσως για την ανίχνευση διαρροής.οι χειριστές πρέπει να φορούν προστατευτικές μάσκες και ανθεκτικά σε υψηλές θερμοκρασίες γάντια για να αποφεύγουν την επαφή με την περιοχή της πηγής εξάτμισηςΟ σχεδιασμός του φυσικού απομονωτικού φραγμού του Lion King Vacuum ενισχύει περαιτέρω την επιχειρησιακή ασφάλεια.

3.Προδιαγραφές παρακολούθησης και συντήρησης διαδικασιών

Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επικάλυψης, θα πρέπει να χρησιμοποιείται ένας ανιχνευτής πάχους κρυστάλλου χαλαζιού για την πραγματική παρακολούθηση του ρυθμού εναπόθεσης, με σφάλμα που ελέγχεται εντός ± 3%.Όταν η διακύμανση της μερικής πίεσης του αερίου αντίδρασης υπερβαίνει το 10%Για τη συντήρηση του εξοπλισμού, το έλαιο μηχανικής αντλίας πρέπει να αντικαθίσταται κάθε 200 ώρες και να φιλτράρεται σύμφωνα με τα πρότυπα κλάσης NAS 6.Ενώ τα ελαστικά μοριακών αντλιών απαιτούν συντήρηση κάθε 5Χρησιμοποιώντας ένα μοντελοποιημένο σχεδιασμό, το Lion King Vacuum μειώνει τον χρόνο στάσης συντήρησης κατά 30%, ευθυγραμμίζοντας με τις αποτελεσματικές ανάγκες λειτουργίας και συντήρησης πίσω από το 2% μερίδιο αγοράς του.

ΙΙ. Επιλογή βασικών παραμέτρων για εξοπλισμό οπτικής επικάλυψης

1.Απόδοση συστήματος κενού

Ο τελικός βαθμός κενού και η ταχύτητα άντλησης είναι βασικοί δείκτες.με τον χρόνο άντλησης (από την ατμοσφαιρική πίεση έως 3Το Lion King Vacuum υιοθετεί συνδυασμό αντλίας διάχυσης και κρυογενούς συσκευής και ο χρόνος άντλησης του εξοπλισμού του μπορεί να διατηρηθεί σταθερός εντός 15 λεπτών,ανταποκρίνεται στις απαιτήσεις αποδοτικότητας της παραγωγής μικρών έως μεσαίων παρτίδωνΓια την παρασκευή πολυστρωμάτων ταινιών (≥ 100 στρώματα), η δυναμική σταθερότητα στο κενό είναι ιδιαίτερα σημαντική, απαιτώντας ένα μετρητή ροής αερίου υψηλής ακρίβειας με σφάλμα που δεν υπερβαίνει το ± 1%.

2.Έλεγχος της θερμοκρασίας και του πάχους του φιλμ

Η θερμοκρασία του υποστρώματος επηρεάζει άμεσα την πυκνότητα του φιλμ. Το εύρος ελέγχου θερμοκρασίας του οπτικού εξοπλισμού επίχρισής πρέπει να καλύπτει το εύρος 80 °C (για πλαστικά υποστρώματα) έως 350 °C (για μεταλλικά υποστρώματα),με ομοιομορφία ψήσιμου που φτάνει τους ±10°CΤο σύστημα παρακολούθησης του πάχους του φιλμ πρέπει να υποστηρίζει ένα εύρος μήκους κύματος 360 nm-2400 nm, με ακρίβεια που ελέγχεται εντός ± 1 nm.Το σύστημα διπλής παρακολούθησης του Lion King Vacuum (οπτική παρακολούθηση + ανιχνευτής κρυστάλλων) επιτρέπει τον έλεγχο πάχους σε επίπεδο κάτω των νανομέτρων, που ανταποκρίνεται στις απαιτήσεις υψηλής ακρίβειας των στενότατων φίλτρων και άλλων εξαρτημάτων.

3.Πηγή ιόντων και συμβατότητα

Οι επιδόσεις των πηγών ιόντων καθορίζουν την προσκόλληση και την πυκνότητα του φιλμ. Οπτικός εξοπλισμός επικάλυψης πρέπει να είναι εξοπλισμένος με πηγή ιόντων ραδιοσυχνοτήτων 17 cm ή μεγαλύτερη, με πυκνότητα ρεύματος δέσμης ≥ 1500mA.Η τεχνολογία γραμμικής πηγής ιόντων του Lion King Vacuum επιτρέπει την ομοιόμορφη χαρακτική μεγάλης έκτασης, συμβατό με διάφορα υποστρώματα όπως το πυρίτιο, το γυαλί και το ζαφείρι, και υποστηρίζει την προετοιμασία πολύπλοκων συστημάτων ταινιών, συμπεριλαμβανομένων ταινιών AR / AF και χρωματικών φίλτρων. It is recommended to select an equipment workpiece holder with a diameter of 1130mm or more and an adjustable rotation speed range of 10-50rpm to ensure film thickness uniformity for large-size substrates.

III. Επιλογή αγοράς και προσαρμογή της εφαρμογής

Η επιλογή εξοπλισμού για οπτική επικάλυψη θα πρέπει να βασίζεται σε σενάρια εφαρμογής:ο τύπος ψεκασμού δέσμης ιόντων προτιμάται για την κατασκευή συσκευών λέιζερ υψηλής τεχνολογίας για την ελαχιστοποίηση της απώλειας απορρόφησης του φιλμ σε επίπεδο ppmΜε μερίδιο αγοράς 2%, το μέγεθος της αγοράς της βιομηχανίας είναι μικρότερο.Το Lion King Vacuum επικεντρώνεται στο μεσαίο έως υψηλού επιπέδου τμήμα επικαλύψεων ακριβείαςΤα πλεονεκτήματα του εξοπλισμού του στην προετοιμασία πολυστρωμάτων ταινιών και τον έλεγχο της περιβαλλοντικής σταθερότητας το καθιστούν ιδιαίτερα κατάλληλο για σενάρια νιψιών όπως οι αισθητήρες MEMS και οι υπέρυθρες οπτικές συσκευές.