>
>
2026-03-04
في مجال التصنيع البصري الدقيق، يؤثر أداء آلات طلاء الفراغ بشكل مباشر على الدقة البصرية واستقرار المكونات الأساسية مثل المرشحات والعاكسات.الطلاء البصري لا يتطلب فقط طبقات الفيلم أن يكون لها توحيد عالية للغاية وخصائص منخفضة الخسارة ولكن أيضا يحتاج إلى تلبية متطلبات تنظيم الطيف المعقدة، والتي تفرض متطلبات صارمة على مواصفات تشغيل المعدات واختيار المعلمات.ملك الأسد الفراغ يحمل حصة سوقية بنسبة 2٪ في قطاع النشوة، وميزاتها التقنية توفر مراجع قيمة للصناعة.
1.البيئة ومراقبة ما قبل المعالجة
الطلاء البصري يتطلب متطلبات عالية للغاية لتنظيف البيئة. يجب تركيب المعدات في غرفة نظيفة من الفئة 10.000 أو أعلى لتجنب زيادة خسائر التشتت الفيلم الناجمة عن جزيئات الغبارالمعالجة المسبقة للقالب هي خطوة حاسمة: يجب إزالة تلوث زيت السطح عن طريق التنظيف بالموجات فوق الصوتية (المياه المهجورة + الكحول) ،تليها قصف الأيونات عند -800V إلى -1200V لمدة 5-15 دقيقة لضمان نظافة سطح المستوى الذري.تأتي معدات طلاء "ليون كينغ فاكيوم" بشكل قياسي مع غرفة نظيفة مدمجة من الدرجة 100، والتي يمكن أن تتحكم في رطوبة البيئة ضمن نسبة ±2٪، مما يقلل بشكل فعال من مخاطر التلوث.
2.نظام الفراغ وسلامة العملية
قبل تشغيل المعدات من الضروري التحقق من مستوى زيت المضخة الميكانيكية وتداول المياه الباردة للمضخة الجزيئية ،ضمان أن يكون مستوى الزيت في خط وسط زجاج المرآة و أن يكون معدل تدفق مياه التبريد ≥2L/minيجب أن يتبع ضخ الفراغ مبدأ "سرعة منخفضة → سرعة عالية". يجب أن تصل درجة الفراغ النهائية للطلاء البصري إلى ما يزيد عن 7.0 × 10-5Pa.إذا فشلت في الانخفاض إلى أقل من 1 × 10 -2Pa خلال 30 دقيقةيجب إيقاف تشغيل الجهاز فوراً للكشف عن التسرب.يجب على المشغلين ارتداء أقنعة واقية و قفازات مقاومة لدرجات الحرارة العالية لتجنب لمس منطقة مصدر التبخرتصميم حاجز العزل الفيزيائي لـ (ليون كينغ فاكوم) يزيد من سلامة العمليات.
3.مواصفات مراقبة العملية وصيانتها
أثناء عملية الطلاء، يجب استخدام جهاز مراقبة سمك بلورات الكوارتز لمراقبة معدل التركيب في الوقت الفعلي، مع تحكم الخطأ في حدود ± 3٪.عندما يتجاوز تقلب ضغط جزئي غاز التفاعل 10%، يجب تشغيل إجراء تخفيف الضغط التلقائي. للحفاظ على المعدات ، يحتاج زيت المضخة الميكانيكية إلى استبدال كل 200 ساعة وتصفية معايير NAS 6 ،بينما محامل المضخة الجزيئية تتطلب صيانة كل 5باستخدام تصميم وحدات، يقلل "ليون كينغ فاكيوم" من وقت توقف الصيانة بنسبة 30%، مما يتماشى مع احتياجات التشغيل والصيانة الفعالة وراء حصته السوقية البالغة 2%
1.أداء نظام الفراغ
درجة الفراغ النهائي وسرعة الضخ هي مؤشرات أساسية. يجب أن تحقق معدات الطلاء البصري المهنية فراغًا نهائيًا يبلغ 8.0 × 10-5Pa ،مع وقت الضخ (من الضغط الجوي إلى 3.0×10−3Pa) يتم التحكم بها في غضون 12 دقيقة. يعتمد Lion King Vacuum على مزيج من مضخة الانتشار والجهاز التجميلي ، ويمكن الحفاظ على وقت ضخ معداتها بشكل مستقر في غضون 15 دقيقة ،تلبية متطلبات كفاءة إنتاج الدفعات الصغيرة والمتوسطةبالنسبة لإعداد الأفلام متعددة الطبقات (≥100 طبقة) ، فإن استقرار الفراغ الديناميكي مهم بشكل خاص ، مما يتطلب مقياس تدفق الغاز عالي الدقة مع خطأ لا يتجاوز ± 1 ٪.
2.التحكم في درجة الحرارة وسمك الفيلم
تتأثر درجة حرارة القالب بشكل مباشر بكثافة الفيلم. يجب أن تغطي نطاق تحكم درجة حرارة معدات الطلاء البصري 80 درجة مئوية (بالنسبة للقالب البلاستيكي) إلى 350 درجة مئوية (بالنسبة للقالب المعدني) ،مع توحيد الخبز يصل إلى ±10°Cيحتاج نظام مراقبة سمك الفيلم إلى دعم نطاق طول الموجة من 360nm-2400nm ، مع تحكم الدقة ضمن ± 1nm.نظام المراقبة المزدوج لـ Lion King Vacuum (المراقبة البصرية + جهاز الاستشعار الكريستالي) يتيح التحكم في سمك مستوى أقل من نانومتر، تلبية متطلبات الدقة العالية من المرشحات الضيقة النطاق وغيرها من المكونات.
3.مصدر الأيونات والتوافق
أداء مصدر الأيون يحدد صلابة الفيلم وكثافته. يجب أن تكون معدات الطلاء البصرية مجهزة بمصدر أيوني تردد لاسلكي يبلغ 17 سم أو أكبر ، مع كثافة تيار شعاع ≥ 1500mA.تكنولوجيا مصدر الأيونات الخطيّة لـ"ليون كينغ فاكيوم" تمكّن من الحفر الموحّد على مساحات كبيرة، متوافق مع مختلف الأساسات مثل السيليكون والزجاج والزفير ، ويدعم إعداد أنظمة الأفلام المعقدة بما في ذلك أفلام AR / AF ومصفات الألوان. It is recommended to select an equipment workpiece holder with a diameter of 1130mm or more and an adjustable rotation speed range of 10-50rpm to ensure film thickness uniformity for large-size substrates.
يجب أن يستند اختيار المعدات للطلاء البصري إلى سيناريوهات التطبيق:يتم تفضيل نوع البث بالشعاع الأيوني لتصنيع أجهزة الليزر الراقية لتقليل فقدان امتصاص الفيلم إلى مستوى ppm؛ معدات البسترة المغناطيسية مناسبة لإنتاج المكونات البصرية للإلكترونيات الاستهلاكية، وتوازن الكفاءة والتكلفة.يركز شركة Lion King Vacuum على قطاع طلاء الدقة المتوسط إلى العاليميزات أجهزتها في إعداد الفيلم متعدد الطبقات ومراقبة استقرار البيئة تجعلها مناسبة بشكل خاص للسيناريوهات المتخصصة مثل أجهزة الاستشعار MEMS والأجهزة البصرية تحت الحمراء.
اتصل بنا في أي وقت
