Fiziksel Vakum Kaplama (PVD), elektronik bilgi, optik cihazlar, donanım dekorasyonu, havacılık ve diğer endüstrilerde yaygın olarak uygulanan modern malzeme yüzey tedavisinde temel bir teknolojidir.Vakum kaplama makinesi, bu süreci gerçekleştirmek için kilit ekipman olarak, çalışma istikrarı doğrudan kaplama katmanının kalitesini belirler.Üretim verimliliği ve ekipman ömrüStandart temizlik, bilimsel bakım ve verimli hedef malzeme geri kazanımı, ekipmanların uzun vadeli istikrarlı çalışması için üç temel unsurdur.Gerçek üretim uygulamalarına dayanarak, vakum kaplama makinelerinin temizliği ve bakımının temel noktalarını ve hedef malzeme geri kazanma teknolojisini sistematik olarak açıklar ve endüstri uzmanları için pratik referanslar sağlar..
I. Vakum Kaplama Makinesi: Modern Endüstrinin "Yüzey Makyaj Sanatçısı"
Vakum kaplama, metallerin, alaşımların veya bileşiklerin buharlaştırıldığı ve yoğun ve tekdüze bir film oluşturmak için substrat yüzeyinde biriktirildiği kapalı bir vakum ortamında gerçekleştirilen bir işlemdir.Fiziksel vakum kaplama makinesi esas olarak bir vakum odasından oluşur, vakum sistemi, püskürtme / buharlaşma kaynağı, gaz tedarik sistemi, soğutma sistemi ve elektrik kontrol sistemi.Kontrol edilebilir kalınlık ve çevre dostu, kirlilik olmadanGeleneksel galvanizasyonun yerini alan yaygın bir teknolojidir.
Bununla birlikte, uzun süreli çalışma sırasında, oda kaplama atıklarını ve tozunu tutacaktır, vakum sistemi kirliliklerle kirlenmeye eğilimlidir,ve hedef malzeme yavaş yavaş yıpranır ve başarısız olur, bu da sadece kaplama katmanının tekdüzeliği ve yoğunluğu gibi kilit göstergeleri etkilemekle kalmaz, aynı zamanda ekipman arızası oranının artmasına ve ömrünün kısaltılmasına yol açar.Standart bir temizlik ve bakım sistemi oluşturmak, hedef malzemenin geri kazanılması ve kullanımı konusunda iyi bir iş yapmanın yanı sıra, sadece üretim kalitesini sağlamak için gerekli bir araç değil,Ama aynı zamanda üretim maliyetlerini azaltmak ve yeşil üretim elde etmek için önemli bir yol.
II. Kesin Temizlik: Kaplama kalitesi için ilk savunma hattı
Vakum kaplama makinelerinin temizliği günlük tek seferlik temizlik ve düzenli derin temizlik olarak ayrılır.Farklı bileşenler için sıklıklar ve gereksinimler önemli ölçüde farklıdır.Temel ilke, odayı hasarlandırmamak, kirlilik bırakmamak ve vakum mühürleme performansına zarar vermemektir.
(1) Günlük tek seferlik temizlik: Her kaplama partisi sonrası temel bakım
Her kaplama tamamlandıktan ve vakum kırıldıktan sonra, atıkların katılaşmasını ve yapışmasını önlemek için hemen temel bir temizlik yapılmalıdır.İş parçasının tutucusu ve gözlem penceresi temel temizlik nesneleri.Alkolle ıslatılmış bir mikrofiber bezle tek yönde silin. Havanın sızmasına neden olan çiziklerden kaçınmak için odanın cilalanmış yüzeyini kazımak için metal bıçaklar kullanmayın.Gözlem penceresi, şeffaflığı korumak ve açık bir süreç izlemesi sağlamak için özel tozsuz kağıtla silinmelidir..
Sputtering hedefi malzemesi ve buharlaşma kaynağı gibi çekirdek bileşenleri dikkatlice temizlemek gerekir:Çırpılan maddeler ve hedef yüzeyde birikmiş toz kaplama kıvılcım ve kaplama katmanında kirliliklere neden olabilirYumuşak bir bezle silinebilirler.Elektron tabancası havuzundaki kalıntı kaplama malzemesi, havuzun iç duvarını kaşınmasını önlemek için özel bir volfram iğnesiyle dikkatlice çıkarılmalıdır.; direniş buharlaştırma teknesi yüzey kalıntılarını temizlemek ve deformasyon veya çatlak kontrol etmek gerekir.Ayrılabilir koruma kapağı ve iş tutma armatürleri ultrasonik dalgalarla temizlenebilir40-50'de.°Cözel temizleyici ile, 15-20 dakika boyunca temizlenmeli, su kalıntılarının önlenmesi için saf suyla durulmalı ve azotla kurutulmalıdır.
(2) Düzenli derin temizlik: Ekipmanın ömrünü uzatmak için temel işlem
Derin temizlik her 50-100 kaplama döngüsünde veya ayda bir yapılmalıdır.İç duvardaki inatçı birikimi kaldırmak için 30 dakika kazın. Flanşın ve O yüzüğünün mühürleme yüzeyi vakum mühürlemesinin çekirdeğidir. Çıkarıldıktan sonra, olukları ve mühürleme yüzeylerini alkolle iyice temizleyin, çizik veya hasar olup olmadığını kontrol edin.Ve yaşlanmış ve sertleşmiş O-ring'i hemen değiştirin.Temizlikten sonra, yüksek vakumlu silikon yağının ince bir katmanını uygulayın, silikon yağının kaplama katmanını kirletmesini önlemek için uygun miktarda dikkat edin.
Aynı zamanda, tıkanıklık veya gaz kalıntılarının önlenmesi için gaz borularının ve akış sayaçlarının kuru nitrojen ile üflenmesi gerekir.Soğutma verimliliğini sağlamak için soğutma borularının ölçeklenmesi veya tıkanması kontrol edilmelidir.Derin temizlikten sonra, üretim yeniden başlamadan önce oda sızıntı oranının standardı karşıladığını onaylamak için vakum sızıntı tespiti yapılmalıdır.
III. Bilimsel bakım: Ekipmanın uzun vadeli istikrarlı çalışmasını sağlamak
Vakum kaplama makinesinin bakımı üç ana modüle odaklanır: vakum sistemi, soğutma sistemi ve elektrik ve pnevmatik sistemler.Potansiyel hataları önceden ortadan kaldırmak için "önce önleme ve düzenli denetim" ilkesini izler.
Vakum sistemi, mekanik pompaları, moleküler pompaları ve difüzyon pompalarını içeren ekipmanların "kalbi" dir.Mekanik pompanın yağ seviyesi ve rengi her 200 saat veya 3 ayda bir kontrol edilmelidir.. Yağ emülsifikasyonu, koyulaşması veya viskozluğunun azalması durumunda, derhal değiştirilmelidir. Yağı değiştirirken, yağ boşaltılmalı, pompa odası temizlenmelidir,Yeni filtreli yağ enjekte edildiMoleküler pompa, 5.000 saatlik çalışma sonrasında özel yağlama yağı ile doldurulmalı ve rulmanların direnci kontrol edilmelidir.Eğer herhangi bir anormallik varsa, derhal değiştirilmelidir; difüzyon pompasının pompa yağı durumu her 6 ayda bir kontrol edilmelidir.Çalışma sırasında, kuru yanma ve hasarı önlemek için "önce su soğutucunu açmak, sonra ısıtmak, sonra ısıtmayı durdurmak ve daha sonra soğutmak" süreci sıkı bir şekilde takip edilmelidir.
Soğutma suyu sistemi akış, basınç ve su sıcaklığı için her gün kontrol edilmelidir.°CHer çeyrekte bir, ısı değiştiricisi ve filtre temizlenmeli ve ölçeklenmekten kaçınmak ve ısı dağılımını etkilemek için yumuşatılmış suyla değiştirilmelidir.Elektriksel ve pnevmatik sistemler, hedef malzemenin güç kaynağı ve yanılsama güç kaynağı ve ısı dağılımı bağlantılarının düzenli olarak kontrol edilmesi gerekir.Silindirler ve solenoid valfler sorunsuz çalışmayı ve hava sızıntısı olmamasını sağlamalıdır.Rehber raylar ve rulmanlar, hareketli parçaların esnekliğini ve istikrarını sağlamak için gerektiği gibi yüksek sıcaklıklı vakum yağıyla yağlanmalıdır..
IV. Hedef malzeme geri dönüşümü: Atıkları kaynağa dönüştürmek için yeşil üretim teknolojisi
(1) Geri dönüşümden önce ön işleme: Saflık çıkarma zorluğunu basitleştirmek
Kullanılmış hedef malzemelerin geri dönüşümünde ilk adım ön işleme geçirmektir.°CDaha sonra hedef yüzey lehim ve kirlilikler seyreltilmiş asit daldırma ve ultrasonik temizleme ile çıkarılır.Atık hedefi 100-200 göz tozuna parçalanır.Tarama ve manyetik ayrım yoluyla, geri dönüşümün saflığını etkilemekten kaçınmak için destek plakaları ve armatür kalıntıları gibi kirlilikler çıkarılır.
(2) Sınıflandırma Temizleme: Farklı hedef malzemelerin geri dönüşüm süreçleri
Metalik hedef malzemeler (bakır, alüminyum, titanyum, gümüş vb.) esas olarak vakum erime veya elektrolitik rafine ile işlenir: Vakum eriminden sonra kirlilikler çıkarılır.sahteBakır ve gümüş hedef malzemeler, elektrolit oluşturmak için asitle çözülebilir ve yüksek saflıklı metaller elektroliz yoluyla elde edilebilir.% 95'in üzerinde geri kazanım oranı ile.
Seramik hedef malzemeler (ITO, AZO, IGZO, vb.) öncelikle asit daldırma ve alkali çözünürlükle parçalanmalıdır.sonra ekstraksiyon ve iyon değişimi yoluyla nadir elementlerle ayrılmış ve zenginleştirilmiştir, ve nihayetinde çökme ve kalsinasyon yoluyla yüksek saflıkta oksit tozu olarak elde edilir ve hedef malzemelere dönüştürülür.
Değerli metal hedef malzemeleri (altın, platin, palladium vb.) son derece değerlidir.Neredeyse tam iyileşme sağlayabilir., üretim maliyetlerini önemli ölçüde düşürür.
(3) Geri Dönüştürme Yönetimi: Verimliliği Artırmak İçin Standartlaştırma
Şirketlerin bir hedef malzeme geri dönüşüm defteri oluşturması, kullanılan hedef malzemeleri sınıflandırması ve saklaması, tartması ve kaydetmesi gerekir.Kaynak israfı ve çevresel riskleri önlemek için geri dönüşüm için nitelikli profesyonel kurumlara güvenmekSıradan metal hedef malzemeler yeniden erime için içten olarak geri dönüştürülebilir.Nadir ve değerli hedef malzemeler, kaynak geri dönüşümü ve ekonomik faydalar elde etmek için profesyonel geri dönüşüm teknolojisine dayanırken.
V. Güvenlik ve Çevre Koruması: Temizlik, Bakım ve Geri Dönüştürme için Alt Çizgi Gereksinimleri
Vakum kaplama makinelerinin temizlik, bakım ve hedef malzeme geri dönüşüm süreçlerinde, güvenlik ve çevre koruması vazgeçilmezdir.Nitril eldiven ve gözlük takın.Isopropil alkol ve aseton gibi temizlik maddeleri yangın geçirmez ve patlama geçirmez olmalıdır. İş ortamı iyi havalandırılmalıdır.Atmosfere doğrudan yayılmasını önlemek için ilk olarak kuru nitrojen veya argon kullanılmalıdır.Atık hedef malzemeler ve temizlik atık sıvıları sınıflandırılmalı ve toplanmalıdır.ve uygun tedavi için profesyonel birimlere teslim edildiOnları rastgele atmak ya da atmak kesinlikle yasaktır.İşletmeciler, ekipmanın çalışma prosedürlerine sıkı sıkıya uymalı ve kazalara neden olabilecek herhangi bir güvensiz işlemden kaçınmalıdır..
VI. Sonuç
Fiziksel vakum kaplama makinesinin temizliği, bakımı ve hedef malzeme geri kazanımı, kaplama üretim sürecinin tamamında temel görevlerdir.Standart temizlik kaplama katmanının kalitesini sağlayabilir, bilimsel bakım ekipman ömrünü uzatabilir ve verimli hedef malzeme geri kazanımı maliyet azaltma ve verimliliği artırma sağlayabilir.Modern endüstrideki yüzey işleme gereksinimlerinin sürekli iyileştirilmesiyle, standartlaştırılmış ve rafine edilmiş bir ekipman yönetim sistemi oluşturmak, profesyonel temizlik, bakım ve geri kazanma teknolojilerini öğrenmek,vakum kaplama endüstrisinin yüksek kaliteli gelişimi için kaçınılmaz bir gereksinim haline geldi.
Gelecekte, çevre koruma politikaları daha sıkı hale geldiğinde ve kaynak kullanım verimliliği arttıkça,Vakum kaplama ekipmanlarının akıllı bakımı ve verimli hedef malzeme geri kazanma teknolojisi yükseltilmeye devam edecek, endüstrinin yeşil, verimli ve sürdürülebilir bir yönde istikrarlı bir şekilde ilerlemesini sağlıyor.
Mesajınız 20-3.000 karakter arasında olmalıdır!
