El cátodo rotatorio por pulverización catódica tiene muchas ventajas en comparación con el cátodo plano por pulverización catódica, como:
Mayor tasa de utilización del material del objetivo
Mayor potencia de pulverización aplicable y aumento de las tasas de pulverización
Estabilidad de funcionamiento con suministro de energía de CA (menos formación de arcos y envenenamiento)
Flexibilidad en los materiales del objetivo, incluyendo metales, óxidos metálicos y objetivos cerámicos
Por lo tanto, el cátodo rotatorio doble es la mejor opción para la línea de pulverización catódica magnetrón de vidrio Low-E para capas de óxido y semiconductoras.
Lion King puede diseñar y fabricar el cátodo rotatorio doble por pulverización catódica para nuestros clientes. Hay diez juegos de máquinas de recubrimiento Low-E que han sido equipadas con cátodos rotatorios de Goldstone durante los últimos 22 años.
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