Máquina de recubrimiento de vacío con pulverización por magnetrón en línea para deposición de película delgada en paneles de vidrio
La técnica de pulverización de magnetrones en vacío consiste en el uso de la superficie femenina de un electrodo bipolar con el campo magnético del electrón en la deriva de la superficie del cátodo,colocando el campo eléctrico de la superficie de destino perpendicular al campo magnético, el electrón aumenta el golpe, aumenta la tasa de ionización del gas, mientras que las partículas de alta energía gas y pierden energía después de la colisión y por lo tanto la temperatura del sustrato más baja,un revestimiento completo sobre un material no resistente a la temperaturaEl revestimiento de pulverización por magnetrón al vacío tiene las siguientes ventajas:
(1) El espesor del revestimiento puede ser controlado, de acuerdo con las necesidades de las personas de película de revestimiento, y el revestimiento puede ser repetido, pero también para romper el límite de la técnica anterior,para obtener un espesor de película uniforme en una superficie grande;
(2) Película obtenida por esta técnica con una fuerte adhesión;
(3) Esta técnica puede preparar un material de película especial, de acuerdo con sus necesidades mientras pulveriza película híbrida, película compuesta;
(4) película de alta pureza.
Proporcionamos opciones personalizadas para la máquina, como los diferentes sistemas de bombeo de vacío, sistema de distribución de gas, sistema de recubrimiento, etc.
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