Machine de revêtement sous vide par pulvérisation cathodique magnétron en ligne pour le dépôt de couches minces sur des panneaux de verre
La technique de pulvérisation cathodique magnétron sous vide utilise la surface de l'électrode femelle et bipolaire avec le champ magnétique de l'électron dans la dérive de la surface de la cathode, en réglant le champ électrique de la surface cible perpendiculaire au champ magnétique, l'électron augmente la course, augmente le taux d'ionisation du gaz, tandis que les particules de gaz à haute énergie et perdent de l'énergie après la collision et ainsi abaissent la température du substrat, complètent le revêtement sur un matériau non résistant à la température. Le revêtement par pulvérisation cathodique magnétron sous vide présente les avantages suivants :
(1) L'épaisseur du revêtement peut être contrôlée, en fonction des besoins des personnes en matière de filmage, et le revêtement peut être répété, mais aussi pour briser la limite de l'art antérieur, afin d'obtenir une épaisseur de film uniforme sur une grande surface ;
(2) Film obtenu par cette technique avec une forte adhérence ;
(3) Cette technique peut être préparée avec un matériau de film spécial, en fonction de leurs besoins tout en pulvérisant un film hybride, un film composite ;
(4) Film de haute pureté.
Nous proposons des options personnalisées pour la machine, telles que les différents systèmes de pompage sous vide, le système de distribution de gaz, le système de revêtement, etc.
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