Máy phủ chân không phun từ Inline Magnetron Dùng để lắng đọng màng mỏng trên tấm kính
Kỹ thuật phun từ magnetron chân không là việc sử dụng bề mặt điện cực âm, lưỡng cực với từ trường của electron trong sự trôi dạt bề mặt cathode, bằng cách thiết lập điện trường bề mặt mục tiêu vuông góc với từ trường, electron tăng hành trình, tăng tốc độ ion hóa của khí, trong khi các hạt năng lượng cao khí và mất năng lượng sau va chạm và do đó giảm nhiệt độ chất nền, hoàn thành lớp phủ trên vật liệu không chịu nhiệt độ. Lớp phủ phun từ magnetron chân không có những ưu điểm sau:
(1) Độ dày của lớp phủ có thể được kiểm soát, theo nhu cầu của mọi người mạ màng, và lớp phủ có thể được lặp lại, mà còn để phá vỡ giới hạn của kỹ thuật trước đó, để có được độ dày màng đồng đều trên một bề mặt lớn;
(2) Màng thu được bằng kỹ thuật này có độ bám dính mạnh;
(3) Kỹ thuật này có thể được chuẩn bị một vật liệu màng đặc biệt, theo nhu cầu của họ trong khi phun màng lai, màng hợp chất;
(4) màng có độ tinh khiết cao.
Chúng tôi cung cấp các tùy chọn tùy chỉnh cho máy, chẳng hạn như các hệ thống bơm chân không khác nhau, hệ thống phân phối khí, hệ thống phủ, v.v.
Liên hệ với chúng tôi bất cứ lúc nào