La cathode de pulvérisation rotative présente de nombreux avantages par rapport à la cathode de pulvérisation planaire, tels que :
Un taux d'utilisation plus élevé du matériau cible
Une puissance de pulvérisation plus élevée et une augmentation des taux de pulvérisation
Stabilité de fonctionnement en alimentation CA (moins d'arcs et d'empoisonnement)
Flexibilité des matériaux cibles, y compris les métaux, les oxydes métalliques et les cibles céramiques
Par conséquent, la double cathode rotative est le meilleur choix pour la ligne de pulvérisation magnétron de verre Low-E pour les couches d'oxyde et semi-conductrices.
Lion King peut concevoir et fabriquer la double cathode de pulvérisation rotative pour nos clients. Dix ensembles de machines de revêtement Low-E ont été équipés de cathodes rotatives Goldstone au cours des 22 dernières années.
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