A cátode rotativa por pulverização catódica apresenta muitas vantagens em comparação com a cátode planar por pulverização catódica, como:
Maior taxa de utilização do material do alvo
Maior potência de pulverização aplicável e aumento das taxas de pulverização
Estabilidade de funcionamento em fonte de alimentação CA (menos arco e envenenamento)
Flexibilidade em materiais alvo, incluindo metais, óxidos metálicos e alvos cerâmicos
Portanto, a cátode rotativa dupla é a melhor opção para a linha de pulverização catódica magnetrônica de vidro Low-E para camadas de óxido e semicondutoras.
Lion King pode projetar e fabricar a cátode rotativa dupla por pulverização catódica para nossos clientes. Existem dez conjuntos de máquinas de revestimento Low-E equipadas com cátodos rotativos Goldstone nos últimos 22 anos.
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