Роторный катод распыления имеет много преимуществ по сравнению с плоским катодом распыления, таких как:
Более высокий коэффициент использования материала мишени
Более высокая применимость мощности распыления и увеличение скорости распыления
Стабильная работа при питании переменным током (меньше дугообразования и отравления)
Гибкость в отношении материалов мишени, включая металлы, оксиды металлов и керамические мишени
Поэтому двойной роторный катод является лучшим выбором для линии магнетронного распыления Low-E стекла для оксидных и полупроводниковых слоев.
Lion King может проектировать и производить двойной роторный катод распыления для наших клиентов. За последние 22 года десять комплектов установок для нанесения покрытий Low-E были оснащены вращающимися катодами Goldstone.
СОТРАНИВАЙСЯ С НАМИ в любое время