回転スパッタカソードは、平面スパッタカソードと比較して多くの利点があります。例えば:
ターゲット材料の高い利用率
より高いスパッタ電力の適用とスパッタ率の向上
交流電源での安定した動作(アーク放電と毒性の低減)
金属、金属酸化物、セラミックターゲットを含むターゲット材料の柔軟性
したがって、デュアル回転カソードは、酸化物および半導体層用のLow-Eガラスマグネトロンスパッタリングラインに最適な選択肢です。
Lion Kingは、お客様のためにデュアル回転スパッタカソードを設計および製造できます。過去22年間で、Goldstoneの回転可能なカソードを搭載したLow-Eコーティングマシンが10セットあります。
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