Il catodo rotante a sputtering presenta numerosi vantaggi rispetto al catodo a sputtering planare, come ad esempio:
Maggiore tasso di utilizzo del materiale target
Maggiore potenza di sputtering applicabile e aumento dei tassi di sputtering
Stabilità di funzionamento con alimentazione CA (minore formazione di archi e avvelenamento)
Flessibilità nei materiali target, inclusi metalli, ossidi metallici e target ceramici
Pertanto, il catodo rotante doppio è la scelta migliore per la linea di sputtering magnetron Low-E per strati di ossido e semiconduttori.
Lion King può progettare e produrre il catodo rotante doppio a sputtering per i nostri clienti. Negli ultimi 22 anni, dieci set di macchine per il rivestimento Low-E sono state equipaggiate con catodi rotanti Goldstone.
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