회전 스프터 카토드는 평면 스프터 카토드와 비교하여 다음과 같은 많은 장점을 가지고 있습니다.
대상 재료의 사용률이 높습니다.
적용 가능한 더 높은 스프터 파워와 스프터 속도의 증가
AC 전원 공급 장치에서 작동 안정성 (아주 활과 중독)
금속, 금속 산화물 및 세라믹 타겟을 포함한 대상 재료의 유연성
따라서 이중 회전 카토드는 산화물과 반도체 층에 대한 로우-E 유리 마그네트론 스프터링 라인의 가장 좋은 선택입니다.
라이온 킹은 우리의 고객을 위해 이중 회전 스프터 카토드를 설계하고 제조할 수 있습니다.10 세트의 로우-E 코팅 기계가 지난 22 년 동안 골드스톤의 회전 카토드로 장착되었습니다
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