Katodę sputtera obracającego posiada wiele zalet w porównaniu z katodą sputtera płaskiego, takich jak:
Wyższy wskaźnik wykorzystania materiału docelowego
Większa stosowana moc rozpylania i zwiększenie częstotliwości rozpylania
Stabilność pracy w zasilaniu prądem przemiennym (mniej łuku i zatrucia)
Elastyczność w materiałach docelowych, w tym metale, tlenki metalu i cele ceramiczne
W związku z tym podwójna katoda obrotowa jest najlepszym wyborem linii magnetronowej szklankowej o niskiej E dla warstw tlenowych i półprzewodzących.
Lion King może zaprojektować i wyprodukować podwójną rotującą katodę dla naszych klientów.Jest dziesięć zestawów Low-E powłoki maszyny zostały wyposażone w Goldstone's katod obrotowych przez ostatnie 22 lata
Skontaktuj się z nami w każdej chwili