Multi-Bogen-Ionenbeschichtung ist eine PVD-Technik, bei der Hochstrombögen (100-500 A) verwendet werden, um metallische oder keramische Ziele in einer Vakuumkammer zu verdampfen (Druck < 10−2 Torr).Der ionisierte Dampf wird durch eine Verzerrungsspannung zum Substrat beschleunigtDiese Methode eignet sich hervorragend für die Ablagerung von Nitrid-, Karbid- und Oxidfolien für industrielle und dekorative Anwendungen.
Unsere Systeme verfügen über verstellbare Lichtbogenquellen, plasmaverstärkte Ablagerungsmodule und automatisierte Prozesssteuerung für eine maßgeschneiderte Beschichtung.
| Ausstattung Modell |
Lion-700-ION | Einheitliche Datenbank | Einheit für die Erfassung von Daten | Einheit für die Berechnung der Zulassung | Einheit für die Berechnung der Zulassung | Einheit für die Bereitstellung von | Einheit für die Berechnung der Zulassung |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Größe der Kammer ((MM) | D700*H700 | D1000*H1200 | D1300*H1500 | D1600*H1800 | D1800*H2000 | D2000*H2400 | D2200*H4000 |
| Vakuumsystem | Diffusionspumpe/Molekülpumpe + Wurzelpumpe + Doppelstufen-Direktantrieb Rotationspumpe + Haltepumpe + Kryogene Pumpe (optional) | ||||||
| Bogen Stromversorgung |
4 Sätze | 8 Sätze | 12 Sätze | 16 Sätze | 20 Sätze | 24 Sätze | 40 Stück |
| Lichtbogenquelle | 4 Sätze | 8 Sätze | 12 Sätze | 16 Sätze | 20 Sätze | 24 Sätze | 40 Stück |
| Verzerrung Stromversorgung |
12 kW | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 kW | 60 kW | 80 kW |
| Gas MFC-System |
4-Wege-Aufnahmesystem | 4-Wege-Aufnahmesystem | 4-Wege-Aufnahmesystem | 4-Wege-Aufnahmesystem | 4-Wege-Aufnahmesystem | 4-Wege-Aufnahmesystem | 4-Wege-Aufnahmesystem |
| Backsystem | Bis zu 350 °C | Bis zu 350 °C | Bis zu 350 °C | Bis zu 350 °C | Bis zu 350 °C | Bis zu 350 °C | Bis zu 350 °C |
| Steuerungssystem | PLC | ||||||
| Endgültiges Vakuum | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa |
| Gesamtleistung | 50 kW | 75 kW | 145 kW | 190 kW | 250 kW | 305 kW | 455 kW |
| Beschichtung Zykluszeit |
Ungefähr 15 bis 50 Minuten pro Zyklus (abhängig von der Beschichtungsschicht verschiedener Beschichtungserzeugnisse) | ||||||
| Größe des Liefercontainers | 1 Satz 20GP | 1 Satz 20GP | 1 Satz 20GP | 1 Satz 40HQ | 1 Satz 40HQ | 1 Satz 20FR 1 Satz 40GP |
1 Satz 20FR 2 Sätze 40HQ |
| Zeit für die Maschineneinrichtung | 7 Tage (1 Ingenieur) |
7 Tage (1 Ingenieur) |
7 Tage (1 Ingenieur) |
10 Tage (2 Ingenieure) |
10 Tage (2 Ingenieure) |
15 Tage (2 Ingenieure) |
20 Tage (2 Ingenieure) |
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