Bọc ion đa cung là một kỹ thuật PVD sử dụng các cung điện cao (100 ¢ 500 A) để làm bay hơi các mục tiêu kim loại hoặc gốm trong buồng chân không (áp suất < 10−2 Torr).Khí ion hóa được tăng tốc về phía chất nền bởi một điện áp thiên vịPhương pháp này xuất sắc trong việc lắng đọng phim nitrid, carbide và oxit cho các ứng dụng công nghiệp và trang trí.
Hệ thống của chúng tôi có các nguồn cung quang có thể điều chỉnh, các mô-đun lắng đọng plasma tăng cường và kiểm soát quy trình tự động cho hiệu suất lớp phủ phù hợp.
| cấu hình Mô hình |
Lion-700-ION | Lion-1000-ION | Lion-1300-ION | Lion-1600-ION | Lion-1800-ION | Lion-2000-ION | Lion-2200-ION |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Kích thước buồng ((MM) | D700*H700 | D1000*H1200 | D1300*H1500 | D1600*H1800 | D1800*H2000 | D2000*H2400 | D2200*H4000 |
| Hệ thống chân không | Máy bơm khuếch tán / Máy bơm phân tử + Máy bơm gốc + Máy bơm xoay trực tiếp hai giai đoạn + Máy bơm giữ + Bơm lạnh (không cần thiết) | ||||||
| Arc nguồn cung cấp điện |
4 bộ | 8 bộ | 12 bộ | 16 bộ | 20 bộ | 24 bộ | 40 bộ |
| Nguồn cung | 4 bộ | 8 bộ | 12 bộ | 16 bộ | 20 bộ | 24 bộ | 40 bộ |
| Biến hướng nguồn cung cấp điện |
12KW | 20KW | 30KW | 40KW | 60KW | 60KW | 80KW |
| Khí Hệ thống MFC |
Hệ thống hút 4 chiều | Hệ thống hút 4 chiều | Hệ thống hút 4 chiều | Hệ thống hút 4 chiều | Hệ thống hút 4 chiều | Hệ thống hút 4 chiều | Hệ thống hút 4 chiều |
| Hệ thống nướng | Tối đa 350C | Tối đa 350C | Tối đa 350C | Tối đa 350C | Tối đa 350C | Tối đa 350C | Tối đa 350C |
| Hệ thống điều khiển | PLC | ||||||
| Tấm chân không tối đa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa |
| Tổng công suất | 50KW | 75KW | 145KW | 190KW | 250KW | 305KW | 455KW |
| Lớp phủ Thời gian chu kỳ |
Khoảng 15 đến 50 phút một chu kỳ (tùy thuộc vào lớp phim sơn của các sản phẩm sơn khác nhau) | ||||||
| Kích thước container giao hàng | 1 bộ 20GP | 1 bộ 20GP | 1 bộ 20GP | 1 bộ 40HQ | 1 bộ 40HQ | 1set 20FR 1 bộ 40GP |
1set 20FR 2 bộ 40HQ |
| Thời gian lắp đặt máy | 7 ngày (1 kỹ sư) |
7 ngày (1 kỹ sư) |
7 ngày (1 kỹ sư) |
10 ngày (2 kỹ sư) |
10 ngày (2 kỹ sư) |
15 ngày (2 kỹ sư) |
20 ngày (2 kỹ sư) |
Liên hệ với chúng tôi bất cứ lúc nào