Η επιμετάλλωση ιόντων πολλαπλών τόξων είναι μια τεχνική PVD που χρησιμοποιεί τόξα υψηλού ρεύματος (100–500 A) για την εξάχνωση μεταλλικών ή κεραμικών στόχων σε θάλαμο κενού (πίεση < 10⁻² Torr). Ο ιονισμένος ατμός επιταχύνεται προς το υπόστρωμα με τάση πόλωσης, σχηματίζοντας πυκνές, εξαιρετικά σκληρές επιστρώσεις με ανώτερη πρόσφυση. Αυτή η μέθοδος υπερέχει στην εναπόθεση νιτριδίων, καρβιδίων και οξειδίων για βιομηχανικές και διακοσμητικές εφαρμογές.Αρχή Λειτουργίας
Lion-700-ION
| Lion-1000-ION Lion-1300-ION |
Lion-1600-ION | Lion-1800-ION | Lion-2000-ION | Lion-2200-ION | Μέγεθος θαλάμου (MM) | D700*H700 | D1000*H1200 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| D1300*H1500 | D1600*H1800 | D1800*H2000 | D2000*H2400 | D2200*H4000 | Σύστημα κενού | Αντλία διάχυσης/Μοριακή αντλία + Αντλία Roots + Διπλού σταδίου απευθείας οδηγούμενη περιστροφική αντλία + Αντλία συγκράτησης + Κρυογονική αντλία (προαιρετικό) | Τροφοδοτικό τόξου |
| 4 σετ | 8 σετ | ||||||
| 12 σετ 60KW |
20 σετ | 24 σετ | 40 σετ | Τροφοδοτικό πόλωσης | 12KW | 20KW | 30KW |
| 16 σετ | 20 σετ | 24 σετ | 40 σετ | Τροφοδοτικό πόλωσης | 12KW | 20KW | 30KW |
| 40KW 60KW |
60KW | 80KW | Σύστημα MFC αερίου | Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων | Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων | Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων | Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων |
| Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων |
Έως 350°C | Έως 350°C | Έως 350°C | Έως 350°C | Έως 350°C | Έως 350°C | Έως 350°C |
| Έως 350°C | 5.0*10⁻⁴pa | 5.0*10⁻⁴pa | 5.0*10⁻⁴pa | 5.0*10⁻⁴pa | 5.0*10⁻⁴pa | 5.0*10⁻⁴pa | 5.0*10⁻⁴pa |
| 5.0*10⁻⁴pa | 5.0*10⁻⁴pa | ||||||
| 5.0*10⁻⁴pa | 250KW | 250KW | 250KW | 250KW | 250KW | 250KW | 250KW |
| 305KW | 455KW | Χρόνος κύκλου επίστρωσης | Περίπου 15 έως 50 λεπτά ανά κύκλο (Ανάλογα με το στρώμα της μεμβράνης επίστρωσης διαφορετικών προϊόντων επίστρωσης) | Μέγεθος δοχείου παράδοσης | 1 σετ 20GP | 1 σετ 20GP | 1 σετ 20GP |
| 1 σετ 40HQ 1 σετ 40HQ |
1 σετ 20FR | ||||||
| 1 σετ 40GP | Χρόνος εγκατάστασης μηχανής | Χρόνος εγκατάστασης μηχανής | Χρόνος εγκατάστασης μηχανής | (1 μηχανικός) | (1 μηχανικός) | 7 ημέρες (1 μηχανικός) |
7 ημέρες (1 μηχανικός) |
| 10 ημέρες | (2 μηχανικοί) 20 ημέρες |
(2 μηχανικοί) 20 ημέρες |
(2 μηχανικοί) 20 ημέρες |
Λεπτομέρειες συσκευασίας Μεμονωμένο αντικείμενο |
Λεπτομέρειες συσκευασίας Μεμονωμένο αντικείμενο |
Λιμάνι αποστολής Μεμονωμένο αντικείμενο |
Μονάδες πώλησης Μεμονωμένο αντικείμενο |
ΕΠΙΚΟΙΝΩΝΗΣΤΕ ΜΑΖΙ ΜΑΣ ΟΠΟΙΑΔΗΠΟΤΕ ΣΤΙΓΜΗ