Многодуговое ионное покрытие — это метод PVD, который использует дуги высокого тока (100–500 А) для испарения металлических или керамических мишеней в вакуумной камере (давление < 10⁻² Торр). Ионизированный пар ускоряется к подложке под действием смещающего напряжения, образуя плотные, сверхтвердые покрытия с превосходной адгезией. Этот метод отлично подходит для нанесения нитридных, карбидных и оксидных пленок для промышленных и декоративных применений.Принцип работы
Модель
| Lion-700-ION Lion-1000-ION |
Lion-1300-ION | Lion-1600-ION | Lion-1800-ION | Lion-2000-ION | Lion-2200-ION | Размер камеры (мм) | D700*H700 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| D1000*H1200 | D1300*H1500 | D1600*H1800 | D1800*H2000 | D2000*H2400 | D2200*H4000 | Вакуумная система | Диффузионный насос/Молекулярный насос + Рутс-насос + Двухступенчатый прямой роторный насос + Удерживающий насос + Криогенный насос (опционально) |
| Дуга | блок питания | ||||||
| 4 комплекта 20 кВт |
12 комплектов | 16 комплектов | 20 комплектов | 24 комплекта | 40 комплектов | Смещение | блок питания |
| 8 комплектов | 12 комплектов | 16 комплектов | 20 комплектов | 24 комплекта | 40 комплектов | Смещение | блок питания |
| 12 кВт 20 кВт |
30 кВт | 40 кВт | 60 кВт | 60 кВт | Газ | Газ | система MFC |
| 4-канальная система впуска 4-канальная система впуска |
До 350°C | До 350°C | До 350°C | До 350°C | До 350°C | До 350°C | До 350°C |
| До 350°C | ПЛК | ПЛК | ПЛК | ПЛК | ПЛК | ПЛК | ПЛК |
| Предельный вакуум | 5.0*10⁻⁴ Па | ||||||
| 5.0*10⁻⁴ Па | 50 кВт | 50 кВт | 50 кВт | 50 кВт | 50 кВт | 50 кВт | 50 кВт |
| 75 кВт | 145 кВт | 190 кВт | 250 кВт | 305 кВт | 455 кВт | Покрытие | Время цикла |
| Примерно от 15 до 50 минут на цикл (в зависимости от слоя покрытия различных продуктов) Размер контейнера для доставки |
1 комплект 20GP | ||||||
| 1 комплект 20GP | 1 комплект 40HQ | 1 комплект 40HQ | 1 комплект 40HQ | 1 комплект 40GP | 1 комплект 40GP | Время установки машины 2 комплекта 40HQ |
Время установки машины 7 дней |
| (1 инженер) | 10 дней (2 инженера) |
10 дней (2 инженера) |
10 дней (2 инженера) |
15 дней Детали упаковки |
15 дней Детали упаковки |
20 дней Детали упаковки |
Упаковка и доставка Детали упаковки |
СОТРАНИВАЙСЯ С НАМИ в любое время