Le revêtement ionique multi-arc est une technique de PVD qui utilise des arcs à courant élevé (100 500 A) pour vaporiser des cibles métalliques ou céramiques dans une chambre à vide (pression < 10−2 Torr).La vapeur ionisée est accélérée vers le substrat par une tension de biaisCette méthode excelle dans le dépôt de films de nitrure, de carbure et d'oxyde pour des applications industrielles et décoratives.
Nos systèmes disposent de sources d'arc réglables, de modules de dépôt améliorés par plasma et de contrôle automatisé du processus pour des performances de revêtement sur mesure.
| configuration Modèle |
Le Lion-700-ION | Le lion-1000-ION | Le Lion-1300-ION | Le lion-1600-ION | Le lion-1800-ION | Le lion-2000-ION | Le Lion-2200-ION |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Taille de la chambre (mm) | D700*H700 | D1000*H1200 | D1300*H1500 | D1600*H1800 | D1800*H2000 | D2000*H2400 | D2200*H4000 |
| Système sous vide | Pompes à diffusion/pompes moléculaires + pompe à racines + pompe rotative à double conducteur direct + pompe de maintien + pompe cryogénique (facultatif) | ||||||
| Arcs alimentation électrique |
4 séries | 8 séries | 12 séries | 16 séries | 20 ensembles | 24 séries | 40 séries |
| Source d'arc | 4 séries | 8 séries | 12 séries | 16 séries | 20 ensembles | 24 séries | 40 séries |
| Les préjugés alimentation électrique |
12 kW | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 kW | 60 kW | 80 kW |
| Le gaz Système MFC |
Système d'admission à quatre voies | Système d'admission à quatre voies | Système d'admission à quatre voies | Système d'admission à quatre voies | Système d'admission à quatre voies | Système d'admission à quatre voies | Système d'admission à quatre voies |
| Système de cuisson | Jusqu'à 350 °C | Jusqu'à 350 °C | Jusqu'à 350 °C | Jusqu'à 350 °C | Jusqu'à 350 °C | Jusqu'à 350 °C | Jusqu'à 350 °C |
| Système de commande | PLC | ||||||
| Le vide ultime | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa |
| Puissance totale | 50 kW | 75 kW | 145 kW | 190 kW | 250 kW | 305 kW | 455 kW |
| Le revêtement Temps de cycle |
Environ 15 à 50 minutes par cycle (en fonction de la couche de film de revêtement des différents produits de revêtement) | ||||||
| Taille du conteneur de livraison | 1 ensemble 20GP | 1 ensemble 20GP | 1 ensemble 20GP | 1 jeu 40HQ | 1 jeu 40HQ | 1 série 20FR 1 ensemble de 40GP |
1 série 20FR 2 ensembles de 40 HQ |
| Temps d'installation de la machine | 7 jours (1 ingénieur) |
7 jours (1 ingénieur) |
7 jours (1 ingénieur) |
10 jours (2 ingénieurs) |
10 jours (2 ingénieurs) |
15 jours (2 ingénieurs) |
20 jours (2 ingénieurs) |
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