Çoklu yaylı iyon kaplama, bir vakum odasında (basınç < 10−2 Torr) metal veya seramik hedefleri buharlaştırmak için yüksek akımlı yaylar (100 500 A) kullanan bir PVD tekniğidir.İyonlaşmış buhar, bir önyargı voltajı ile substratın içine doğru hızlandırılır.Bu yöntem, endüstriyel ve dekoratif uygulamalar için nitrit, karbid ve oksit filmlerinin biriktirilmesinde mükemmeldir.
Sistemlerimiz ayarlanabilir yay kaynaklarına, plazma geliştirilmiş deppozisyon modüllerine ve özel kaplama performansı için otomatik süreç kontrolüne sahiptir.
| yapılandırma Model |
Lion-700-ION | Lion-1000-ION | Lion-1300-ION | Lion-1600-ION | Lion-1800-ION | Lion-2000-ION | Lion-2200-ION |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Oda boyutu ((MM) | D700*H700 | D1000*H1200 | D1300*H1500 | D1600*H1800 | D1800*H2000 | D2000*H2400 | D2200*H4000 |
| Vakum sistemi | Difüzyon pompası/Moleküler pompa + Kök pompası + Çift aşamalı doğrudan sürücü Döner pompa + Tutma pompası + Kriyojenik pompa ((özlü) | ||||||
| Ark Güç kaynağı |
4 set | 8 set | 12 set | 16 set | 20 set | 24 set | 40 set |
| Yay kaynağı | 4 set | 8 set | 12 set | 16 set | 20 set | 24 set | 40 set |
| Önyargı Güç kaynağı |
12KW | 20KW | 30KW | 40KW | 60KW | 60KW | 80KW |
| Gaz MFC sistemi |
Dört yönlü alım sistemi | Dört yönlü alım sistemi | Dört yönlü alım sistemi | Dört yönlü alım sistemi | Dört yönlü alım sistemi | Dört yönlü alım sistemi | Dört yönlü alım sistemi |
| Fırınlama sistemi | 350C'ye kadar | 350C'ye kadar | 350C'ye kadar | 350C'ye kadar | 350C'ye kadar | 350C'ye kadar | 350C'ye kadar |
| Kontrol sistemi | PLC | ||||||
| Son vakum | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa |
| Toplam güç | 50KW | 75KW | 145KW | 190KW | 250KW | 305KW | 455KW |
| Kaplama Döngü süresi |
Yaklaşık 15 ila 50 dakika bir döngü (farklı kaplama ürünlerinin kaplama filmi katmanına bağlı olarak) | ||||||
| Teslimat konteynerinin boyutu | 1 set 20GP | 1 set 20GP | 1 set 20GP | 1 set 40HQ | 1 set 40HQ | 1set 20FR 1 set 40GP |
1set 20FR 2 set 40HQ |
| Makine kurulum zamanı | 7 gün (1 mühendis) |
7 gün (1 mühendis) |
7 gün (1 mühendis) |
10 gün (2 mühendis) |
10 gün (2 mühendis) |
15 gün (2 mühendis) |
20 gün (2 mühendis) |
Herhangi bir zamanda bizimle iletişime geçin