マルチアークイオンプレーティングは、高電流アーク(100〜500A)を使用して真空チャンバー(圧力 < 10⁻² Torr)内で金属またはセラミックターゲットを蒸発させるPVD技術です。イオン化された蒸気はバイアス電圧によって基板に加速され、優れた密着性を持つ高密度で超硬質のコーティングを形成します。この方法は、窒化物、炭化物、酸化物膜の成膜に優れており、産業用および装飾用用途に適しています。動作原理
Lion-700-ION
| Lion-1000-ION Lion-1300-ION |
Lion-1600-ION | Lion-1800-ION | Lion-2000-ION | Lion-2200-ION | チャンバーサイズ(MM) | D700*H700 | D1000*H1200 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| D1300*H1500 | D1600*H1800 | D1800*H2000 | D2000*H2400 | D2200*H4000 | 真空システム | 拡散ポンプ/分子ポンプ + ルーツポンプ + 二段直結ロータリーポンプ + ホールドポンプ + クライオポンプ(オプション) | アーク |
| 電源 | 4セット | ||||||
| 8セット 30KW |
16セット | 20セット | 24セット | 40セット | バイアス | 電源 | 12KW |
| 12セット | 16セット | 20セット | 24セット | 40セット | バイアス | 電源 | 12KW |
| 20KW 30KW |
40KW | 60KW | 60KW | 80KW | MFCシステム | MFCシステム | 4系統吸気システム |
| 4系統吸気システム 4系統吸気システム |
最大350℃ | 最大350℃ | 最大350℃ | 最大350℃ | 最大350℃ | 最大350℃ | 最大350℃ |
| 最大350℃ | 到達真空度 | 到達真空度 | 到達真空度 | 到達真空度 | 到達真空度 | 到達真空度 | 到達真空度 |
| 5.0*10⁻⁴pa | 5.0*10⁻⁴pa | ||||||
| 5.0*10⁻⁴pa | 75KW | 75KW | 75KW | 75KW | 75KW | 75KW | 75KW |
| 145KW | 190KW | 250KW | 305KW | 455KW | コーティング | サイクルタイム | 約15〜50分/サイクル(コーティング製品の異なるコーティング膜層による) |
| 配送コンテナサイズ 1セット 20GP |
1セット 20GP | ||||||
| 1セット 20GP | 1セット 20FR | 1セット 20FR | 1セット 20FR | 1セット 20FR | 1セット 20FR | 7日 機械設置時間 |
7日 (エンジニア1名) |
| 7日 | (エンジニア2名) 10日 |
(エンジニア2名) 10日 |
(エンジニア2名) 10日 |
(エンジニア2名) プラスチックフィルムカバー、木箱、PVD真空用ステンレス鋼シート真空コーティング機のハイキューブ輸出標準梱包コンテナ。 |
(エンジニア2名) プラスチックフィルムカバー、木箱、PVD真空用ステンレス鋼シート真空コーティング機のハイキューブ輸出標準梱包コンテナ。 |
(エンジニア2名) プラスチックフィルムカバー、木箱、PVD真空用ステンレス鋼シート真空コーティング機のハイキューブ輸出標準梱包コンテナ。 |
梱包詳細 プラスチックフィルムカバー、木箱、PVD真空用ステンレス鋼シート真空コーティング機のハイキューブ輸出標準梱包コンテナ。 |