小型工具用硬質コーティング装置 PVDコーティングマシン

1. 小型工具専用硬質被膜装置の主な特徴

• 1.1 コンパクトなキャビティ設計、精密マイクロツールのクランプに適しています
• 1.2 微細なコーティングプロセス、ツールの厳格な性能要件を満たします
• 1.3 効率的な真空システム、コーティングの純度と密度を保証します
• 1.4 便利な操作とメンテナンス、小規模バッチ生産シナリオに適しています
• 1.5 強力なコーティング密着性、ツールの切削条件に適しています

II. 小型工具用特殊硬質被膜堆積装置の主な応用分野

小型工具用特殊硬質被膜堆積装置の応用シナリオは、高精度と高耐摩耗性を必要とする加工分野に焦点を当てています。主な応用方向は以下のとおりです。

• 1. 電子情報産業：PCBマイクロドリルおよびミーリングツールのコーティング

  PCB（プリント基板）業界のコア機器であり、0.1〜0.5 mmの超微細PCBマイクロドリルおよびスロットミーリングツールのTiN、TiCN、TiAlNコーティング堆積に使用されます。コーティングされたマイクロドリルの寿命は3〜5倍に増加し、PCB基板加工における「ドリル破損とナイフの固着」の問題を解決し、高密度回路基板の加工要件を満たします。

  半導体パッケージングツール（ソーイングツール、切削ツールなど）のコーティングにも使用でき、シリコンウェーハやセラミック基板におけるツールの切削性能を向上させます。

• 2. 精密加工産業：数値制御マイクロツールのコーティング

  金型加工や精密部品加工に使用されるマイクロ旋削工具、ボールエンドミーリング工具、彫刻工具（直径1〜10 mm）に対してコーティングを行います。コーティングの種類は主にTiAlNとAlCrNであり、焼入れ鋼（HRC55以上）、ステンレス鋼、チタン合金の加工時に切削速度を20％〜40％向上させ、寿命を2〜3倍に延ばすことができます。

  医療機器や航空宇宙分野のマイクロ加工ツール、例えば骨インプラント加工用のマイクロミーリングツールや航空機エンジンブレード用の研磨ツールに適しています。

• 3. 歯科医療産業：歯科用ツールのコーティング

  歯科用高速ドリルニードル、根管ファイルなどのコーティングに使用されます。コーティング材料は主にTiN（金色）とDLC（ダイヤモンドライクカーボン）です。TiNコーティングされたドリルニードルは耐摩耗性に優れ、色が目立つため、医師が観察しやすくなっています。DLCコーティングされたものは自己潤滑性があり、歯科手術中の歯組織への損傷を軽減します。

  コーティングされた歯科用ツールは、高温高圧滅菌（134℃、0.2 MPa）に耐えることができ、コーティングが剥がれにくく、医療機器の衛生基準を満たしています。

• 4. 木工および彫刻産業：精密彫刻ツールのコーティング

  木工彫刻ツール、アクリル切削ツール、翡翠彫刻ツールなどの小型ツールに対して、TiNまたはCrNコーティングを堆積させ、木材、アクリル、翡翠に対するツールの切削効率を向上させ、ツールのエッジの摩耗や鈍化を防ぎ、ツールの寿命を延ばします。

• 5. 研究および実験分野：プロセス研究および試験

  大学や研究機関の研究室では、多成分合金コーティングやナノ構造コーティングなど、新しいコーティング材料の研究に小型装置がよく使用されます。小規模なコーティング堆積試験を通じて、コーティング性能がテストされ、その後、プロモーションのためにスケールアップされます。