| Παράμετρος | Εύρος | Περιγραφή |
|---|---|---|
| Πλάτος Υποστρώματος | 300-2000mm | Προσαρμόσιμο πλάτος σύμφωνα με τις απαιτήσεις |
| Πάχος Υποστρώματος | 10μm-500μm | Προσαρμόσιμο σε διαφορετικά πάχη εύκαμπτων υποστρωμάτων |
| Υλικό Επίστρωσης | Μέταλλα, κράματα, οξείδια | Απαιτείται αντιστοίχιση αντίστοιχων υλικών στόχων |
| Πάχος Επίστρωσης | 5nm-5μm | Ρυθμιζόμενο μέσω ισχύος sputtering και ταχύτητας |
| Βαθμός Κενού | 1×10⁻³ - 5×10⁻⁵ Pa | Διασφαλίζει την ποιότητα sputtering και την καθαρότητα της επίστρωσης |
| Ταχύτητα Παραγωγής | 0,5-5 m/min | Ρυθμίζεται με βάση το πάχος της επίστρωσης και τα χαρακτηριστικά του υποστρώματος |
ΕΠΙΚΟΙΝΩΝΗΣΤΕ ΜΑΖΙ ΜΑΣ ΟΠΟΙΑΔΗΠΟΤΕ ΣΤΙΓΜΗ