Các Lỗi Thường Gặp Của Máy Phủ Chân Không Và Chiến Lược Bảo Trì

Công nghệ lớp phủ chân không, như một công nghệ cốt lõi trong lĩnh vực sản xuất chính xác, được áp dụng rộng rãi trong điện tử, quang học, ô tô, hàng không vũ trụ và các ngành công nghiệp khác.các chất không kim loại và các vật liệu khác trên bề mặt của chất nền trong môi trường chân không, hình thành các tấm có khả năng chống mòn, ngăn ngừa ăn mòn và tính chất quang học. Máy phủ chân không là thiết bị chính để thực hiện quy trình này,với cấu trúc phức tạp và yêu cầu độ chính xác caoChúng bao gồm nhiều mô-đun cốt lõi như hệ thống chân không, hệ thống lớp phủ, hệ thống điều khiển điện và hệ thống phụ trợ.bị ảnh hưởng bởi các yếu tố như môi trường, hoạt động và hao mòn, thiết bị dễ bị thất bại khác nhau, không chỉ ảnh hưởng đến chất lượng lớp phủ và hiệu quả sản xuất mà còn có thể rút ngắn tuổi thọ của thiết bị. in-depth analysis of the common faults of vacuum coating machines and the formulation of scientific and standardized maintenance strategies are of great significance for ensuring stable production and reducing operation and maintenance costs.

Bài viết này, dựa trên nguyên tắc hoạt động và các kịch bản ứng dụng thực tế của máy sơn chân không, phân tích có hệ thống các biểu hiện, nguyên nhân và giải pháp của các lỗi phổ biến khác nhau,và tóm tắt các điểm bảo trì toàn diệnNó cung cấp tài liệu tham khảo cho các nhà khai thác và nhân viên bảo trì có liên quan, giúp tăng cường sự ổn định hoạt động thiết bị và hiệu quả sản xuất.

Lý thuyết làm việc cốt lõi của máy sơn chân không là giảm áp suất bên trong buồng chân không kín đến mức chân không cần thiết thông qua nhóm bơm chân không.sử dụng các phương pháp như bốc hơi, phun và lớp phủ ion, vật liệu lớp phủ được chuyển đổi thành trạng thái khí hoặc plasma, cho phép nó được lắng đọng đồng đều trên bề mặt chất nền và tạo thành một bộ phim dày đặc.Hoạt động bình thường của thiết bị phụ thuộc vào hiệu suất niêm phong của hệ thống chân không, sự ổn định của hệ thống lớp phủ, độ chính xác của hệ thống điều khiển điện và sự phối hợp của các hệ thống phụ trợ.Bất kỳ sự bất thường nào trong bất kỳ mô-đun nào sẽ dẫn đến sự cố thiết bị hoặc chất lượng lớp phủ kém tiêu chuẩn.

Các lỗi của máy sơn chân không chủ yếu xảy ra trong bốn mô-đun chính: hệ thống chân không, hệ thống sơn, hệ thống điều khiển điện và hệ thống phụ trợ.các lỗi của hệ thống chân không và hệ thống lớp phủ có tỷ lệ xảy ra cao nhất và ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu ứng quy trìnhDo đó, họ cần được chú ý đặc biệt.

Hệ thống chân không là thành phần cốt lõi của máy sơn chân không.đảm bảo sự lắng đọng trơn tru của vật liệu lớp phủ và giảm thiểu tác động của các tạp chất không khí đối với chất lượng lớp phimCác lỗi phổ biến bao gồm không đạt đến mức chân không đặt, giảm đột ngột mức chân không và không thể khởi động máy bơm chân không.

Đây là lỗi phổ biến nhất trong hệ thống chân không, biểu hiện bằng cách đo chân không hiển thị một giá trị liên tục cao hơn các yêu cầu quy trình sau khi thiết bị khởi động,không thể đạt được trạng thái chân không cao cần thiết cho lớp phủCác nguyên nhân chính bao gồm:

• lão hóa, nứt hoặc lắp đặt không đúng của vòng niêm phong, dẫn đến niêm phong khoang kém và rò rỉ không khí;
• Các kết nối ống lỏng lẻo hoặc các vết nứt nhỏ gây rò rỉ chân không;
• lỗ kim, khiếm khuyết hàn hoặc ô nhiễm nội bộ nghiêm trọng trên tường buồng chân không ảnh hưởng đến hiệu quả tách chân không;
• ô nhiễm, mức dầu không đủ hoặc mài mòn các thành phần cơ thể bơm trong bơm chân không, dẫn đến giảm công suất bơm chân không;
• ô nhiễm, hư hỏng hoặc hiệu chuẩn không chính xác của ống đo, dẫn đến sai lệch đọc.

Giải pháp:

• Đầu tiên, kiểm tra vòng niêm phong. Làm sạch vòng niêm phong thường xuyên và thay thế nó mỗi 6-12 tháng. Đảm bảo phù hợp chặt chẽ và không bị hư hại trong quá trình lắp đặt.
• Sử dụng máy dò rò rỉ theo quang phổ khối heli để xác định vị trí rò rỉ, thắt chặt đường ống lỏng, sửa vết nứt, lỗ chân, v.v., và kiểm tra lại rò rỉ sau khi sửa chữa.
• Thông thường làm sạch các vật liệu lớp phủ còn lại và tạp chất trên bức tường bên trong của buồng chân không.
• Kiểm tra mức dầu và chất lượng của máy bơm chân không. Thay thế dầu chân không mỗi 200-500 giờ làm việc, giữ mức dầu trên đường cân. Nếu các thành phần của máy bơm bị mòn, bạn có thể sử dụng máy bơm chân không.sửa chữa hoặc thay thế chúng kịp thời.
• Làm sạch ống đo chân không thường xuyên, hiệu chuẩn mỗi 12 tháng một lần, thay thế ngay lập tức nếu bị hỏng.

Điều này biểu hiện như một sự giảm mạnh mức chân không trong quá trình vận hành của thiết bị, không đáp ứng được các yêu cầu của quy trình.Nó thường đi kèm với các khiếm khuyết như lỗ chân và đốm màu trong lớp phủCác nguyên nhân chính bao gồm:

• trục trặc cơ thể máy bơm, chẳng hạn như quá nóng của máy bơm khuếch tán hoặc tắc nghẽn của rotor của máy bơm cơ học;
• ô nhiễm nghiêm trọng bên trong buồng chân không, với sự bay hơi của các chất dư thừa dẫn đến sự gia tăng khí;
• dòng nước làm mát không đủ, gây ra quá nóng cơ thể máy bơm và ảnh hưởng đến hiệu quả hút chân không;
• hư hỏng các miếng nắp niêm phong tại đường dẫn nước nguồn bay hơi và khu vực niêm phong điện cực cao áp, dẫn đến rò rỉ;
• trục trặc của van cao, van trước, vv, gây ra sự cố niêm phong.

Giải pháp:

• Ngay lập tức tắt tất cả các nguồn sưởi ấm, khởi động nitơ để phá vỡ chân không, và chờ cho buồng làm mát trước khi khắc phục sự cố;
• Kiểm tra tình trạng hoạt động của máy bơm chân không, làm sạch máy bơm khuếch tán hàng năm và thay dầu đặc biệt.tháo rời và sửa chữa nó kịp thời;
• Thông thường làm sạch buồng chân không. Sau mỗi 50 chu kỳ lớp phủ, thực hiện khắc ion argon trên buồng để loại bỏ các chất gây ô nhiễm còn lại;
• Kiểm tra mạch nước làm mát để đảm bảo tốc độ dòng chảy không dưới 5L/phút, xóa các tắc nghẽn trong đường ống và đảm bảo hoạt động bình thường của hệ thống làm mát;
• Thay thế vỏ kín bị hỏng, kiểm tra và bảo trì van để đảm bảo niêm phong đáng tin cậy.

Điều này biểu hiện như không có phản ứng từ cơ thể máy bơm sau khi nhấn nút khởi động và nó không thể đi vào trạng thái bơm chân không.

• sự cố điện, chẳng hạn như điện áp không ổn định, mạch ngắn hoặc tan chảy bảo hiểm;
• Thiết bị bảo vệ động cơ bị hỏng hoặc quá nóng được kích hoạt;
• ô nhiễm nghiêm trọng của dầu bên trong máy bơm hoặc mức dầu không đủ, dẫn đến việc thân máy bơm bị kẹt;
• lỗi trong các rơle và tiếp xúc, với các tiếp xúc bị cháy hoặc bị mắc kẹt.

Giải pháp:

• Đầu tiên, kiểm tra đường dây điện và ổn định điện áp. đảm bảo rằng biến động điện áp trong vòng ± 5%.
• Nếu động cơ quá nóng, hãy đợi cho bộ máy bơm nguội lại và sau đó khởi động lại.
• Kiểm tra mức dầu và chất lượng của máy bơm chân không.
• Kiểm tra các bộ chuyển tiếp và tiếp xúc. sửa chữa hoặc thay thế các thành phần bị lỗi để đảm bảo dẫn mạch bình thường.

Hệ thống lớp phủ chịu trách nhiệm chuyển đổi vật liệu lớp phủ thành trạng thái khí hoặc plasma và lắng đọng nó trên bề mặt chất nền.Các lỗi của nó chủ yếu biểu hiện như không tuân thủ các tiêu chuẩn chất lượng của lớp phủ, chẳng hạn như sự tách rời của lớp phủ, độ dày không đồng đều và chất lượng lớp phủ xấu đi, ảnh hưởng trực tiếp đến tỷ lệ đủ điều kiện của các sản phẩm.

Điều này biểu hiện như sự tách rời của lớp phim từ bề mặt chất nền và lột ra trong các mảng lớn, với độ bám sát cực kỳ kém.

• ô nhiễm bề mặt nền, chẳng hạn như sự hiện diện của các vết dầu, ẩm, bụi và các tạp chất khác;
• không đủ nướng và làm sạch chất nền trước khi sơn, dẫn đến một lớp oxit trên bề mặt chất nền;
• căng thẳng quá mức trong lớp phim, không phù hợp với hệ số giãn nhiệt của chất nền;
• Sai lệch của nguồn bay hơi và vị trí mục tiêu phun, dẫn đến sự lắng đọng lớp phim không đồng đều;
• và hoạt động không bình thường của nguồn ion, với việc làm sạch bom trước lớp phủ không đủ.

Giải pháp:

• Tăng cường xử lý trước của nền, sử dụng làm sạch siêu âm (nước phi ion hóa + rượu) kết hợp với tấn công ion (bias - 800V đến -1200V,thời gian 5-15 phút) để đảm bảo độ sạch của bề mặt chất nền đạt mức nguyên tử;
• Trước khi sơn, nướng hoàn toàn nền, làm nóng nền kim loại đến 150-200 °C để giải phóng căng thẳng bên trong và kiểm soát nền nhựa dưới 80 °C để ngăn ngừa biến dạng;
• Tối ưu hóa các thông số quy trình, điều chỉnh sự phù hợp giữa vật liệu lớp phủ và nền để giảm căng thẳng của lớp phim;
• Điều chỉnh vị trí của nguồn bay hơi và mục tiêu, đảm bảo thẳng hàng với trung tâm của chất nền, sử dụng các thiết bị dụng cụ để cố định chất nền, tránh tắc nghẽn;
• Kiểm tra trạng thái hoạt động của nguồn ion để đảm bảo rằng việc làm sạch trước khi ném bom trước khi sơn hoàn thành.

Điều này biểu hiện như một độ lệch hơn ± 5% về độ dày lớp màng trên cùng một bề mặt nền hoặc trên các bề mặt nền khác nhau,không đáp ứng các yêu cầu của quy trìnhCác nguyên nhân chính bao gồm:

• sai lệch của nguồn lắng đọng hoặc tốc độ quay không ổn định của thùng;
• chất nền không được cố định vững chắc hoặc bị tắc nghẽn, sự cố hoạt động của cơ chế quay;
• can thiệp từ các trường từ và điện gây ra sự lệch đường chùm;
• trục trặc trong hiệu chuẩn đo độ dày (công cụ kiểm soát tinh thể), sai lệch vị trí của đầu dò hoặc nhiễm trùng;
• biến động các thông số quá trình, chẳng hạn như tốc độ bay hơi không ổn định và lưu lượng khí không đồng đều.

Giải pháp:

• Điều chỉnh vị trí của nguồn lắng đọng để thẳng hàng với trung tâm của chất nền, kiểm tra tốc độ quay của thùng, sửa chữa bất kỳ lỗi nào trong cơ chế quay;
• Sử dụng các thiết bị đính kèm công cụ để đảm bảo nền tảng, tránh bất kỳ trở ngại nào và đảm bảo xoay đồng đều của nền tảng;
• Kiểm tra các thông số của cuộn dây điện từ, tối ưu hóa quỹ đạo chùm và giảm can thiệp điện từ;
• Định chuẩn thiết bị điều khiển tinh thể hàng quý bằng cách sử dụng các tấm dày phim tiêu chuẩn, làm sạch bề mặt của đầu dò và điều chỉnh đầu dò ở vị trí tối ưu cách nền 5-10 cm;
• Cân bằng điện áp nguồn cung cấp điện để đảm bảo tốc độ bay hơi ổn định và tốc độ lưu lượng khí và kiểm soát sai số chính xác của máy đo lưu lượng khí trong phạm vi ± 1%.

Điều này biểu hiện như lỗ chân, đốm màu, sương mù và các khiếm khuyết khác trên lớp phim, và các chỉ số hiệu suất như độ bóng, độ cứng và khả năng mòn không đáp ứng các tiêu chuẩn.Nguyên nhân chính bao gồm::

• Phòng chân không không được giải phóng hoàn toàn, và có các tạp chất còn lại như hơi nước và oxy;
• rò rỉ không khí trong quá trình sơn dẫn đến ô nhiễm khí;
• Vật liệu phim hấp thụ độ ẩm hoặc chứa tạp chất, và các chất gây ô nhiễm được tạo ra trong quá trình bay hơi và phun;
• hệ thống sợi chỉ và chùm là bất thường, dẫn đến sự ion hóa không đủ của vật liệu phủ;
• hệ thống sưởi thất bại, khiến nhiệt độ nền không đạt được giá trị đặt hoặc biến động quá mức.

Giải pháp:

• Trước khi sơn, tống khí trong buồng chân không đến áp suất ≤ 5*10−4 Pa và nướng để loại bỏ khí còn lại trong buồng chân không;
• Kiểm tra tất cả các giao diện niêm phong, thay thế các thành phần niêm phong cũ để ngăn ngừa rò rỉ không khí;
• Nấu chảy trước vật liệu lớp phủ trong buồng chân không trước khi sử dụng để loại bỏ độ ẩm và tạp chất, và chọn các vật liệu lớp phủ tinh khiết đủ điều kiện;
• Kiểm tra tình trạng sợi chỉ, thay thế sợi đã cháy hoặc đã già đi, đảm bảo vị trí lắp đặt là trung tâm, đặt lại giới hạn chùm tia bằng không sau khi tan trước và sau đó khởi động;
• Kiểm tra các yếu tố sưởi ấm, bộ điều khiển nhiệt độ và nhiệt cặp, sửa chữa bất kỳ mạch ngắn hoặc các vấn đề liên lạc kém, điều chỉnh lại các thông số PID của bộ điều khiển nhiệt độ,điều chỉnh thermocouple đến vị trí trung tâm của nền, và hiệu chỉnh hàng năm.

Hệ thống điều khiển điện là "bộ não" của máy sơn chân không, chịu trách nhiệm phối hợp hoạt động của các mô-đun khác nhau.Sự thất bại của nó chủ yếu biểu hiện như bảng điều hành không đáp ứng, hiển thị tham số bất thường, và mất kiểm soát chương trình, dẫn đến thiết bị không thể hoạt động bình thường.

Nếu bảng điều khiển không phản ứng hoặc màn hình tham số là bất thường, nó thường là do bảng điều khiển ẩm ướt hoặc phủ bụi, kết nối cảm biến là lỏng lẻo hoặc bị hỏng,Giải pháp: thường xuyên làm sạch tủ điều khiển bằng không khí nén khô để ngăn chặn bảng điều khiển ẩm và bụi bặm; kiểm tra các đường dây cảm biến,sửa chữa các kết nối lỏng lẻo, và thay thế các cảm biến bị lỗi; khởi động lại hệ thống hoặc cài đặt lại phần mềm điều khiển để khôi phục hoạt động bình thường của chương trình.Khi chương trình không được kiểm soát và các thông số quy trình không thể được điều chỉnh, nó thường gây ra bởi lỗi máy tính công nghiệp PLC, gián đoạn truyền thông hoặc lỗi biến tần.sửa chữa các vấn đề gián đoạn liên lạc; kiểm tra biến tần, điều tra quá tải, quá điện áp, quá điện và thông tin báo động khác, và sửa chữa hoặc thay thế các thành phần bị lỗi.

Các hệ thống phụ trợ bao gồm hệ thống làm mát, hệ thống cung cấp khí, v.v. Mặc dù chúng không trực tiếp tham gia vào quá trình bọc lõi,chúng rất quan trọng đối với hoạt động bình thường của thiết bị và chất lượng lớp phủCác lỗi phổ biến là như sau:

Điều này biểu hiện như quá nóng của thân máy bơm, vật liệu mục tiêu và các thành phần sưởi ấm trong quá trình vận hành thiết bị, và thậm chí kích hoạt bảo vệ quá nóng và dừng máy.Nguyên nhân chính bao gồm::

• Mức nước quá thấp trong nước làm mát, chất lượng nước kém dẫn đến giảm hiệu quả làm mát;
• tắc nghẽn hoặc uốn cong của đường ống làm mát, lưu lượng nước kém;
• trục trặc bơm, bộ trao đổi nhiệt bị tắc;
• Khởi mở van không đúng cách hoặc đóng vô tình.

Giải pháp:

• Kiểm tra thường xuyên mức độ nước của nước làm mát, bổ sung nước làm mát và thay nước làm mát thường xuyên để ngăn ngừa sự phát triển và vỏ vỏ tảo;
• loại bỏ các tắc nghẽn trong đường ống làm mát, thẳng các đường ống cong để đảm bảo dòng chảy nước trơn tru;
• Kiểm tra trạng thái hoạt động của máy bơm, sửa chữa hoặc thay thế máy bơm bị lỗi và làm sạch các tắc nghẽn trong bộ trao đổi nhiệt;
• Kiểm tra mức độ mở của van để đảm bảo chúng mở hoàn toàn.

Điều này biểu hiện như là lưu lượng khí quá trình không ổn định và không thể cung cấp, dẫn đến sự gián đoạn quá trình sơn hoặc sai lệch trong thành phần của lớp phim.

• sự cố hoặc hư hỏng của hiệu chuẩn bộ điều khiển dòng chảy khối lượng (MFC);
• tắc nghẽn hoặc rò rỉ đường dẫn khí;
• độ tinh khiết khí không đủ và sự cố hoạt động của van giảm áp.

Giải pháp:

• Kiểm tra thường xuyên bộ điều khiển dòng chảy khối lượng, sửa chữa hoặc thay thế các thành phần bị lỗi;
• kiểm tra đường khí, loại bỏ các tắc nghẽn, xác định và thắt chặt các điểm rò rỉ;
• chọn khí quá trình với độ tinh khiết đủ điều kiện, kiểm tra van giảm áp và đảm bảo áp suất ổn định.

Việc bảo trì máy sơn chân không nên tuân theo nguyên tắc "đầu tiên là phòng ngừa, kết hợp phòng ngừa và điều trị".bảo trì thường xuyên và bảo trì đặc biệt, các lỗi tiềm ẩn có thể được phát hiện kịp thời, kéo dài tuổi thọ của thiết bị và đảm bảo sản xuất ổn định.đặc biệt tập trung vào các thành phần và hệ thống cốt lõi dễ mòn.

1. Kiểm tra trước khi đưa vào sử dụng:
   • Kiểm tra xem nguồn cung cấp điện và dây điện của thiết bị có bình thường hay không, và liệu có bất kỳ thiệt hại hoặc lỏng lẻo nào;
   • Kiểm tra mức dầu và chất lượng của máy bơm chân không, đảm bảo rằng mức dầu nằm trong thang đo tiêu chuẩn và dầu trong suốt mà không có sự mờ;
   • Kiểm tra xem các vòng niêm phong có còn nguyên vẹn và sạch sẽ không, và có sự lão hóa hoặc hư hỏng không;
   • Kiểm tra hệ thống làm mát để đảm bảo rằng nước làm mát là đủ và dòng nước chảy trơn tru;
   • Kiểm tra hệ thống cung cấp khí để đảm bảo áp suất khí ổn định và không có rò rỉ trong đường dẫn khí;
   • Kiểm tra các thông số bảng điều khiển để xác nhận thiết bị ở trạng thái chờ bình thường.
2. Bảo trì sau khi ngừng hoạt động:
   • Tắt tất cả các nguồn cung cấp điện, van khí và van nước làm mát của thiết bị;
   • Làm sạch các bức tường bên trong của buồng chân không, người giữ đồ làm việc và cửa sổ quan sát,sử dụng một miếng vải không có vải ngâm trong isopropyl alcohol để loại bỏ bất kỳ vật liệu phủ và tạp chất còn lại nào;
   • Làm sạch bụi trên bề mặt thiết bị, tổ chức các mạch và đường ống;
   • Ghi lại tình trạng hoạt động của thiết bị, lỗi và tham số quy trình, và thiết lập tệp hoạt động.

1. Bảo trì hàng tuần:
   • Kiểm tra tình trạng hoạt động của máy bơm chân không, lắng nghe bất kỳ âm thanh hoặc rung động bất thường nào từ thân máy bơm và làm sạch bụi bề mặt của thân máy bơm;
   • Kiểm tra các niêm phong, làm sạch các vòng niêm phong với ethanol anhidrô, áp dụng dầu bôi trơn đặc biệt để tăng hiệu suất niêm phong;
   • Kiểm tra đường ống làm mát, xóa các tắc nghẽn trong bộ lọc;
   • Kiểm tra các thiết bị cố định cơ sở để đảm bảo chúng được cố định chắc chắn và không bị biến dạng.
2. Tiền bảo dưỡng hàng tháng:
   • Thay dầu bơm chân không và làm sạch các tạp chất bên trong của thân bơm;
   • Kiểm tra ống đo chân không, làm sạch và hiệu chuẩn;
   • Kiểm tra các yếu tố sưởi ấm và nhiệt cặp để đảm bảo kết nối an toàn và hoạt động bình thường;
   • làm sạch đường ống dẫn khí và xác định các điểm rò rỉ;
   • thực hiện việc làm sạch toàn diện của buồng chân không, và thực hiện khắc ion argon nếu cần thiết.
3. Bảo trì hàng quý:
   • Kiểm tra nguồn bay hơi và tình trạng vật liệu mục tiêu, thay thế vật liệu mục tiêu và bình bay hơi đã mòn hoặc cạn kiệt;
   • Định chuẩn bộ đo độ dày màng và bộ điều khiển dòng chảy khối lượng để đảm bảo độ chính xác;
   • Kiểm tra hệ thống điều khiển điện, làm sạch bảng điều khiển và cảm biến và thắt chặt các kết nối dây điện;
   • Kiểm tra hệ thống làm mát, làm sạch các trầm tích bên trong trong bộ trao đổi nhiệt, và thay các đường ống nước làm mát cũ.
4. Tiền bảo dưỡng hàng năm:
   • Thực hiện kiểm tra chi phối chi phối chi tiết thiết bị, thay thế các niêm phong, vòng bi, sợi chỉ và các thành phần dễ bị hư hỏng;
   • Kiểm tra các rotor bên trong và lưỡi máy bơm chân không, sửa chữa các bộ phận bị mòn;
   • hiệu chuẩn tất cả các thiết bị và đồng hồ để đảm bảo các thông số chính xác;
   • thực hiện các thử nghiệm hoạt động không tải và xác nhận quy trình trên thiết bị để đảm bảo nó đáp ứng các tiêu chuẩn hiệu suất;
   • cung cấp đào tạo chuyên môn cho các nhà khai thác để chuẩn hóa các quy trình hoạt động.

1. Bảo trì đặc biệt đối với các thành phần dễ mòn:
   • Các thành phần dễ mòn, chẳng hạn như vòng niêm phong, sợi, vật liệu mục tiêu, thuyền bay hơi, vv, nên được lưu trữ trước với các bộ phận thay thế theo tần suất sử dụng và tình trạng mòn,và được thay thế kịp thời để tránh thiết bị tắt do tổn thương thành phần;
   • Thường xuyên kiểm tra điều kiện lắp đặt của các thành phần để đảm bảo lắp đặt đúng cách và tránh lỗi do lắp đặt không đúng cách.
2. Bảo trì đặc biệt:
   • Đối với thiết bị hoạt động trong môi trường nhiệt độ cao, độ ẩm cao và bụi, chu kỳ bảo trì nên được rút ngắn và bảo vệ niêm phong và làm sạch nên được tăng cường;
   • tần suất kiểm tra hệ thống làm mát và hệ thống chân không nên được tăng để ngăn ngừa sự cố thiết bị do các yếu tố môi trường;
   • Các phương pháp xử lý chống ẩm và chống bụi thường xuyên nên được thực hiện trên thiết bị để đảm bảo sự khô và sạch sẽ bên trong của nó.

1. Trước khi bảo trì,

   Tất cả các nguồn cung cấp điện của thiết bị phải được ngắt kết nối, van khí phải được đóng và áp suất bên trong buồng chân không phải được giải phóng để đảm bảo rằng thiết bị ở trạng thái an toàn.Chờ cho các thành phần nhiệt độ cao để làm mát trước khi tiến hành với hoạt động để tránh bỏng.

2. Trong quá trình bảo trì,

   Các nhà khai thác phải đeo găng tay bảo vệ, kính và các thiết bị bảo vệ khác để ngăn chặn các mảnh lớp phủ bị phun và tiếp xúc với các chất phản ứng hóa học.