الأخطاء الشائعة في آلات طلاء الفراغ واستراتيجيات الصيانة
تكنولوجيا طلاء الفراغ، باعتبارها التكنولوجيا الأساسية في مجال التصنيع الدقيق، يتم تطبيقها على نطاق واسع في الإلكترونيات والبصريات والسيارات والفضاء وغيرها من الصناعات. يقوم بترسيب المعادن وغير المعادن والمواد الأخرى على سطح الركائز في بيئة مفرغة، مما يشكل أغشية ذات مقاومة للتآكل ومنع التآكل وخصائص بصرية. آلات الطلاء بالفراغ هي المعدات الرئيسية لتحقيق هذه العملية، مع الهياكل المعقدة ومتطلبات الدقة العالية. وهي تغطي وحدات أساسية متعددة مثل أنظمة التفريغ وأنظمة الطلاء وأنظمة التحكم الكهربائية والأنظمة المساعدة. أثناء التشغيل ذو التحميل العالي على المدى الطويل، تتأثر بعوامل مثل البيئة والتشغيل والتآكل، وتكون المعدات عرضة لحالات فشل مختلفة، والتي لا تؤثر فقط على جودة الطلاء وكفاءة الإنتاج ولكن أيضًا قد تقصر من عمر خدمة المعدات. ولذلك، فإن التحليل المتعمق للأخطاء الشائعة لآلات الطلاء بالفراغ وصياغة استراتيجيات الصيانة العلمية والموحدة لهما أهمية كبيرة لضمان إنتاج مستقر وتقليل تكاليف التشغيل والصيانة.
تعتمد هذه المقالة على مبدأ العمل وسيناريوهات التطبيق العملي لآلات الطلاء بالفراغ، وتحلل بشكل منهجي مظاهر وأسباب وحلول الأعطال الشائعة المختلفة، وتلخص نقاط الصيانة الشاملة. فهو يوفر مراجع للمشغلين وموظفي الصيانة ذوي الصلة، مما يساعد على تعزيز استقرار تشغيل المعدات وكفاءة الإنتاج.
I. مبدأ العمل الأساسي لآلة طلاء الفراغ
منطق العمل الأساسي لآلة الطلاء بالفراغ هو تقليل الضغط داخل حجرة التفريغ المختومة إلى مستوى التفريغ المطلوب من خلال مجموعة مضخة التفريغ. بعد ذلك، باستخدام طرق مثل التبخر، والرش، والطلاء الأيوني، يتم تحويل مادة الطلاء إلى حالة غازية أو بلازما، مما يسمح بترسيبها بشكل موحد على سطح الركيزة وتشكيل طبقة كثيفة. يعتمد التشغيل العادي للمعدات على أداء الختم لنظام التفريغ، واستقرار نظام الطلاء، ودقة نظام التحكم الكهربائي، وتنسيق الأنظمة المساعدة. أي خلل في أي وحدة سيؤدي إلى فشل المعدات أو جودة الطلاء دون المستوى المطلوب.
ثانيا. الأخطاء الشائعة في آلات طلاء الفراغ وحلولها
تحدث أخطاء آلة الطلاء بالفراغ بشكل رئيسي في أربع وحدات رئيسية: نظام الفراغ، نظام الطلاء، نظام التحكم الكهربائي، والنظام المساعد. من بينها، أخطاء نظام التفريغ ونظام الطلاء لها أعلى معدل حدوث وتؤثر بشكل مباشر على تأثير العملية. ولذلك، فإنها تحتاج إلى إيلاء اهتمام خاص.
(1) الأخطاء الشائعة في نظام الفراغ
نظام الفراغ هو المكون الأساسي لآلة طلاء الفراغ. وتتمثل وظيفتها الرئيسية في الحفاظ على بيئة فراغ عالية داخل الغرفة، مما يضمن الترسيب السلس لمواد الطلاء وتقليل تأثير شوائب الهواء على جودة طبقة الغشاء. تشمل الأخطاء الشائعة الفشل في الوصول إلى مستوى التفريغ المحدد، والانخفاض المفاجئ في مستوى التفريغ، وعدم القدرة على بدء تشغيل مضخة التفريغ.
فشل مستوى الفراغ في الوصول إلى القيمة المحددة:
هذا هو الخطأ الأكثر شيوعًا في نظام التفريغ، والذي يتجلى في أن مقياس التفريغ يُظهر قيمة أعلى باستمرار من متطلبات العملية بعد بدء تشغيل المعدات، وهو غير قادر على تحقيق حالة التفريغ العالية المطلوبة للطلاء. تشمل الأسباب الرئيسية ما يلي:
- الشيخوخة أو التشقق أو التثبيت غير الصحيح لحلقة الختم، مما يؤدي إلى ضعف إغلاق التجويف وتسرب الهواء؛
- وصلات الأنابيب السائبة أو الشقوق البسيطة التي تسبب تسرب الفراغ؛
- ثقوب الإبرة أو عيوب اللحام أو التلوث الداخلي الشديد على جدار غرفة التفريغ مما يؤثر على كفاءة الاستخراج بالفراغ؛
- التلوث أو عدم كفاية مستوى الزيت أو تآكل مكونات جسم المضخة في مضخة التفريغ، مما يؤدي إلى انخفاض قدرة ضخ التفريغ؛
- التلوث أو التلف أو المعايرة غير الصحيحة لأنبوب القياس، مما يؤدي إلى انحرافات القراءة.
حل:
- أولاً، تحقق من حلقة الختم. قم بتنظيف حلقة الختم بانتظام واستبدلها كل 6-12 شهرًا. تأكد من ملاءمة محكمة وغير تالفة أثناء التثبيت.
- استخدم كاشف تسرب مطياف كتلة الهيليوم لتحديد نقاط التسرب، وتشديد خطوط الأنابيب السائبة، وإصلاح الشقوق، والثقوب، وما إلى ذلك، وإعادة فحص التسريبات بعد الإصلاح.
- قم بتنظيف مواد الطلاء المتبقية والشوائب الموجودة على الجدار الداخلي لغرفة التفريغ بانتظام. إجراء اختبارات الضغط عند الضرورة.
- تحقق من مستوى الزيت وجودة مضخة التفريغ. استبدل الزيت الفراغي كل 200-500 ساعة عمل، مع الحفاظ على مستوى الزيت أعلى من خط القياس. في حالة تآكل مكونات جسم المضخة، قم بإصلاحها أو استبدالها في الوقت المناسب.
- قم بتنظيف أنبوب قياس الفراغ بانتظام. قم بمعايرته مرة واحدة كل 12 شهرًا. استبدله على الفور في حالة تلفه.
2. الانخفاض المفاجئ في مستوى الفراغ:
ويتجلى ذلك في انخفاض حاد في مستوى الفراغ أثناء تشغيل المعدات، والذي لا يفي بمتطلبات العملية. وغالبًا ما يكون مصحوبًا بعيوب مثل الثقوب والبقع الملونة في طبقة الطلاء. تشمل الأسباب الرئيسية ما يلي:
- فشل جسم المضخة، مثل ارتفاع درجة حرارة مضخة الانتشار أو تشويش دوار المضخة الميكانيكية؛
- التلوث الشديد داخل الحجرة المفرغة، مع تطاير المواد المتبقية مما يؤدي إلى زيادة الغازات؛
- عدم كفاية تدفق مياه التبريد، مما يؤدي إلى ارتفاع درجة حرارة جسم المضخة والتأثير على كفاءة استخراج الفراغ؛
- تلف حشوات الختم عند مسار مياه مصدر التبخر ومنطقة سد القطب الكهربائي عالي الجهد، مما يؤدي إلى التسرب؛
- خلل في الصمامات العالية والصمامات المسبقة وما إلى ذلك، مما يتسبب في فشل الختم.
حل:
- أغلق جميع مصادر التدفئة على الفور، وابدأ تشغيل النيتروجين لكسر الفراغ، وانتظر حتى تبرد الغرفة قبل استكشاف الأخطاء وإصلاحها؛
- تحقق من حالة تشغيل مضخة التفريغ، وقم بتنظيف مضخة الانتشار سنويًا واستبدال الزيت الخاص. إذا تعطلت المضخة الميكانيكية أو أصدرت ضوضاء غير طبيعية، قم بتفكيكها وإصلاحها في الوقت المناسب؛
- تنظيف غرفة فراغ بانتظام. بعد كل 50 دورة طلاء، قم بإجراء النقش بأيون الأرجون على الحجرة لإزالة الملوثات المتبقية؛
- فحص دائرة مياه التبريد للتأكد من أن معدل التدفق لا يقل عن 5 لتر / دقيقة، وإزالة الانسداد في خط الأنابيب، وضمان التشغيل الطبيعي لنظام التبريد؛
- استبدل حشية الختم التالفة، وافحص الصمامات وصيانتها لضمان الختم الموثوق.
3. فشل مضخة التفريغ في البدء:
ويتجلى ذلك في عدم استجابة جسم المضخة بعد الضغط على زر التشغيل، ولا يمكنه الدخول في حالة الضخ الفراغي. تشمل الأسباب الرئيسية ما يلي:
- انقطاع التيار الكهربائي، مثل الجهد غير المستقر، أو ماس كهربائى، أو ذوبان الصمامات؛
- تسبب تلف المحرك أو الحماية من الحرارة الزائدة؛
- التلوث الشديد للزيت داخل المضخة أو عدم كفاية مستوى الزيت، مما يؤدي إلى تعطل جسم المضخة؛
- أخطاء في المرحلات والموصلات، مع اتصالات محترقة أو عالقة.
حل:
- أولا، التحقق من خطوط الكهرباء واستقرار الجهد. تأكد من أن تقلب الجهد ضمن ±5%. استبدل الصمامات المنفوخة.
- في حالة ارتفاع درجة حرارة المحرك، انتظر حتى يبرد جسم المضخة ثم أعد تشغيله. في حالة تلف المحرك، استبدله على الفور.
- تحقق من مستوى الزيت وجودة مضخة التفريغ. استبدل الزيت الفراغي الملوث وأعد تعبئته إلى المستوى القياسي.
- تحقق من المرحلات والموصلات. إصلاح أو استبدال المكونات المعيبة لضمان التوصيل الطبيعي للدائرة.
(2) الأخطاء الشائعة في نظام الطلاء
نظام الطلاء مسؤول عن تحويل مادة الطلاء إلى حالة غازية أو بلازما وترسيبها على سطح الركيزة. تتجلى إخفاقاتها بشكل رئيسي في عدم الامتثال لمعايير الجودة لطبقة الطلاء، مثل انفصال طبقة الطلاء، والسمك غير المتساوي، وتدهور جودة الطلاء، مما يؤثر بشكل مباشر على معدل تأهيل المنتجات.
انفصال طبقة الفيلم:
ويتجلى ذلك في انفصال طبقة الفيلم عن سطح الركيزة وتقشيرها في بقع كبيرة، مع التصاق ضعيف للغاية. تشمل الأسباب الرئيسية ما يلي:
- تلوث سطح الركيزة، مثل وجود بقع الزيت والرطوبة والغبار والشوائب الأخرى؛
- الخبز والتنظيف غير الكافي للركيزة قبل الطلاء، مما يؤدي إلى ظهور طبقة أكسيد على سطح الركيزة؛
- الإجهاد المفرط في طبقة الفيلم، والذي لا يتطابق مع معامل التمدد الحراري للركيزة؛
- انحراف مصدر التبخر وموضع الهدف المتخرق، مما يؤدي إلى ترسب طبقة الفيلم بشكل غير متساو؛
- والتشغيل غير الطبيعي لمصدر الأيونات، مع عدم كفاية تنظيف قصف الطلاء المسبق.
حل:
- تعزيز المعالجة المسبقة للركيزة، باستخدام التنظيف بالموجات فوق الصوتية (الماء منزوع الأيونات + الكحول) مع القصف الأيوني (التحيز - 800 فولت إلى -1200 فولت، المدة 5-15 دقيقة) لضمان وصول نظافة سطح الركيزة إلى المستوى الذري؛
- قبل الطلاء، قم بخبز الركيزة بالكامل، وتسخين الركيزة المعدنية إلى 150-200 درجة مئوية لتحرير الضغط الداخلي، والتحكم في الركيزة البلاستيكية أقل من 80 درجة مئوية لمنع التشوه؛
- تحسين معلمات العملية، وضبط المطابقة بين مادة الطلاء والركيزة لتقليل إجهاد طبقة الفيلم؛
- ضبط موضع مصدر التبخر والهدف، وضمان التوافق مع مركز الركيزة، واستخدام تركيبات الأدوات لإصلاح الركيزة، وتجنب العرقلة؛
- تحقق من حالة تشغيل مصدر الأيونات للتأكد من اكتمال التنظيف قبل القصف قبل الطلاء.
2. سمك طبقة الغشاء غير المستوي:
ويتجلى ذلك في شكل انحراف يزيد عن ±5% في سمك طبقة الغشاء على نفس سطح الركيزة أو على أسطح ركيزة مختلفة، وهو ما لا يلبي متطلبات العملية. تشمل الأسباب الرئيسية ما يلي:
- انحراف مصدر الترسيب أو سرعة دوران البوتقة غير المستقرة؛
- عدم تثبيت الركيزة بشكل محكم أو إعاقتها، أو حدوث خلل في آلية التدوير؛
- التداخل الناتج عن المجالات المغناطيسية والكهربائية مما يسبب انحراف الشعاع؛
- فشل معايرة مقياس السُمك (أداة التحكم البلوري)، أو انحراف موضع المسبار أو التلوث؛
- التقلبات في معلمات العملية، مثل معدل التبخر غير المستقر وتدفق الغاز غير المتكافئ.
حل:
- ضبط موضع مصدر الترسيب ليتوافق مع مركز الركيزة، والتحقق من سرعة دوران البوتقة، وإصلاح أي أخطاء في آلية التدوير؛
- استخدام تركيبات الأدوات لتأمين الركيزة، وتجنب أي عوائق، وضمان دوران موحد للركيزة؛
- التحقق من معلمات الملفات الكهرومغناطيسية، وتحسين مسار الشعاع، وتقليل التداخل الكهرومغناطيسي؛
- معايرة أداة التحكم البلوري كل ثلاثة أشهر باستخدام صفائح سماكة الفيلم القياسية، وتنظيف سطح المسبار، وضبط المسبار على الموضع الأمثل من 5-10 سم من الركيزة؛
- قم بتثبيت جهد مصدر الطاقة لضمان استقرار معدل التبخر ومعدل تدفق الغاز، والتحكم في خطأ الدقة لمقياس تدفق الغاز في حدود ±1%.
3. تدهور جودة الفيلم:
ويتجلى ذلك في وجود ثقوب وبقع ملونة وضباب وعيوب أخرى على طبقة الفيلم، كما أن مؤشرات الأداء مثل اللمعان والصلابة ومقاومة التآكل لا تلبي المعايير. تشمل الأسباب الرئيسية ما يلي:
- لم يتم إخلاء الغرفة المفرغة بالكامل، وهناك شوائب متبقية مثل بخار الماء والأكسجين؛
- يؤدي تسرب الهواء أثناء عملية الطلاء إلى تلوث الغاز؛
- تمتص مادة الفيلم الرطوبة أو تحتوي على شوائب، وتتولد الملوثات أثناء التبخر والرش؛
- نظام الشعيرات والشعاع غير طبيعي، مما يؤدي إلى عدم كفاية التأين لمواد الطلاء؛
- يفشل نظام التسخين، مما يتسبب في فشل درجة حرارة الركيزة في الوصول إلى القيمة المحددة أو التقلب بشكل مفرط.
حل:
- قبل الطلاء، قم بإخلاء حجرة التفريغ إلى ضغط ≥ 5*10⁻⁴ Pa وقم بإجراء الخبز لإزالة الغاز المتبقي في حجرة التفريغ؛
- فحص جميع واجهات الختم، واستبدال مكونات الختم القديمة لمنع تسرب الهواء؛
- قم بإذابة مادة الطلاء مسبقًا في غرفة التفريغ قبل استخدامها لإزالة الرطوبة والشوائب، واختيار مواد الطلاء النقية المؤهلة؛
- التحقق من حالة الخيوط، واستبدال الخيوط المحترقة أو القديمة، والتأكد من توسيط موضع التثبيت، وإعادة تعيين محدد الشعاع إلى الصفر بعد الذوبان المسبق ثم البدء؛
- فحص عناصر التسخين، ووحدة التحكم في درجة الحرارة والمزدوجة الحرارية، وإصلاح أي دوائر قصيرة أو مشكلات اتصال سيئة، وإعادة ضبط معلمات PID لجهاز التحكم في درجة الحرارة، وضبط المزدوجة الحرارية على الموضع المركزي للركيزة، والمعايرة سنويًا.
(ثالثا) الأخطاء الشائعة في أنظمة التحكم الكهربائية
نظام التحكم الكهربائي هو "العقل" لآلة الطلاء الفراغي، وهو المسؤول عن تنسيق تشغيل الوحدات المختلفة. تتجلى أعطالها بشكل رئيسي في عدم استجابة لوحة التشغيل، وعرض المعلمات غير الطبيعي، وتعطل البرنامج، مما يؤدي إلى عدم قدرة المعدات على العمل بشكل طبيعي.
الأخطاء الشائعة والحلول:
إذا لم تستجب لوحة التشغيل أو كان عرض المعلمة غير طبيعي، فعادةً ما يكون السبب في ذلك هو تعرض لوحة التحكم للرطوبة أو المغطاة بالغبار، أو أن اتصال المستشعر مفكك أو تالف، أو تعطل البرنامج. الحل: قم بتنظيف خزانة التحكم بانتظام بالهواء المضغوط الجاف لمنع لوحة التحكم من الرطوبة والغبار؛ التحقق من خطوط أجهزة الاستشعار، وإصلاح الموصلات السائبة، واستبدال أجهزة الاستشعار المعيبة؛ أعد تشغيل النظام أو أعد تثبيت برنامج التحكم لاستعادة التشغيل العادي للبرنامج. عندما يكون البرنامج خارج نطاق السيطرة ولا يمكن تعديل معلمات العملية، فعادةً ما يكون السبب هو فشل الكمبيوتر الصناعي PLC، أو انقطاع الاتصال، أو فشل العاكس. الحل: التحقق من حالة تشغيل PLC، واستكشاف أخطاء خطوط الاتصال وإصلاحها، وإصلاح مشكلات انقطاع الاتصال؛ افحص العاكس، وافحص التحميل الزائد، والجهد الزائد، والتيار الزائد ومعلومات الإنذار الأخرى، وقم بإصلاح المكونات المعيبة أو استبدالها.
(4) الأخطاء الشائعة في الأنظمة المساعدة
تشمل الأنظمة المساعدة نظام التبريد، ونظام إمداد الغاز، وما إلى ذلك. وعلى الرغم من أنها لا تشارك بشكل مباشر في عملية الطلاء الأساسية، إلا أنها ضرورية للتشغيل الطبيعي للمعدات وجودة الطلاء. الأخطاء الشائعة هي كما يلي:
1. فشل نظام التبريد:
ويتجلى ذلك في ارتفاع درجة حرارة جسم المضخة، والمواد المستهدفة، ومكونات التسخين أثناء تشغيل المعدات، وحتى تفعيل الحماية من الحرارة الزائدة وإيقاف الماكينة. تشمل الأسباب الرئيسية ما يلي:
- انخفاض مستوى الماء في مياه التبريد، وسوء نوعية المياه مما يؤدي إلى انخفاض كفاءة التبريد؛
- انسداد أو ثني خط أنابيب التبريد، وضعف تدفق المياه؛
- فشل المضخة، مبادل حراري مسدود؛
- فتح الصمام بشكل غير صحيح أو إغلاقه عن طريق الخطأ.
الحلول:
- التحقق بانتظام من مستوى الماء في مياه التبريد، وتجديد مياه التبريد، واستبدال مياه التبريد بانتظام لمنع نمو الطحالب والقشور؛
- إزالة الانسداد في خط أنابيب التبريد، وتصويب الأنابيب المنحنية لضمان تدفق سلس للمياه؛
- التحقق من حالة تشغيل المضخة، وإصلاح أو استبدال المضخة المعيبة، وتنظيف الانسدادات في المبادل الحراري؛
- تحقق من درجة فتح الصمامات للتأكد من أنها مفتوحة بالكامل.
2. فشل نظام إمداد الغاز:
ويتجلى ذلك في تدفق غاز المعالجة غير المستقر وعدم القدرة على الإمداد، مما يؤدي إلى انقطاع عملية الطلاء أو الانحراف في تكوين طبقة الفيلم. تشمل الأسباب الرئيسية ما يلي:
- فشل أو تلف معايرة جهاز التحكم في التدفق الشامل (MFC)؛
- انسداد أو تسرب مسار الغاز.
- عدم كفاية نقاء الغاز وخلل في صمام تخفيض الضغط.
الحلول:
- معايرة جهاز التحكم في التدفق الشامل بانتظام، أو إصلاح أو استبدال المكونات المعيبة؛
- فحص مسار الغاز، وإزالة الانسدادات، وتحديد نقاط التسرب وتشديدها؛
- حدد غاز المعالجة بدرجة نقاء مؤهلة، وافحص صمام تقليل الضغط، وتأكد من استقرار الضغط.
ثالثا. استراتيجيات الصيانة العلمية لآلات طلاء الفراغ
يجب أن تتبع صيانة آلات الطلاء الفراغي مبدأ "الوقاية أولاً، مزيج من الوقاية والعلاج". من خلال الصيانة اليومية والصيانة الدورية والصيانة الخاصة، يمكن اكتشاف الأخطاء المحتملة في الوقت المناسب، مما يزيد من عمر خدمة المعدات ويضمن إنتاجًا مستقرًا. يجب أن تغطي أعمال الصيانة جميع وحدات المعدات، مع التركيز بشكل خاص على المكونات والأنظمة الأساسية المعرضة للتآكل.
(1) الصيانة اليومية (قبل بدء التشغيل اليومي وبعد إيقاف التشغيل)
-
التفتيش قبل التشغيل:
- التحقق مما إذا كان مصدر الطاقة وأسلاك الجهاز طبيعيًا، وما إذا كان هناك أي ضرر أو ارتخاء؛
- التحقق من مستوى الزيت وجودة مضخة التفريغ، والتأكد من أن مستوى الزيت ضمن المقياس القياسي وأن الزيت صافي بدون تعكر؛
- التحقق مما إذا كانت حلقات الختم سليمة ونظيفة، وما إذا كان هناك أي تقادم أو تلف؛
- فحص نظام التبريد للتأكد من أن مياه التبريد كافية وأن تدفق المياه سلس؛
- فحص نظام إمداد الغاز للتأكد من استقرار ضغط الغاز وعدم وجود تسرب في مسار الغاز؛
- تحقق من معلمات لوحة التشغيل للتأكد من أن الجهاز في حالة الاستعداد العادية.
-
الصيانة بعد الاغلاق:
- أغلق جميع مصادر الطاقة وصمامات الغاز وصمامات مياه التبريد الخاصة بالمعدات؛
- تنظيف الجدران الداخلية للغرفة فراغ، وصاحب الشغل، ونافذة المراقبة، باستخدام قطعة قماش خالية من الوبر مغموسة في كحول الأيزوبروبيل لإزالة أي مواد الطلاء المتبقية والشوائب؛
- تنظيف الغبار على سطح المعدات، وتنظيم الدوائر وخطوط الأنابيب؛
- قم بتسجيل حالة تشغيل الجهاز والأخطاء ومعلمات العملية وإنشاء ملف التشغيل.
(2) الصيانة الدورية (أسبوعية، شهرية، ربع سنوية، سنوية)
-
الصيانة الأسبوعية:
- التحقق من حالة تشغيل مضخة التفريغ، والاستماع إلى أي أصوات أو اهتزازات غير طبيعية من جسم المضخة، وتنظيف الغبار السطحي لجسم المضخة؛
- فحص الأختام، وتنظيف حلقات الختم بالإيثانول اللامائي، وتطبيق شحم تشحيم خاص لتعزيز أداء الختم؛
- فحص خط أنابيب التبريد، وإزالة الانسدادات في الفلتر؛
- فحص التركيبات الأساسية للتأكد من أنها ثابتة بشكل آمن ودون تشوه.
-
الصيانة الشهرية:
- استبدال زيت مضخة التفريغ وتنظيف الشوائب الداخلية لجسم المضخة؛
- فحص أنبوب قياس الفراغ وتنظيفه ومعايرته؛
- التحقق من عناصر التسخين والمزدوجات الحرارية لضمان التوصيلات الآمنة والتشغيل العادي؛
- تنظيف خطوط أنابيب الغاز وتحديد أي نقاط تسرب؛
- إجراء تنظيف شامل للغرفة فراغ، وإجراء النقش أيون الأرجون إذا لزم الأمر.
-
الصيانة ربع السنوية:
- فحص مصدر التبخر وحالة المادة المستهدفة، واستبدال المواد المستهدفة وأوعية التبخر البالية أو المستنفدة؛
- معايرة جهاز قياس سماكة الفيلم ووحدة التحكم في التدفق الشامل لضمان الدقة؛
- فحص نظام التحكم الكهربائي، وتنظيف لوحات التحكم والحساسات، وربط الأسلاك.
- فحص نظام التبريد، وتنظيف الرواسب الداخلية في المبادل الحراري، واستبدال أنابيب مياه التبريد القديمة.
-
الصيانة السنوية:
- إجراء فحص شامل لتفكيك المعدات، واستبدال الأختام والمحامل والخيوط والمكونات الأخرى التي تتلف بسهولة؛
- فحص الدوارات الداخلية وشفرات مضخة التفريغ، وإصلاح الأجزاء البالية؛
- معايرة جميع الأدوات وأجهزة القياس لضمان دقة المعلمات؛
- إجراء اختبارات التشغيل بدون حمل والتحقق من صحة العملية على المعدات لضمان استيفائها لمعايير الأداء؛
- توفير التدريب المهني للمشغلين لتوحيد إجراءات التشغيل.
(3) الصيانة الخاصة (للمكونات المعرضة للفشل وتحت ظروف عمل محددة)
-
صيانة خاصة للمكونات المعرضة للتآكل:
- يجب تخزين المكونات المعرضة للتآكل، مثل حلقات الختم، والخيوط، والمواد المستهدفة، وقارب التبخر، وما إلى ذلك، مسبقًا مع قطع الغيار وفقًا لتكرار الاستخدام وحالة التآكل، واستبدالها في الوقت المناسب لتجنب إيقاف تشغيل المعدات بسبب تلف المكونات؛
- تحقق بانتظام من ظروف تركيب المكونات لضمان التثبيت السليم وتجنب الأخطاء الناجمة عن التثبيت غير السليم.
-
صيانة الحالة الخاصة:
- بالنسبة للمعدات التي تعمل في بيئات ذات درجة حرارة عالية، ورطوبة عالية، وبيئات متربة، يجب تقصير دورة الصيانة، وينبغي تنفيذ حماية الختم المعززة وأعمال التنظيف؛
- ينبغي زيادة وتيرة التفتيش على أنظمة التبريد وأنظمة التفريغ لمنع فشل المعدات الناجم عن العوامل البيئية؛
- يجب إجراء معالجات منتظمة ضد الرطوبة والغبار على المعدات لضمان جفافها الداخلي ونظافتها.
(4) احتياطات صيانة السلامة
-
قبل الصيانة،
يجب فصل جميع مصادر الطاقة للمعدات، ويجب إغلاق صمامات الغاز، ويجب تحرير الضغط داخل غرفة التفريغ للتأكد من أن المعدات في حالة آمنة. انتظر حتى تبرد المكونات ذات درجة الحرارة المرتفعة قبل متابعة العملية لتجنب الحروق.
-
أثناء عملية الصيانة،
يجب على المشغلين ارتداء القفازات الواقية والنظارات الواقية وغيرها من معدات الحماية لمنع تناثر شظايا الطلاء وملامسة الكواشف الكيميائية.
