خطاهای رایج ماشین های پوشش خلاء و استراتژی های نگهداری

تکنولوژی پوشش خلاء، به عنوان یک فناوری اصلی در زمینه تولید دقیق، به طور گسترده ای در الکترونیک، نوری، خودرو، هوافضا و صنایع دیگر استفاده می شود.مواد غیر فلزی و سایر مواد روی سطح زیربناها در محیط خلاء، ساخت فیلم با مقاومت در برابر فرسایش، جلوگیری از خوردگی و خواص نوریبا ساختارهای پیچیده و الزامات دقت بالاآنها شامل چندین ماژول اصلی مانند سیستم های خلاء، سیستم های پوشش، سیستم های کنترل الکتریکی و سیستم های کمکی هستند.تحت تاثیر عوامل مانند محیط زیستاز این رو، تجهیزات مستعد شکست های مختلفی هستند که نه تنها بر کیفیت پوشش و کارایی تولید تاثیر می گذارد بلکه ممکن است عمر خدمات تجهیزات را کوتاه کند. in-depth analysis of the common faults of vacuum coating machines and the formulation of scientific and standardized maintenance strategies are of great significance for ensuring stable production and reducing operation and maintenance costs.

این مقاله، بر اساس اصل کار و سناریوهای کاربردی ماشین های پوشش خلاء، به طور سیستماتیک تجلیات، علل و راه حل های معیوبیت های رایج مختلف را تجزیه و تحلیل می کند.و نقاط جامع نگهداری را خلاصه می کنداین کتاب مرجع برای اپراتورها و پرسنل تعمیرات مربوطه را فراهم می کند و به افزایش ثبات عملیات تجهیزات و بهره وری تولید کمک می کند.

منطق اصلی کار دستگاه پوشش خلاء این است که فشار داخل اتاق خلاء مهر و موم شده را به سطح خلاء مورد نیاز از طریق گروه پمپ خلاء کاهش دهد. سپس،با استفاده از روش هایی مانند تبخیر، اسپتر کردن و پوشش یون، مواد پوشش به حالت گازی یا پلاسما تبدیل می شود، اجازه می دهد تا به طور یکنواخت بر روی سطح بستر قرار گیرد و یک فیلم متراکم ایجاد کند.عملکرد عادی تجهیزات به عملکرد مهر و موم سیستم خلاء بستگی دارد.، ثبات سیستم پوشش، دقت سیستم کنترل الکتریکی و هماهنگی سیستم های کمکی.هر گونه ناهنجاری در هر ماژول منجر به خرابی تجهیزات یا کیفیت ناقص پوشش می شود..

خطاهای دستگاه پوشش خلاء عمدتا در چهار ماژول اصلی رخ می دهد: سیستم خلاء، سیستم پوشش، سیستم کنترل الکتریکی و سیستم کمکی.خطاهای سیستم خلاء و سیستم پوشش بیشترین میزان رخ دادن را دارند و به طور مستقیم بر اثر فرآیند تأثیر می گذارند.به همین دلیل باید به آن ها توجه ویژه ای داده شود.

سیستم خلاء جزء اصلی یک ماشین پوشش خلاء است. عملکرد اصلی آن حفظ یک محیط خلاء بالا در داخل اتاق است.تضمین رسوب صاف مواد پوشش و به حداقل رساندن تاثیر ناخالصی های هوا بر کیفیت لایه فیلماشتباهات رایج شامل عدم رسیدن به سطح خلاء تنظیم شده، کاهش ناگهانی سطح خلاء و عدم توانایی شروع پمپ خلاء است.

این شایع ترین خطا در سیستم خلاء است که به صورت نشان دادن یک اندازه گیری خلاء که به طور مداوم بالاتر از الزامات فرآیند پس از شروع تجهیزات است، نشان داده می شود.قادر به دستیابی به حالت خلاء بالا مورد نیاز برای پوشش نیستعلل اصلی شامل:

• پیری، ترک یا نصب نادرست حلقه مهر و موم که منجر به مهر و موم ضعیف حفره و نشت هوا می شود.
• اتصالات لوله های گسسته یا ترک های جزئی که باعث نشت خلاء می شوند.
• سوراخ های سوزن، نقص های جوش و یا آلودگی شدید داخلی در دیواره اتاق خلاء که بر کارایی استخراج خلاء تاثیر می گذارد.
• آلودگی، سطح روغن ناکافی یا فرسایش اجزای بدن پمپ در پمپ خلاء که منجر به کاهش ظرفیت پمپ خلاء می شود؛
• آلودگی، آسیب یا کالیبراسیون نادرست لوله سنج که منجر به انحراف در خواندن می شود.

راه حل:

• ابتدا حلقه مهر و موم را بررسی کنید. حلقه مهر و موم را به طور منظم تمیز کنید و هر 6 تا 12 ماه یکبار آن را تعویض کنید. اطمینان حاصل کنید که در طول نصب محکم و سالم است.
• برای پیدا کردن نقاط نشت، لوله های گسسته، ترک ها، سوراخ های تعمیر، و غیره، از یک آشکارساز نشت اسپکترومتر جرم هلیوم استفاده کنید و پس از تعمیر دوباره برای نشت بررسی کنید.
• مواد باقیمانده پوشش و ناخالصی های روی دیواره داخلی اتاق خلاء را به طور منظم تمیز کنید. در صورت لزوم آزمایشات فشار را انجام دهید.
• سطح روغن و کیفیت پمپ خلاء را بررسی کنید. روغن خلاء را هر 200 تا 500 ساعت کار جایگزین کنید، سطح روغن را بالاتر از خط مقیاس نگه دارید. اگر اجزای بدن پمپ فرسوده باشند،درست کردن یا تعویض کردن آنها در زمان.
• لوله اندازه گیری خلاء را به طور منظم تمیز کنید. هر 12 ماه یک بار آن را کالیبراسیون کنید. اگر آسیب دیده باشد بلافاصله آن را جایگزین کنید.

این به عنوان کاهش شدید سطح خلاء در طول کار تجهیزات نشان داده می شود که نمی تواند نیازهای فرآیند را برآورده کند.اغلب با نقص هایی مانند سوراخ های سوزن و لکه های رنگی در لایه پوشش همراه استعلل اصلی شامل:

• خرابی بدن پمپ، مانند گرم شدن پمپ پخش یا گیر شدن روتور پمپ مکانیکی؛
• آلودگی شدید در داخل اتاق خلاء، با فروریختن مواد باقیمانده که منجر به افزایش گاز می شود؛
• جریان آب خنک کننده ناکافی که باعث گرم شدن بیش از حد بدن پمپ می شود و بر کارایی استخراج خلاء تاثیر می گذارد.
• آسیب به گاسکت های مهر و موم در مسیر آب منبع تبخیر و منطقه مهر و موم الکترود ولتاژ بالا که منجر به نشت می شود؛
• خرابی در دریچه های بالا، دریچه های پیش، و غیره، که باعث شکست مهر و موم می شود.

راه حل:

• بلافاصله تمام منابع گرمایش را خاموش کنید، نیتروژن را برای شکستن خلاء شروع کنید و قبل از رفع مشکل صبر کنید تا اتاق خنک شود.
• وضعیت کار پمپ خلاء را بررسی کنید، پمپ پخش را سالانه تمیز کنید و روغن خاص را جایگزین کنید.جداش کن و درستش کن;
• اتاق خلاء را به طور منظم تمیز کنید. پس از هر 50 چرخه پوشش، برای حذف آلاینده های باقیمانده، بر روی اتاق حک کردن یون آرگون انجام دهید.
• چک کردن مدار آب خنک کننده برای اطمینان از اینکه جریان آب کمتر از 5 لیتری در دقیقه نیست، پاک کردن انسدادات در خط لوله و اطمینان از عملکرد عادی سیستم خنک کننده؛
• بسته بندی آسیب دیده را تعویض کنید، دریچه ها را برای اطمینان از بسته بندی قابل اعتماد بررسی و نگهداری کنید.

این حالت به صورت عدم پاسخ بدن پمپ پس از فشار دادن دکمه استارت به وجود می آید و نمی تواند وارد حالت پمپ خلاء شود. علل اصلی شامل:

• شکست برق، مانند ولتاژ ناپایدار، مدار کوتاه یا ذوب فیوز؛
• آسیب موتور یا محافظت از گرم شدن بیشتر
• آلودگی شدید روغن در داخل پمپ یا سطح ناکافی روغن که منجر به گیر شدن بدن پمپ می شود.
• نقص در رله ها و تماسگرها، با تماس های سوخته یا گیر کرده.

راه حل:

• اول از همه، خط های برق و ثبات ولتاژ را بررسی کنید. اطمینان حاصل کنید که نوسان ولتاژ در حدود ± 5٪ است. فیوز های منفجر شده را جایگزین کنید.
• اگر موتور بیش از حد گرم شود، صبر کنید تا بدن پمپ خنک شود و سپس آن را دوباره راه اندازی کنید. اگر موتور آسیب دیده باشد، بلافاصله آن را جایگزین کنید.
• سطح روغن و کیفیت پمپ خلاء را بررسی کنید. روغن آلوده را جایگزین کنید و آن را به سطح استاندارد پر کنید.
• رله ها و تماسگرها را بررسی کنید. قطعات معیوب را تعمیر کنید یا تعویض کنید تا هدایت طبیعی مدار تضمین شود.

سیستم پوشش مسئول تبدیل مواد پوشش به حالت گازی یا پلاسما و سپرده گذاری آن بر روی سطح بستر است.نقص های آن عمدتا به عنوان عدم انطباق با استانداردهای کیفیت لایه پوشش نشان می دهد، مانند جدا شدن لایه پوشش، ضخامت نابرابر و بدتر شدن کیفیت پوشش، که به طور مستقیم بر میزان صلاحیت محصولات تأثیر می گذارد.

این حالت به صورت جدا شدن لایه فیلم از سطح بستر و جدا شدن در تکه های بزرگ با چسبندگی بسیار ضعیف نشان داده می شود. علل اصلی شامل:

• آلودگی سطح بستر، مانند وجود لکه های روغن، رطوبت، گرد و غبار و سایر ناخالصی ها؛
• پختن و تمیز کردن ناکافی بستر قبل از پوشش، که منجر به یک لایه اکسید در سطح بستر می شود؛
• فشار بیش از حد در لایه فیلم که با ضریب گسترش حرارتی بستر مطابقت ندارد؛
• انحراف منبع تبخیر و موقعیت هدف اسپوتر، که منجر به رسوب لایه فیلم نامناسب می شود.
• و عملکرد غیر عادی منبع یون، با پاکسازی بمب گذاری پیش پوشش ناکافی.

راه حل:

• تقویت قبل از درمان بستر، با استفاده از تمیز کردن فوق صوت (آب دیونیزه + الکل) همراه با بمب گذاری یون (bias - 800V تا -1200V،مدت زمان 5 تا 15 دقیقه) برای اطمینان از تمیز بودن سطح بستر به سطح اتمی می رسد.;
• قبل از پوشش، زیربنای فلزی را به طور کامل بپزید، زیربنای فلزی را به درجه 150-200 درجه سانتیگراد گرم کنید تا فشار داخلی آزاد شود و زیربنای پلاستیکی را تحت 80 درجه سانتیگراد کنترل کنید تا از تغییر شکل جلوگیری شود.
• بهینه سازی پارامترهای فرآیند، تنظیم تطابق بین مواد پوشش و بستر برای کاهش استرس لایه فیلم؛
• تنظیم موقعیت منبع تبخیر و هدف، اطمینان از تراز با مرکز بستر، استفاده از وسایل ابزار برای تثبیت بستر، جلوگیری از انسداد
• وضعیت عملکرد منبع یون را بررسی کنید تا اطمینان حاصل شود که تمیز کردن قبل از بمب گذاری قبل از پوشش کامل است.

این به صورت انحراف بیش از ±5٪ در ضخامت لایه غشا در یک سطح بستر یا سطوح مختلف بستر نشان داده می شود.که الزامات فرآیند را برآورده نمی کندعلل اصلی شامل:

• انحراف منبع رسوب یا سرعت چرخش ناپایدار گلدان
• عدم تثبیت محکم یا مسدود شدن بستر، خرابی مکانیسم چرخش
• تداخل از میدان های مغناطیسی و الکتریکی که باعث انحراف پرتو می شود.
• خرابی در کالیبراسیون اندازه گیری ضخامت (برنامه کنترل کریستال) ، انحراف در موقعیت سنج یا آلودگی
• نوسانات پارامترهای فرآیند، مانند نرخ تبخیر ناپایدار و جریان گاز نامنظم.

راه حل:

• تنظیم موقعیت منبع رسوب به جهت تراز با مرکز بستر، بررسی سرعت چرخش خروجی، تعمیر هر گونه نقص در مکانیسم چرخش؛
• استفاده از وسایل نصب ابزار برای محکم کردن بستر، اجتناب از هر گونه مانع و اطمینان از چرخش یکنواخت بستر؛
• پارامترهای سیم پیچ الکترومغناطیسی را بررسی کنید، مسیر پرتو را بهینه کنید و تداخل الکترومغناطیسی را کاهش دهید.
• دستگاه کنترل کریستال را هر سه ماه یکبار با استفاده از ورق های ضخامت فیلم استاندارد کالیبراسیون کنید، سطح سنجه را تمیز کنید و سنجه را به موقعیت مطلوب 5-10 سانتی متر از بستر تنظیم کنید.
• ولتاژ منبع برق را برای اطمینان از سرعت تبخیر و جریان گاز پایدار پایدار کنید و خطای دقت اندازه گیری جریان گاز را در حدود ± 1٪ کنترل کنید.

این به عنوان سوراخ های سوزن ، لکه های رنگی ، مه و سایر نقص ها در لایه فیلم ظاهر می شود و شاخص های عملکردی مانند درخشش ، سختی و مقاومت در برابر فرسایش با استانداردها مطابقت ندارد.علل اصلی شامل::

• اتاق خلاء به طور کامل تخلیه نشده است و آلودگی های باقی مانده مانند بخار آب و اکسیژن وجود دارد.
• نشت هوا در طول فرآیند پوشش منجر به آلودگی گاز می شود.
• مواد فیلم رطوبت را جذب می کنند یا حاوی ناخالصی هستند و آلاینده ها در طول تبخیر و اسپوتر تولید می شوند.
• سیستم فیلامنت و پرتو غیرطبیعی است که منجر به یونیزاسیون ناکافی مواد پوشش می شود.
• سیستم گرمایش خراب می شود و باعث می شود دمای بستر به مقدار تنظیم شده نرسد یا بیش از حد نوسان کند.

راه حل:

• قبل از پوشش، اتاق خلاء را به فشار ≤ 5*10-4 Pa تخلیه کرده و پخت و پز را برای حذف گاز باقی مانده در اتاق خلاء انجام دهید.
• بررسی تمام رابط های مهر و موم، تعویض اجزای مسن مهر و موم برای جلوگیری از نشت هوا؛
• مواد پوشش را قبل از استفاده در اتاق خلاء برای از بین بردن رطوبت و ناخالصی ها از پیش ذوب کنید و مواد پوشش خالص واجد شرایط را انتخاب کنید.
• حالت رشته را بررسی کنید، رشته های سوخته یا قدیمی را جایگزین کنید، اطمینان حاصل کنید که موقعیت نصب در مرکز قرار دارد، پس از پیش از ذوب شدن محدوده قطب را به صفر تنظیم کنید و سپس شروع کنید.
• بررسی عناصر گرمایش، کنترلگر دما و ترموپول، تعمیر هر گونه مدار کوتاه یا مشکلات تماس ضعیف، تنظیم مجدد پارامترهای PID کنترلگر دما،تنظیم ترموپول به موقعیت مرکزی بستر، و سالانه کالیبراسیون کنید.

سیستم کنترل الکتریکی "مغز" ماشین پوشش خلاء است که مسئول هماهنگی عملکرد ماژول های مختلف است.شکست هاش عمدتاً به خاطر عدم پاسخگويي پنل کنترل ظاهر مي شوند، نمایش پارامترهای غیرطبیعی، و از دست دادن کنترل برنامه، که منجر به عدم توانایی تجهیزات در کار عادی می شود.

اگر پنل کنترل پاسخ نمی دهد یا نمایش پارامتر غیرطبیعی است، معمولاً به این دلیل است که صفحه کنترل مرطوب می شود یا با گرد و غبار پوشیده می شود، اتصال سنسور گسسته یا آسیب دیده است,راه حل: به طور منظم کابینت کنترل را با هوای فشرده خشک تمیز کنید تا مانع از رطوبت و گرد و غبار شدن صفحه کنترل شود؛ خطوط سنسور را بررسی کنید،تعمیر کنتاکتورهای گسسته، و سنسورهای معیوب را تعویض کنید؛ سیستم را دوباره راه اندازی کنید یا نرم افزار کنترل را دوباره نصب کنید تا عملکرد عادی برنامه را بازگرداند.زمانی که برنامه از کنترل خارج شده و پارامترهای فرآیند قابل تنظیم نیستند، معمولاً ناشی از خرابی کامپیوتر صنعتی PLC، قطع ارتباط یا خرابی اینورتر است. راه حل: وضعیت عملکرد PLC را بررسی کنید، خط های ارتباطی را عیب یابی کنید،مشکلات قطع ارتباط را تعمیر کنیدبررسی اینورتر، بررسی بار بیش از حد، ولتاژ بیش از حد، جریان بیش از حد و سایر اطلاعات هشدار و تعمیر یا تعویض قطعات معیوب.

سیستم های کمکی شامل سیستم خنک کننده، سیستم تامین گاز و غیره هستند. اگرچه آنها به طور مستقیم در فرآیند اصلی پوشش شرکت نمی کنند،آنها برای عملکرد عادی تجهیزات و کیفیت پوشش بسیار مهم هستند.اشتباهات رایج عبارتند از:

این به عنوان بیش از حد گرم شدن بدن پمپ، مواد هدف و اجزای گرم کننده در طول کار تجهیزات و حتی تحریک محافظت از بیش از حد گرم شدن و متوقف کردن ماشین نشان داده می شود.علل اصلی شامل::

• سطح آب بسیار پایین در آب خنک کننده، کیفیت آب ضعیف که منجر به کاهش بهره وری خنک کننده می شود؛
• انسداد یا خم شدن لوله خنک کننده، جریان آب ضعیف
• خرابی پمپ، گیر شدن مبادله گرما
• افتتاح نادرست یا بسته شدن تصادفی دریچه

راه حل ها:

• به طور منظم سطح آب آب خنک کننده را بررسی کنید، آب خنک کننده را دوباره پر کنید و آب خنک کننده را به طور منظم جایگزین کنید تا از رشد جلبک ها و پوست آنها جلوگیری شود.
• لوله های خنک کننده را از بین ببرید، لوله های خم شده را برای اطمینان از جریان صاف آب صاف کنید.
• بررسی وضعیت عملیاتی پمپ، تعمیر یا تعویض پمپ معیوب و تمیز کردن انسدادات در مبادله گرما؛
• درجه باز شدن دریچه ها را بررسی کنید تا اطمینان حاصل شود که کاملا باز هستند.

این حالت به صورت جریان گاز فرآیند ناپایدار و عدم توانایی در تامین آن به وجود می آید که منجر به قطع فرآیند پوشش یا انحراف در ترکیب لایه فیلم می شود. علل اصلی شامل:

• خرابی یا آسیب به کالیبراسیون کنترل کننده جریان جرم (MFC)
• انسداد یا نشت مسیر گاز
• عدم پاکی گاز و خرابی در کار کردن شیر کاهش فشار.

راه حل ها:

• تنظیم منظم کنترل کننده جریان جرم، تعمیر یا تعویض قطعات معیوب؛
• بررسی مسیر گاز، حذف انسدادات، شناسایی و محکم کردن نقاط نشت
• گاز فرآیند را با خلوص واجد شرایط انتخاب کنید، دریچه کاهش فشار را بررسی کنید و فشار پایدار را تضمین کنید.

نگهداری دستگاه های پوشش خلاء باید از اصل "پیشگیری اول، ترکیب پیشگیری و درمان" پیروی کند.نگهداری منظم و نگهداری ویژه، نقص های احتمالی را می توان به موقع تشخیص داد، که طول عمر خدمات تجهیزات را افزایش می دهد و تولید پایدار را تضمین می کند.با تمرکز ویژه بر اجزای مستعد فرسایش و سیستم های اصلی.

1. بازرسی قبل از راه اندازی:
   • بررسی کنید که آیا منبع برق و سیم کشی تجهیزات طبیعی است و آیا آسیب دیده یا شل شده است.
   • سطح روغن و کیفیت پمپ خلاء را بررسی کنید و اطمینان حاصل کنید که سطح روغن در مقیاس استاندارد است و روغن بدون گندگی شفاف است.
   • بررسی کنید که آیا حلقه های مهر و موم سالم و تمیز هستند و اینکه آیا پیری یا آسیب دیده است.
   • بررسی سیستم خنک کننده برای اطمینان از اینکه آب خنک کننده کافی است و جریان آب صاف است.
   • بررسی سیستم تامین گاز برای اطمینان از ثبات فشار گاز و عدم نشت در مسیر گاز.
   • پارامترهای پنل کنترل را بررسی کنید تا تأیید کنید که تجهیزات در حالت آماده ی عادی هستند.
2. نگهداری پس از خاموش شدن:
   • تمام منابع برق، دریچه های گاز و دریچه های آب خنک کننده تجهیزات را خاموش کنید.
   • دیواره های داخلی اتاق خلاء، حامل قطعه کار و پنجره مشاهده را تمیز کنید.استفاده از یک پارچه بدون پشم که در الکل ایزوپروپیل غوطه ور شده است برای حذف مواد پوششی و ناخالصی های باقی مانده;
   • تمیز کردن گرد و غبار روی سطح تجهیزات، سازمان دهی مدارها و لوله کشی؛
   • وضعیت عملیاتی تجهیزات، خرابی ها و پارامترهای فرآیند را ثبت کنید و یک فایل عملیاتی ایجاد کنید.

1. نگهداری هفتگی:
   • وضعیت کار پمپ خلاء را بررسی کنید، به هر صدا یا لرزش غیرطبیعی از بدن پمپ گوش دهید و گرد و غبار سطح بدن پمپ را تمیز کنید.
   • مهر و موم ها را بررسی کنید، حلقه های مهر و موم را با اتانول بدون آب تمیز کنید، روغن روان کننده ویژه را برای افزایش عملکرد مهر و موم استفاده کنید.
   • لوله خنک کننده رو چک کن، انسدادات فیلتر رو پاک کن
   • دستگاه های پایه را بررسی کنید تا اطمینان حاصل شود که آنها به خوبی ثابت شده و بدون تغییر شکل هستند.
2. هزینه ی نگهداری ماهانه:
   • روغن پمپ خلاء را جایگزین کنید و ناخالصی های داخلی بدن پمپ را تمیز کنید.
   • بررسی لوله اندازه گیری خلاء، تمیز کردن و کالیبراسیون آن
   • بررسی عناصر گرمایشی و ترموپول ها برای اطمینان از اتصال امن و عملکرد عادی؛
   • لوله های گاز را تمیز کنید و نقاط نشت را شناسایی کنید.
   • تمیز کردن کامل اتاق خلاء و اگر لازم باشد، حک کردن یون آرگون را انجام دهید.
3. نگهداری سه ماهه:
   • بررسی منبع تبخیر و وضعیت مواد هدف، تعویض مواد هدف و ظروف تبخیر فرسوده یا کم مصرف؛
   • کالیبراسیون اندازه گیری ضخامت فیلم و کنترل کننده جریان جرم برای اطمینان از دقت
   • سیستم کنترل الکتریکی را بررسی کنید، تخته های کنترل و سنسورها را تمیز کنید و اتصالات سیم کشی را محکم کنید.
   • سیستم خنک کننده را بررسی کنید، ذخایر داخلی در مبادله گرما را تمیز کنید و لوله های قدیمی آب خنک کننده را جایگزین کنید.
4. هزینه ی سالیانه:
   • انجام یک بازرسی جامع از جداسازی تجهیزات، تعویض مهر و موم های فرسوده شده، لوله کشی ها، رشته ها و سایر اجزای به راحتی آسیب دیده؛
   • بررسی روتورهای داخلی و تیغه های پمپ خلاء، تعمیر قطعات فرسوده؛
   • کالیبراسیون تمام ابزارها و مترها برای اطمینان از پارامترهای دقیق؛
   • انجام آزمایشات عملیاتی بدون بار و اعتباربخشی فرآیند بر روی تجهیزات تا اطمینان حاصل شود که آنها با استانداردهای عملکرد مطابقت دارند.
   • ارائه آموزش حرفه ای به اپراتورها برای استاندارد کردن روش های عملیاتی.

1. نگهداری ویژه اجزای مستعد فرسایش:
   • اجزای مستعد به فرسایش، مانند حلقه های مهر و موم، رشته، مواد هدف، قایق تبخیر و غیره، باید با قطعات جایگزین با توجه به فرکانس استفاده و وضعیت فرسایش، ذخیره شوند.و در زمان جایگزین برای جلوگیری از خاموش کردن تجهیزات به دلیل آسیب به قطعات;
   • به طور منظم شرایط نصب قطعات را برای اطمینان از نصب صحیح و جلوگیری از خرابی ناشی از نصب نادرست بررسی کنید.
2. نگهداری در شرایط خاص:
   • برای تجهیزات که در محیط های با دمای بالا، رطوبت بالا و گرد و غبار کار می کنند، چرخه تعمیرات باید کوتاه شود و حفاظت از مهر و موم و کار تمیز کردن بیشتر انجام شود.
   • به منظور جلوگیری از خرابی تجهیزات ناشی از عوامل محیطی، باید تعداد بازرسی سیستم های خنک کننده و سیستم های خلاء افزایش یابد.
   • برای اطمینان از خشکی و تمیز بودن داخلی تجهیزات باید به طور منظم از آب و گرد و غبار محافظت شود.

1. قبل از تعمیرات

   تمام منابع برق تجهیزات باید قطع شوند، دریچه های گاز باید بسته شوند و فشار داخل اتاق خلاء باید آزاد شود تا اطمینان حاصل شود که تجهیزات در حالت امن هستند.صبر کنید تا قطعات با دمای بالا برای خنک شدن قبل از ادامه با عملیات برای جلوگیری از سوختگی.

2. در طول فرآیند نگهداری،

   اپراتورها باید دستکش های محافظ، عینک و سایر تجهیزات محافظتی را برای جلوگیری از پاشیدن قطعات پوشش و تماس با واکنش های شیمیایی بپوشند.