ভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিনের সাধারণ ত্রুটি এবং রক্ষণাবেক্ষণ কৌশল

ভ্যাকুয়াম লেপ প্রযুক্তি, যথার্থ উত্পাদন ক্ষেত্রে একটি মূল প্রযুক্তি হিসাবে, ইলেকট্রনিক্স, অপটিক্স, অটোমোটিভ, এয়ারস্পেস এবং অন্যান্য শিল্পে ব্যাপকভাবে প্রয়োগ করা হয়। এটি ধাতু জমা দেয়,ভ্যাকুয়াম পরিবেশে স্তরগুলির পৃষ্ঠের উপর অ-ধাতু এবং অন্যান্য উপকরণএই প্রক্রিয়া বাস্তবায়নের জন্য ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনগুলি মূল সরঞ্জাম।জটিল কাঠামো এবং উচ্চ নির্ভুলতা প্রয়োজনীয়তা সঙ্গে. তারা একাধিক কোর মডিউল যেমন ভ্যাকুয়াম সিস্টেম, লেপ সিস্টেম, বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ সিস্টেম এবং সহায়ক সিস্টেম জুড়ে। দীর্ঘমেয়াদী উচ্চ লোড অপারেশন সময়,পরিবেশের মতো কারণের দ্বারা প্রভাবিতঅপারেশন এবং পরিধান, সরঞ্জাম বিভিন্ন ব্যর্থতা প্রবণ, যা শুধুমাত্র লেপ মান এবং উত্পাদন দক্ষতা প্রভাবিত কিন্তু এছাড়াও সরঞ্জাম সেবা জীবন সংক্ষিপ্ত করতে পারে। in-depth analysis of the common faults of vacuum coating machines and the formulation of scientific and standardized maintenance strategies are of great significance for ensuring stable production and reducing operation and maintenance costs.

এই নিবন্ধটি ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনগুলির কাজের নীতি এবং ব্যবহারিক প্রয়োগের দৃশ্যের উপর ভিত্তি করে বিভিন্ন সাধারণ ত্রুটির প্রকাশ, কারণ এবং সমাধানগুলি পদ্ধতিগতভাবে বিশ্লেষণ করে,এবং ব্যাপক রক্ষণাবেক্ষণ পয়েন্ট সংক্ষিপ্ত বিবরণএটি সংশ্লিষ্ট অপারেটর এবং রক্ষণাবেক্ষণ কর্মীদের জন্য রেফারেন্স প্রদান করে, যা সরঞ্জাম অপারেশন এবং উৎপাদন দক্ষতার স্থিতিশীলতা বাড়াতে সহায়তা করে।

ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনের মূল কাজ যৌক্তিকতা ভ্যাকুয়াম পাম্প গ্রুপের মাধ্যমে প্রয়োজনীয় ভ্যাকুয়াম স্তরে সিল ভ্যাকুয়াম চেম্বার ভিতরে চাপ কমাতে হয়। তারপর,বাষ্পীভবনের মতো পদ্ধতি ব্যবহার করে, স্পটারিং, এবং আইওন প্লাটিং, লেপ উপাদানটি গ্যাস বা প্লাজমা অবস্থায় রূপান্তরিত হয়, এটিকে সমতুল্যভাবে স্তর পৃষ্ঠের উপর জমা দেওয়ার অনুমতি দেয় এবং একটি ঘন ফিল্ম গঠন করে।সরঞ্জামের স্বাভাবিক কাজটি ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের সিলিং পারফরম্যান্সের উপর নির্ভর করে, লেপ সিস্টেমের স্থিতিশীলতা, বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ সিস্টেমের নির্ভুলতা এবং সহায়ক সিস্টেমগুলির সমন্বয়।যে কোন মডিউলের কোনো অস্বাভাবিকতা সরঞ্জাম ব্যর্থতা বা নিম্ন মানের লেপ মানের হতে হবে.

ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনের ত্রুটিগুলি মূলত চারটি প্রধান মডিউলে ঘটেঃ ভ্যাকুয়াম সিস্টেম, লেপ সিস্টেম, বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা এবং সহায়ক সিস্টেম। তাদের মধ্যে,ভ্যাকুয়াম সিস্টেম এবং লেপ সিস্টেমের ত্রুটিগুলি সর্বাধিক ঘটার হার রয়েছে এবং প্রক্রিয়া প্রভাবকে সরাসরি প্রভাবিত করেএজন্য তাদের বিশেষ যত্ন নেওয়া প্রয়োজন।

ভ্যাকুয়াম সিস্টেম একটি ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনের মূল উপাদান। এর প্রধান ফাংশন হল চেম্বারের মধ্যে একটি উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিবেশ বজায় রাখা,লেপ উপাদান মসৃণ জমা নিশ্চিত এবং ফিল্ম স্তর মানের উপর বায়ু অমেধ্য প্রভাব কমাতে. সাধারণ ত্রুটিগুলির মধ্যে রয়েছে সেট ভ্যাকুয়াম স্তরে পৌঁছানোর ব্যর্থতা, ভ্যাকুয়াম স্তরের হঠাৎ পতন এবং ভ্যাকুয়াম পাম্পটি চালু করতে অক্ষমতা।

এটি ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের সবচেয়ে সাধারণ ত্রুটি, যা ভ্যাকুয়াম গেইম দ্বারা প্রদর্শিত হয় যা সরঞ্জামটি চালু হওয়ার পরে প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তার তুলনায় ধারাবাহিকভাবে উচ্চতর মান দেখায়,লেপ জন্য প্রয়োজনীয় উচ্চ ভ্যাকুয়াম অবস্থা অর্জন করতে অক্ষমএর প্রধান কারণগুলি হল:

• সিলিং রিংয়ের পক্বতা, ফাটল বা অনুপযুক্ত ইনস্টলেশন, যার ফলে গহ্বর সিলিং এবং বায়ু ফুটো দুর্বল হয়;
• ফাঁকা পাইপ সংযোগ বা ছোটখাটো ফাটল যা ভ্যাকুয়াম ফুটো সৃষ্টি করে;
• ইগল হোলস, ওয়েল্ডিং ত্রুটি বা ভ্যাকুয়াম চেম্বারের দেয়ালের গুরুতর অভ্যন্তরীণ দূষণ যা ভ্যাকুয়াম এক্সট্রাকশন দক্ষতা প্রভাবিত করে;
• ভ্যাকুয়াম পাম্পে দূষণ, পর্যাপ্ত তেলের মাত্রা বা পাম্পের দেহের উপাদানগুলির পরা, যা ভ্যাকুয়াম পাম্পিং ক্ষমতা হ্রাস করে;
• পরিমাপ টিউব দূষণ, ক্ষতি বা অবৈধ ক্যালিব্রেশন, যার ফলে রিডিং বিচ্যুতি হয়।

সমাধানঃ

• প্রথমত, সিলিং রিংটি পরীক্ষা করুন। সিলিং রিংটি নিয়মিত পরিষ্কার করুন এবং প্রতি 6-12 মাসে এটি প্রতিস্থাপন করুন। ইনস্টলেশনের সময় একটি টাইট এবং ক্ষতিগ্রস্ত ফিট নিশ্চিত করুন।
• হিলিয়াম ভর স্পেকট্রোমিটার ফুটো ডিটেক্টর ব্যবহার করে ফুটো পয়েন্টগুলি সনাক্ত করুন, ফাঁকা পাইপলাইনগুলি, মেরামত ফাটল, পিনহোলস ইত্যাদি টানুন এবং মেরামতের পরে ফুটোগুলির জন্য আবার পরীক্ষা করুন।
• নিয়মিতভাবে ভ্যাকুয়াম চেম্বারের অভ্যন্তরীণ দেয়ালের অবশিষ্ট আবরণ উপাদান এবং অমেধ্য পরিষ্কার করুন। প্রয়োজন হলে চাপ পরীক্ষা পরিচালনা করুন।
• ভ্যাকুয়াম পাম্পের তেল স্তর এবং গুণমান পরীক্ষা করুন। 200-500 কাজের ঘন্টা প্রতি ভ্যাকুয়াম তেল প্রতিস্থাপন, স্কেল লাইন উপরে তেল স্তর রাখা। যদি পাম্প শরীরের উপাদান পরা হয়,সময়মতো মেরামত বা প্রতিস্থাপন.
• ভ্যাকুয়াম গেইম টিউবটি নিয়মিত পরিষ্কার করুন। প্রতি ১২ মাসে একবার এটিকে ক্যালিব্রেট করুন। ক্ষতিগ্রস্ত হলে তা অবিলম্বে প্রতিস্থাপন করুন।

এটি সরঞ্জামটির ক্রিয়াকলাপের সময় ভ্যাকুয়াম স্তরের তীব্র হ্রাস হিসাবে প্রকাশিত হয়, যা প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে ব্যর্থ হয়।এটি প্রায়শই আবরণ স্তরে পিনহোল এবং রঙের দাগের মতো ত্রুটিগুলির সাথে থাকেএর প্রধান কারণগুলি হল:

• পাম্পের শরীরের ত্রুটি, যেমন ডিফিউশন পাম্পের অত্যধিক উত্তাপ বা যান্ত্রিক পাম্পের রোটারের জ্যামিং;
• ভ্যাকুয়াম চেম্বারের ভিতরে গুরুতর দূষণ, অবশিষ্ট পদার্থের উষ্ণায়ন যা গ্যাসের বৃদ্ধি ঘটায়;
• অপ্রতুল শীতল জল প্রবাহ, যা পাম্পের দেহকে অতিরিক্ত গরম করে এবং ভ্যাকুয়াম এক্সট্রাকশনের দক্ষতাকে প্রভাবিত করে;
• বাষ্পীভবনের উৎস জলপথ এবং উচ্চ-ভোল্টেজ ইলেক্ট্রোড সিলিং এলাকার সিলিং গ্যাসেটের ক্ষতি, যার ফলে ফুটো হয়;
• উচ্চতর ভালভ, প্রাক-ভালভ ইত্যাদির ত্রুটি যা সিলিং ব্যর্থতার কারণ হয়।

সমাধানঃ

• তাৎক্ষণিকভাবে সমস্ত গরম উত্স বন্ধ করুন, ভ্যাকুয়াম ভাঙ্গার জন্য নাইট্রোজেন চালু করুন এবং ত্রুটি সমাধানের আগে চেম্বারটি শীতল হওয়ার জন্য অপেক্ষা করুন;
• ভ্যাকুয়াম পাম্পের অপারেশন অবস্থা পরীক্ষা করুন, বার্ষিক ছড়িয়ে পড়া পাম্প পরিষ্কার করুন এবং বিশেষ তেল প্রতিস্থাপন করুন। যদি যান্ত্রিক পাম্প আটকে যায় বা অস্বাভাবিক শব্দ করে,সময়মতো ভেঙে ফেলুন এবং মেরামত করুন;
• ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি নিয়মিত পরিষ্কার করুন। প্রতি ৫০টি লেপ চক্রের পরে, অবশিষ্ট দূষণকারী পদার্থ অপসারণের জন্য চেম্বারে আর্গন আয়ন ইটিং করুন।
• ঠান্ডা পানির সার্কিটটি পরীক্ষা করুন যাতে নিশ্চিত হয় যে প্রবাহের হার 5L/মিনিটের কম নয়, পাইপলাইনে ব্লকগুলি পরিষ্কার করুন এবং শীতল সিস্টেমের স্বাভাবিক কাজ নিশ্চিত করুন;
• ক্ষতিগ্রস্ত সিলিং সিলিং প্রতিস্থাপন করুন, নির্ভরযোগ্য সিলিং নিশ্চিত করার জন্য ভালভগুলি পরীক্ষা করুন এবং বজায় রাখুন।

এটি স্টার্ট বোতাম টিপার পরে পাম্পের দেহ থেকে কোনও প্রতিক্রিয়া হিসাবে প্রকাশিত হয় এবং এটি ভ্যাকুয়াম পাম্পিং অবস্থায় প্রবেশ করতে পারে না। প্রধান কারণগুলির মধ্যে রয়েছেঃ

• বিদ্যুৎ ব্যর্থতা, যেমন অস্থির ভোল্টেজ, সার্কিট শর্ট সার্কিট, বা ফিউজ গলানো;
• মোটর ক্ষতি বা অতিরিক্ত উত্তাপ সুরক্ষা সক্রিয়;
• পাম্পের ভিতরে তেলের গুরুতর দূষণ বা পর্যাপ্ত তেলের স্তর নেই, যার ফলে পাম্পের দেহ আটকে যায়;
• রিলে এবং কন্টাক্টরগুলির ত্রুটি, পুড়ে যাওয়া বা আটকে থাকা যোগাযোগের সাথে।

সমাধানঃ

• প্রথমে বিদ্যুৎ লাইন এবং ভোল্টেজ স্থিতিশীলতা পরীক্ষা করুন। নিশ্চিত করুন যে ভোল্টেজ ওঠানামা ± 5% এর মধ্যে রয়েছে। ফাটা ফিউজ প্রতিস্থাপন করুন।
• যদি মোটরটি অতিরিক্ত গরম হয়, পাম্পের দেহটি শীতল হওয়ার জন্য অপেক্ষা করুন এবং তারপরে এটি পুনরায় চালু করুন। যদি মোটরটি ক্ষতিগ্রস্থ হয় তবে তা অবিলম্বে প্রতিস্থাপন করুন।
• ভ্যাকুয়াম পাম্পের তেলের মাত্রা এবং গুণমান পরীক্ষা করুন। দূষিত ভ্যাকুয়াম তেল প্রতিস্থাপন করুন এবং এটিকে স্ট্যান্ডার্ড স্তরে পুনরায় পূরণ করুন।
• রিলে এবং কনট্যাক্টরগুলি পরীক্ষা করুন। স্বাভাবিক সার্কিট পরিবাহিতা নিশ্চিত করার জন্য ত্রুটিযুক্ত উপাদানগুলি মেরামত করুন বা প্রতিস্থাপন করুন।

লেপ সিস্টেম লেপ উপাদানকে গ্যাস বা প্লাজমা অবস্থায় রূপান্তর করে এবং এটিকে স্তর পৃষ্ঠের উপর জমা দেয়।এর ত্রুটিগুলি মূলত লেপ স্তরের মানের মানগুলির সাথে মানানসই নয় বলে প্রকাশ করে, যেমন লেপ স্তর বিচ্ছিন্নতা, অসামান্য বেধ এবং লেপের মানের অবনতি, যা সরাসরি পণ্যগুলির যোগ্যতার হারকে প্রভাবিত করে।

এটি সাবস্ট্র্যাট পৃষ্ঠ থেকে ফিল্ম স্তর বিচ্ছিন্নতা এবং অত্যন্ত দরিদ্র সংযুক্তি সহ বড় প্যাচগুলিতে খোসাফেরা হিসাবে প্রকাশিত হয়। প্রধান কারণগুলির মধ্যে রয়েছেঃ

• স্তর পৃষ্ঠের দূষণ, যেমন তেলের দাগ, আর্দ্রতা, ধুলো এবং অন্যান্য অমেধ্যের উপস্থিতি
• লেপ দেওয়ার আগে সাবস্ট্র্যাটটি পর্যাপ্তভাবে বেক করা এবং পরিষ্কার করা হয়নি, যার ফলে সাবস্ট্র্যাট পৃষ্ঠের উপর অক্সাইড স্তর রয়েছে;
• ফিল্ম স্তরে অত্যধিক চাপ, যা স্তরটির তাপীয় প্রসারণ সহগের সাথে মেলে না;
• বাষ্পীভবনের উৎস এবং স্পটারিংয়ের লক্ষ্য অবস্থানের বিচ্যুতি, যা অসামান্য ফিল্ম স্তর অবসারণের দিকে পরিচালিত করে;
• এবং আইওন সোর্সের অস্বাভাবিক অপারেশন, অপর্যাপ্ত প্রাক লেপ বোমা পরিষ্কারের সাথে।

সমাধানঃ

• সাবস্ট্র্যাটের প্রাক চিকিত্সা জোরদার করুন, অ্যাল্ট্রাসোনিক পরিষ্কারের ব্যবহার করে (ডিওনিজাইজড জল + অ্যালকোহল) আইওন বোমা হামলার সাথে মিলিত (বিয়াস - 800V থেকে -1200V,সময়কাল ৫-১৫ মিনিট) যাতে সাবস্ট্র্যাট পৃষ্ঠের পরিচ্ছন্নতা পরমাণু স্তরে পৌঁছায়;
• লেপ দেওয়ার আগে, প্লাস্টিকের স্তরটি সম্পূর্ণরূপে বেক করুন, অভ্যন্তরীণ চাপ মুক্ত করার জন্য ধাতব স্তরটি 150-200 °C এ গরম করুন এবং বিকৃতি রোধ করতে প্লাস্টিকের স্তরটি 80 °C এর নিচে নিয়ন্ত্রণ করুন।
• প্রসেস প্যারামিটার অপ্টিমাইজ করা, ফিল্ম স্তরের চাপ কমাতে লেপ উপাদান এবং স্তর মধ্যে মিল সামঞ্জস্য;
• বাষ্পীভবনের উৎস এবং লক্ষ্যবস্তুর অবস্থান সামঞ্জস্য করুন, স্তরটির কেন্দ্রের সাথে সারিবদ্ধতা নিশ্চিত করুন, স্তরটি স্থির করতে টুলিং ফিক্সচার ব্যবহার করুন, বাধা এড়ান;
• লেপ দেওয়ার আগে বোমাবর্ষণের আগে পরিষ্কার করা সম্পূর্ণ হয়েছে কিনা তা নিশ্চিত করার জন্য আয়ন উত্সের অপারেশন অবস্থা পরীক্ষা করুন।

এটি একই স্তর পৃষ্ঠের বা বিভিন্ন স্তর পৃষ্ঠের মেমব্রেন স্তরের বেধের ± 5% এর বেশি বিচ্যুতির মতো প্রকাশিত হয়,যা প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে নাএর প্রধান কারণগুলি হল:

• জমাট বাঁধার উৎসের বিচ্যুতি বা ক্রুজিলের অস্থির ঘূর্ণন গতি;
• স্তরটি দৃঢ়ভাবে স্থির না হওয়া বা বাধা দেওয়া, ঘূর্ণন যন্ত্রের ত্রুটি;
• চৌম্বকীয় এবং বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র থেকে হস্তক্ষেপ যা কিরণ বিঘ্ন ঘটায়;
• পুরুমিটার (ক্রিস্টাল নিয়ন্ত্রণ যন্ত্র) এর ক্যালিব্রেশনের ত্রুটি, প্রোব অবস্থানের বিচ্যুতি বা দূষণ;
• প্রসেস পরামিতির পরিবর্তন, যেমন অস্থির বাষ্পীভবন হার এবং অসম গ্যাস প্রবাহ।

সমাধানঃ

• অবতরণ উৎসের অবস্থানকে স্তরটির কেন্দ্রের সাথে সারিবদ্ধ করার জন্য সামঞ্জস্য করুন, গর্তের ঘূর্ণন গতি পরীক্ষা করুন, ঘূর্ণন যন্ত্রের কোনও ত্রুটি মেরামত করুন;
• কোন বাধা এড়াতে এবং সাবস্ট্র্যাটের অভিন্ন ঘূর্ণন নিশ্চিত করার জন্য সাবস্ট্র্যাটের সুরক্ষার জন্য টুলিং ফিক্সচার ব্যবহার করুন।
• ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক কয়েলগুলির পরামিতি পরীক্ষা করুন, রশ্মির গতিপথ অনুকূল করুন এবং ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক হস্তক্ষেপ হ্রাস করুন;
• স্ট্যান্ডার্ড ফিল্ম বেধের শীট ব্যবহার করে প্রতি চতুর্থাংশে স্ফটিক নিয়ামক যন্ত্রটি ক্যালিব্রেট করুন, জোনের পৃষ্ঠ পরিষ্কার করুন এবং জোনকে 5-10 সেমি থেকে সর্বোত্তম অবস্থানে সামঞ্জস্য করুন;
• স্থিতিশীল বাষ্পীভবন হার এবং গ্যাস প্রবাহ হার নিশ্চিত করার জন্য পাওয়ার সাপ্লাই ভোল্টেজ স্থিতিশীল করুন এবং ± 1% এর মধ্যে গ্যাস প্রবাহ মিটারের নির্ভুলতার ত্রুটি নিয়ন্ত্রণ করুন।

এটি ফিল্ম স্তরে পিনহোল, রঙের দাগ, কুয়াশা এবং অন্যান্য ত্রুটি হিসাবে প্রকাশিত হয় এবং চকচকেতা, কঠোরতা এবং পরিধান প্রতিরোধের মতো পারফরম্যান্স সূচকগুলি মানগুলি পূরণ করে না।এর প্রধান কারণগুলি হল:

• ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি সম্পূর্ণরূপে খালি করা হয়নি এবং জলীয় বাষ্প এবং অক্সিজেনের মতো অবশিষ্ট অমেধ্য রয়েছে;
• লেপ প্রক্রিয়ার সময় বায়ু ফুটো গ্যাস দূষণের দিকে পরিচালিত করে;
• ফিল্ম উপাদান আর্দ্রতা শোষণ করে বা অশুচি পদার্থ ধারণ করে এবং বাষ্পীভবন এবং স্পটারিংয়ের সময় দূষণকারী পদার্থ উৎপন্ন হয়;
• ফিলামেন্ট এবং রশ্মি সিস্টেম অস্বাভাবিক, যার ফলে লেপ উপাদানের অপর্যাপ্ত আয়োনাইজেশন হয়;
• গরম করার সিস্টেম ব্যর্থ হয়, যার ফলে স্তর তাপমাত্রা সেট মান পৌঁছাতে ব্যর্থ হয় বা অত্যধিক fluctuates।

সমাধানঃ

• লেপ দেওয়ার আগে, ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি ≤ 5*10−4 Pa চাপে খালি করুন এবং ভ্যাকুয়াম চেম্বারে অবশিষ্ট গ্যাস অপসারণের জন্য বেকিং করুন;
• সমস্ত সিলিং ইন্টারফেস পরিদর্শন করুন, বায়ু ফুটো প্রতিরোধের জন্য পুরানো সিলিং উপাদানগুলি প্রতিস্থাপন করুন;
• আর্দ্রতা এবং অমেধ্য অপসারণের জন্য ব্যবহারের আগে ভ্যাকুয়াম চেম্বারে লেপ উপাদানটি প্রাক-পাথর করুন এবং যোগ্যতাসম্পন্ন বিশুদ্ধ লেপ উপাদান নির্বাচন করুন;
• ফিলামেন্টের অবস্থা পরীক্ষা করুন, পুড়ে যাওয়া বা পুরানো ফিলামেন্টগুলি প্রতিস্থাপন করুন, ইনস্টলেশন অবস্থানটি কেন্দ্রীভূত করা নিশ্চিত করুন, প্রাক গলানোর পরে রাশির সীমাবদ্ধকারীকে শূন্যে পুনরায় সেট করুন এবং তারপরে শুরু করুন;
• গরম করার উপাদান, তাপমাত্রা নিয়ামক এবং থার্মোকপল পরিদর্শন করুন, কোনও শর্ট সার্কিট বা খারাপ যোগাযোগের সমস্যাগুলি মেরামত করুন, তাপমাত্রা নিয়ামকের পিআইডি পরামিতিগুলি পুনরায় সেট করুন,থার্মোকপলকে সাবস্ট্র্যাটের কেন্দ্রীয় অবস্থানে সামঞ্জস্য করুন, এবং বার্ষিক ক্যালিব্রেট করুন।

বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থাটি ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনের "মস্তিষ্ক", যা বিভিন্ন মডিউলগুলির ক্রিয়াকলাপ সমন্বয় করার জন্য দায়ী।এর ব্যর্থতা প্রধানত অপারেশন প্যানেলের প্রতিক্রিয়া না হিসাবে প্রকাশিত হয়, অস্বাভাবিক পরামিতি প্রদর্শন, এবং প্রোগ্রাম失控, যার ফলে সরঞ্জাম স্বাভাবিকভাবে কাজ করতে অক্ষম।

যদি অপারেশন প্যানেল সাড়া না বা পরামিতি প্রদর্শন অস্বাভাবিক হয়, এটি সাধারণত নিয়ন্ত্রণ বোর্ড ভিজা বা ধুলো দিয়ে আচ্ছাদিত হচ্ছে, সেন্সর সংযোগ অবাধে বা ক্ষতিগ্রস্ত হচ্ছে দ্বারা সৃষ্ট হয়,সমাধানঃ কন্ট্রোল বোর্ড ভিজা এবং ধুলো থেকে রক্ষা করার জন্য শুকনো সংকুচিত বায়ু দিয়ে কন্ট্রোল ক্যাবিনেট নিয়মিত পরিষ্কার করুন; সেন্সর লাইন চেক করুন,ফ্রি সংযোগকারী মেরামত, এবং ত্রুটিপূর্ণ সেন্সর প্রতিস্থাপন; সিস্টেম পুনরায় চালু বা স্বাভাবিক প্রোগ্রাম অপারেশন পুনরুদ্ধার করার জন্য নিয়ন্ত্রণ সফ্টওয়্যার পুনরায় ইনস্টল করুন।যখন প্রোগ্রাম নিয়ন্ত্রণের বাইরে এবং প্রক্রিয়া পরামিতি সামঞ্জস্য করা যাবে না, এটি সাধারণত পিএলসি শিল্প কম্পিউটার ব্যর্থতা, যোগাযোগের বিচ্ছিন্নতা, বা ইনভার্টার ব্যর্থতা দ্বারা সৃষ্ট হয়। সমাধানঃ পিএলসি অপারেশন অবস্থা পরীক্ষা করুন, যোগাযোগ লাইন ত্রুটি সমাধান,যোগাযোগ বিচ্ছিন্নতা সমস্যা মেরামত; ইনভার্টার পরীক্ষা করুন, ওভারলোড, ওভারভোল্টেজ, ওভারকরেন্ট এবং অন্যান্য এলার্ম তথ্য তদন্ত করুন এবং ত্রুটিপূর্ণ উপাদানগুলি মেরামত বা প্রতিস্থাপন করুন।

সহায়ক সিস্টেমগুলির মধ্যে রয়েছে শীতল সিস্টেম, গ্যাস সরবরাহ ব্যবস্থা ইত্যাদি। যদিও তারা সরাসরি লেপের মূল প্রক্রিয়াতে অংশগ্রহণ করে না,এগুলি সরঞ্জামগুলির স্বাভাবিক ক্রিয়াকলাপ এবং লেপের গুণমানের জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণসাধারণ ত্রুটিগুলি নিম্নরূপঃ

এটি সরঞ্জাম অপারেশন চলাকালীন পাম্পের দেহ, লক্ষ্য উপাদান এবং গরম করার উপাদানগুলির অতিরিক্ত উত্তাপ হিসাবে প্রকাশিত হয় এবং এমনকি অতিরিক্ত উত্তাপ সুরক্ষা এবং মেশিন বন্ধ করে দেয়।এর প্রধান কারণগুলি হল:

• ঠান্ডা পানিতে পানির মাত্রা খুব কম, পানির গুণমান খারাপ, যার ফলে ঠান্ডা করার দক্ষতা কমে যায়;
• ঠান্ডা করার পাইপলাইনের ব্লক বা বাঁক, খারাপ জল প্রবাহ;
• পাম্প ব্যর্থতা, হিট এক্সচেঞ্জার ব্লক;
• ভুলভাবে ভ্যালভ খোলা বা দুর্ঘটনাক্রমে বন্ধ করা।

সমাধান:

• নিয়মিতভাবে ঠান্ডা জলের পানির মাত্রা পরীক্ষা করুন, ঠান্ডা জল পুনরায় পূরণ করুন এবং নিয়মিতভাবে ঠান্ডা জল প্রতিস্থাপন করুন যাতে শৈবাল বৃদ্ধি এবং স্কেলিং প্রতিরোধ করা যায়;
• ঠান্ডা করার পাইপলাইনের ব্লকগুলি সরিয়ে ফেলুন, সুগম জল প্রবাহ নিশ্চিত করার জন্য বাঁকা পাইপলাইনগুলি সোজা করুন;
• পাম্পের অপারেটিং স্ট্যাটাস পরীক্ষা করুন, ত্রুটিযুক্ত পাম্পটি মেরামত করুন বা প্রতিস্থাপন করুন এবং তাপ এক্সচেঞ্জারের ব্লকগুলি পরিষ্কার করুন;
• ভ্যালভগুলি সম্পূর্ণরূপে খোলা আছে কিনা তা নিশ্চিত করার জন্য ভ্যালভগুলির খোলার মাত্রা পরীক্ষা করুন।

এটি অস্থির প্রক্রিয়া গ্যাস প্রবাহ এবং সরবরাহের অক্ষমতা হিসাবে প্রকাশিত হয়, যার ফলে লেপ প্রক্রিয়া বা ফিল্ম স্তরের রচনাতে বিচ্যুতি হয়। প্রধান কারণগুলির মধ্যে রয়েছেঃ

• ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রক (এমএফসি) এর ক্যালিব্রেশন ত্রুটি বা ক্ষতি;
• গ্যাসের পথের অবরুদ্ধতা বা ফুটো;
• গ্যাসের বিশুদ্ধতা অপর্যাপ্ত এবং চাপ কমানোর ভালভের ভুল কাজ।

সমাধান:

• নিয়মিতভাবে ম্যাসাফ্লো রেগুলেটরকে ক্যালিব্রেট করুন, ত্রুটিপূর্ণ উপাদানগুলি মেরামত করুন বা প্রতিস্থাপন করুন;
• গ্যাসের পথ পরিদর্শন করুন, ব্লকগুলি সরান, ফুটো পয়েন্টগুলি সনাক্ত করুন এবং শক্ত করুন;
• যোগ্য বিশুদ্ধতা সম্পন্ন প্রক্রিয়া গ্যাস নির্বাচন করুন, চাপ হ্রাসকারী ভালভ পরীক্ষা করুন এবং স্থিতিশীল চাপ নিশ্চিত করুন।

ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনের রক্ষণাবেক্ষণ "প্রথম প্রতিরোধ, প্রতিরোধ এবং চিকিত্সার সমন্বয়" নীতি অনুসরণ করা উচিত।নিয়মিত রক্ষণাবেক্ষণ এবং বিশেষ রক্ষণাবেক্ষণ, সম্ভাব্য ত্রুটিগুলি সময়মতো সনাক্ত করা যায়, যা সরঞ্জামগুলির পরিষেবা জীবন বাড়িয়ে তোলে এবং স্থিতিশীল উত্পাদন নিশ্চিত করে। রক্ষণাবেক্ষণের কাজটি সরঞ্জামগুলির সমস্ত মডিউলকে অন্তর্ভুক্ত করা উচিত,বিশেষ করে পরিধানের ঝুঁকিপূর্ণ উপাদান এবং মূল সিস্টেমগুলিতে বিশেষ মনোযোগ দিয়ে.

1. কমিশন দেওয়ার আগে পরিদর্শনঃ
   • সরঞ্জামটির পাওয়ার সাপ্লাই এবং ওয়্যারিং স্বাভাবিক কিনা এবং কোন ক্ষতি বা লস আছে কিনা তা পরীক্ষা করুন;
   • ভ্যাকুয়াম পাম্পের তেলের মাত্রা এবং গুণমান পরীক্ষা করুন, নিশ্চিত করুন যে তেলের মাত্রা স্ট্যান্ডার্ড স্কেলের মধ্যে রয়েছে এবং তেলটি অস্পষ্টতা ছাড়াই পরিষ্কার;
   • সিলিং রিংগুলি অক্ষত এবং পরিষ্কার কিনা এবং কোনও বয়স বা ক্ষতি আছে কিনা তা পরীক্ষা করুন;
   • ঠান্ডা জল পর্যাপ্ত এবং জল প্রবাহ মসৃণ কিনা তা নিশ্চিত করার জন্য শীতল সিস্টেমটি পরীক্ষা করুন;
   • গ্যাসের চাপ স্থিতিশীল কিনা এবং গ্যাসের পথে কোনও ফুটো নেই তা নিশ্চিত করার জন্য গ্যাস সরবরাহ ব্যবস্থা পরীক্ষা করুন;
   • অপারেটিং প্যানেলের পরামিতিগুলি পরীক্ষা করুন যাতে নিশ্চিত হয় যে সরঞ্জামটি স্বাভাবিক স্ট্যান্ডবাই অবস্থায় রয়েছে।
2. বন্ধের পর রক্ষণাবেক্ষণঃ
   • সরঞ্জামের সমস্ত পাওয়ার সাপ্লাই, গ্যাস ভ্যালভ এবং শীতল জল ভ্যালভ বন্ধ করুন;
   • ভ্যাকুয়াম চেম্বারের অভ্যন্তরীণ দেয়াল, ওয়ার্কপিস হোল্ডার এবং পর্যবেক্ষণ উইন্ডো পরিষ্কার করুন।অবশিষ্ট লেপ উপাদান এবং অমেধ্য অপসারণের জন্য আইসোপ্রোপিল অ্যালকোহলে ডুবিয়ে রাখা একটি পোঁদ মুক্ত কাপড় ব্যবহার করে;
   • সরঞ্জাম পৃষ্ঠের ধুলো পরিষ্কার করুন, সার্কিট এবং পাইপলাইন সংগঠিত করুন;
   • সরঞ্জামের অপারেটিং অবস্থা, ত্রুটি এবং প্রক্রিয়া পরামিতি রেকর্ড করুন এবং একটি অপারেশন ফাইল তৈরি করুন।

1. সাপ্তাহিক রক্ষণাবেক্ষণঃ
   • ভ্যাকুয়াম পাম্পের অপারেটিং অবস্থা পরীক্ষা করুন, পাম্পের শরীর থেকে কোনও অস্বাভাবিক শব্দ বা কম্পনের জন্য শুনুন এবং পাম্পের শরীরের পৃষ্ঠ ধুলো পরিষ্কার করুন;
   • সিলগুলি পরীক্ষা করুন, সিলিং রিংগুলি অ্যানহাইড্রাস ইথানল দিয়ে পরিষ্কার করুন, সিলিং পারফরম্যান্স বাড়ানোর জন্য বিশেষ তৈলাক্তকরণ গ্রীস প্রয়োগ করুন;
   • শীতল পাইপলাইন চেক করুন, ফিল্টার ব্লক পরিষ্কার;
   • বেস ফিক্সিংগুলি নিশ্চিত করার জন্য পরীক্ষা করুন যে তারা দৃঢ়ভাবে সংযুক্ত এবং বিকৃতি ছাড়াই।
2. মাসিক ভাতা:
   • ভ্যাকুয়াম পাম্প তেল প্রতিস্থাপন এবং পাম্প শরীরের অভ্যন্তরীণ অমেধ্য পরিষ্কার;
   • ভ্যাকুয়াম গেইম টিউব পরিদর্শন করুন, পরিষ্কার করুন এবং ক্যালিব্রেট করুন;
   • নিরাপদ সংযোগ এবং স্বাভাবিক ক্রিয়াকলাপ নিশ্চিত করার জন্য গরম করার উপাদান এবং থার্মোকপলগুলি পরীক্ষা করুন;
   • গ্যাস পাইপলাইন পরিষ্কার করুন এবং যেকোনো ফুটো চিহ্নিত করুন;
   • ভ্যাকুয়াম চেম্বারের একটি ব্যাপক পরিষ্কার করা, এবং প্রয়োজন হলে argon ion etching সঞ্চালন।
3. ত্রৈমাসিক রক্ষণাবেক্ষণঃ
   • বাষ্পীভবনের উৎস এবং লক্ষ্য উপাদান অবস্থা পরীক্ষা করুন, পরাজিত বা অব্যবহৃত লক্ষ্য উপাদান এবং বাষ্পীভবনের পাত্রে প্রতিস্থাপন করুন;
   • সঠিকতা নিশ্চিত করার জন্য ফিল্ম বেধ মিটার এবং ভর প্রবাহ নিয়ামককে ক্যালিব্রেট করুন।
   • বৈদ্যুতিক কন্ট্রোল সিস্টেম পরীক্ষা করুন, কন্ট্রোল বোর্ড এবং সেন্সর পরিষ্কার করুন এবং তারের সংযোগগুলি টানুন;
   • শীতল সিস্টেম পরীক্ষা করুন, তাপ এক্সচেঞ্জারের অভ্যন্তরীণ জমা পরিষ্কার করুন, এবং পুরানো শীতল জল পাইপ প্রতিস্থাপন করুন।
4. বার্ষিক ভাতাঃ
   • সরঞ্জামগুলির একটি বিস্তৃত বিচ্ছিন্নতা পরিদর্শন পরিচালনা করুন, পরা সীল, বিয়ারিং, ফিলামেন্ট এবং অন্যান্য সহজে ক্ষতিগ্রস্থ উপাদানগুলি প্রতিস্থাপন করুন;
   • ভ্যাকুয়াম পাম্পের অভ্যন্তরীণ রটার এবং ব্লেড পরীক্ষা করুন, পরা অংশগুলি মেরামত করুন;
   • সঠিক পরামিতি নিশ্চিত করার জন্য সমস্ত যন্ত্র এবং মিটারকে ক্যালিব্রেট করুন;
   • যন্ত্রপাতিটি পারফরম্যান্স মান পূরণ করে তা নিশ্চিত করার জন্য লোড ছাড়াই পরীক্ষা এবং প্রক্রিয়া যাচাইকরণ পরিচালনা করে;
   • অপারেটরদের অপারেশন পদ্ধতির মানসম্মতকরণের জন্য পেশাদার প্রশিক্ষণ প্রদান করা।

1. পরিধানের ঝুঁকিপূর্ণ উপাদানগুলির জন্য বিশেষ রক্ষণাবেক্ষণঃ
   • সিলিং রিং, ফিলামেন্ট, টার্গেট উপাদান, বাষ্পীভবন বোট ইত্যাদির মতো পরিধানের ঝুঁকিপূর্ণ উপাদানগুলি ব্যবহারের ফ্রিকোয়েন্সি এবং পরিধানের অবস্থার ভিত্তিতে খুচরা যন্ত্রাংশের সাথে প্রাক-সংরক্ষণ করা উচিত,এবং উপাদান ক্ষতির কারণে সরঞ্জাম বন্ধ এড়াতে সময়মত প্রতিস্থাপিত;
   • সঠিকভাবে ইনস্টলেশন নিশ্চিত করতে এবং ভুল ইনস্টলেশনের কারণে ত্রুটিগুলি এড়াতে উপাদানগুলির ইনস্টলেশন শর্তগুলি নিয়মিত পরীক্ষা করুন।
2. বিশেষ অবস্থা রক্ষণাবেক্ষণঃ
   • উচ্চ তাপমাত্রা, উচ্চ আর্দ্রতা এবং ধূলিকণা পরিবেশে কাজ করা সরঞ্জামগুলির জন্য, রক্ষণাবেক্ষণ চক্রটি সংক্ষিপ্ত করা উচিত, এবং সিলিং সুরক্ষা এবং পরিষ্কারের কাজ উন্নত করা উচিত;
   • পরিবেশগত কারণগুলির কারণে সরঞ্জামগুলির ব্যর্থতা রোধ করার জন্য শীতল সিস্টেম এবং ভ্যাকুয়াম সিস্টেমগুলির পরিদর্শন ফ্রিকোয়েন্সি বাড়ানো উচিত;
   • অভ্যন্তরীণভাবে শুষ্ক এবং পরিষ্কার থাকার জন্য নিয়মিতভাবে সরঞ্জামগুলিকে আর্দ্রতা-প্রতিরোধী এবং ধুলো-প্রতিরোধী চিকিত্সা করা উচিত।

1. রক্ষণাবেক্ষণের আগে,

   সরঞ্জামের সমস্ত পাওয়ার সাপ্লাই বন্ধ করে দেওয়া উচিত, গ্যাস ভ্যালভ বন্ধ করে দেওয়া উচিত এবং ভ্যাকুয়াম চেম্বারের ভিতরে চাপ মুক্ত করা উচিত যাতে সরঞ্জামটি নিরাপদ অবস্থায় থাকে।পোড়া এড়াতে অপারেশন এগিয়ে যাওয়ার আগে উচ্চ তাপমাত্রা উপাদান ঠান্ডা পর্যন্ত অপেক্ষা করুন.

2. রক্ষণাবেক্ষণের সময়,

   অপারেটরদের অবশ্যই প্রতিরক্ষামূলক গ্লাভস, গগলস এবং অন্যান্য প্রতিরক্ষামূলক সরঞ্জাম পরতে হবে যাতে লেপের টুকরোগুলি স্প্ল্যাশিং এবং রাসায়নিক রিএজেন্টগুলির সংস্পর্শে না আসে।