Guangdong Zhongda Vacuum Equipment Co., Ltd.
E-posta: 121184585@qq.com Televizyon: 86--18924253176
Evde
Evde
>
Haberler
>
Şirket Haberleri Hakkında Vakumlu Kaplama Makinelerinin Yaygın Hataları ve Bakım Stratejileri 
Olaylar
MESAJ BIRAKIN

Vakumlu Kaplama Makinelerinin Yaygın Hataları ve Bakım Stratejileri 

2026-03-19

Şirketle ilgili en son haberler Vakumlu Kaplama Makinelerinin Yaygın Hataları ve Bakım Stratejileri 
Vakum kaplama makinelerinin ve bakım stratejilerinin yaygın hataları

Vakum kaplama teknolojisi, hassas üretim alanındaki temel bir teknoloji olarak, elektronik, optik, otomotiv, havacılık ve diğer endüstrilerde yaygın olarak uygulanmaktadır.metaller olmayan ve diğer malzemeler, vakum ortamında substratların yüzeylerine, aşınmaya dayanıklı, korozyon önleme ve optik özelliklere sahip filmler oluşturur.karmaşık yapılar ve yüksek hassasiyet gereksinimleri ileUzun süreli yüksek yük işlemi sırasında, elektrik kontrol sistemleri ve yardımcı sistemler gibi çoklu çekirdek modülleri kapsar.Çevre gibi faktörlerden etkilenmişDolayısıyla, ekipmanların kullanım ömrünü kısaltabilmeleri, sadece kaplama kalitesini ve üretim verimliliğini etkilemekle kalmaz, aynı zamanda çeşitli arızalara eğilimlidir. in-depth analysis of the common faults of vacuum coating machines and the formulation of scientific and standardized maintenance strategies are of great significance for ensuring stable production and reducing operation and maintenance costs.

Bu makale, vakum kaplama makinelerinin çalışma prensibine ve pratik uygulama senaryolarına dayanarak, çeşitli yaygın hataların tezahürlerini, nedenlerini ve çözümlerini sistematik olarak analiz eder.ve kapsamlı bakım noktalarını özetler.İlgili operatörler ve bakım personeli için referanslar sağlar ve ekipmanların istikrarını ve üretim verimliliğini artırmaya yardımcı olur.

I. Vakum kaplama makinesinin temel çalışma prensibi

Vakum kaplama makinesinin temel çalışma mantığı, mühürlü vakum odasının içindeki basıncı vakum pompası grubundan gerekli vakum seviyesine düşürmektir.Buharlama gibi yöntemler kullanılarak, püskürtme ve iyon kaplama, kaplama malzemesi gaz veya plazma durumuna dönüştürülür, bu da substrat yüzeyinde eşit bir şekilde çökmesine ve yoğun bir film oluşturmasına izin verir.Ekipmanın normal çalışması vakum sisteminin mühürleme performansına bağlıdır., kaplama sisteminin istikrarı, elektrikli kontrol sisteminin doğruluğu ve yardımcı sistemlerin koordinasyonu.Herhangi bir modülde herhangi bir anormallik ekipman arızasına veya standart dışı kaplama kalitesine yol açacaktır.

II. Vakum kaplama makinelerinin yaygın hataları ve çözümleri

Vakum kaplama makinesinin hataları esas olarak dört ana modülde oluşur: vakum sistemi, kaplama sistemi, elektrik kontrol sistemi ve yardımcı sistem.Vakum sisteminin ve kaplama sisteminin hataları en yüksek olay oranına sahiptir ve işlem etkisini doğrudan etkiler.Bu yüzden onlara özel dikkat edilmesi gerekiyor.

(1) Vakum Sisteminin Genel Hataları

Vakum sistemi, vakum kaplama makinelerinin temel bileşenidir.Kaplama malzemesinin pürüzsüz bir şekilde çökmesini sağlamak ve hava kirliliğinin film katmanının kalitesine etkisini en aza indirmekYaygın hatalar, ayarlanmış vakum seviyesine ulaşamamak, vakum seviyesinin ani düşmesi ve vakum pompasını çalıştıramamak.

Vakum seviyesi ayarlanmış değere ulaşmıyor:

Bu, vakum sistemindeki en yaygın hatadır ve ekipman çalıştırıldıktan sonra vakum ölçümünün süreç gereksinimlerinden sürekli olarak daha yüksek bir değeri göstermesiyle ortaya çıkar.kaplama için gerekli yüksek vakum durumunu elde edemiyorAna nedenler şunlardır:

  • Sıfırlama halkasının yaşlanması, çatlaması veya uygunsuz montajı, boşlukların sıkıca kapatılmamasına ve hava sızıntısına neden olur.
  • boş boru bağlantıları veya vakum sızıntısına neden olan küçük çatlaklar;
  • İğne delikleri, kaynak kusurları veya vakum odası duvarında vakum çekme verimliliğini etkileyen ciddi iç kirliliği;
  • vakum pompasındaki kirlilik, yeterli yağ seviyesi veya vakum pompalama kapasitesinin azalmasına yol açan pompa gövde bileşenlerinin aşınması;
  • ölçüm tüpünün kirlenmesi, hasarı veya yanlış kalibrasyonu, okuma sapmalarına neden olur.

Çözüm:

  • İlk olarak, mühürleme halkalarını kontrol edin. Mühürleme halkalarını düzenli olarak temizleyin ve her 6-12 ayda bir değiştirin. Kurulum sırasında sıkı ve hasarlı bir şekilde uygun olmasını sağlayın.
  • Sızıntı noktalarını belirlemek için bir helyum kütle spektrometre sızıntı dedektörü kullanın, gevşek boru hatlarını, onarım çatlaklarını, iğne deliklerini vb. sıkıştırın ve onarımdan sonra sızıntıları tekrar kontrol edin.
  • Vakum odasının iç duvarındaki kalıntı kaplama malzemelerini ve kirlilikleri düzenli olarak temizleyin. Gerektiğinde basınç testleri yapın.
  • Çöplük pompasının yağ seviyesini ve kalitesini kontrol edin. Çöplük yağını her 200-500 çalışma saatinde değiştirin, yağ seviyesini ölçek çizgisinin üzerinde tutun.Zamanında onarmak ya da değiştirmek.
  • Vakum ölçer tüpünü düzenli olarak temizleyin, 12 ayda bir kalibre edin, hasar görürse hemen değiştirin.
2Vakum seviyesinde ani bir düşüş:

Bu, ekipmanların çalışması sırasında vakum seviyesinin keskin bir şekilde düşmesi olarak ortaya çıkar ve süreç gereksinimlerini karşılamıyor.Genellikle kaplama katmanındaki iğne delikleri ve renk lekeleri gibi kusurlar ile birlikte gelirAna nedenler şunlardır:

  • Difüzyon pompasının aşırı ısınması veya mekanik pompanın rotörünün sıkışması gibi pompa gövdesi arızası;
  • Vakum odasının içindeki ağır kontaminasyon, kalıntı maddelerin uçuşuyla gazın artmasına yol açar;
  • Sıcaklık suyu akışı yetersiz, pompa gövdesinin aşırı ısınmasına neden olur ve vakum çekim verimliliğini etkiler;
  • Buharlaşma kaynağı suyunun yolundaki ve yüksek voltajlı elektrotların mühürlenme alanındaki sızıntıya neden olan sızıntıların oluşması;
  • Yüksek valflerin, ön valflerin vb. arızalı çalışması, mühürleme arızasına neden olur.

Çözüm:

  • Tüm ısıtma kaynaklarını derhal kapatın, vakumu kırmak için azot çalıştırın ve sorun gidermeden önce odanın soğumasını bekleyin.
  • Vakum pompasının çalışma durumunu kontrol edin, difüzyon pompasını her yıl temizleyin ve özel yağı değiştirin.Zamanında söküp tamir et.;
  • Vakum odasını düzenli olarak temizleyin. Her 50 kaplama döngüsünden sonra, kalıntı kirletici maddeleri çıkarmak için oda üzerinde argon iyon kazımı yapın.
  • Soğutma suyu devresinin akış hızının 5L/dakikadan az olmadığından emin olmak için kontrol edilmesi, boru hattındaki tıkanıklıkların temizlenmesi ve soğutma sisteminin normal çalışmasını sağlamak;
  • Hasarlı mühürleme dikişini değiştirin, güvenilir bir mühürlenmeyi sağlamak için valfleri kontrol edin ve bakım yapın.
3Vakum pompası çalışmıyor:

Bu durum, başlangıç düğmesine basıldıktan sonra pompa gövdesinden herhangi bir yanıt olmaması ve vakum pompalama durumuna girememesi olarak ortaya çıkar.

  • Değişken voltaj, kısa devre veya sigorta erimi gibi güç arızası;
  • motor hasarı veya aşırı ısınma koruması tetiklenmiştir;
  • Pompanın içindeki yağın ciddi bir şekilde kirlenmesi veya pompa gövdesinin sıkışmasına neden olan yeterli yağ seviyesi;
  • Relaylerin ve kontaktorların arızası, yanmış veya sıkışmış kontaklar.

Çözüm:

  • Öncelikle elektrik hatlarını ve voltaj dengesini kontrol edin. Voltaj dalgalanmasının %5 içinde olduğundan emin olun. Patlamış sigortaları değiştirin.
  • Motor aşırı ısınırsa, pompa gövdesinin soğumasını bekleyin ve sonra tekrar çalıştırın.
  • Vakum pompasının yağ seviyesini ve kalitesini kontrol edin. Kirlenmiş vakum yağını değiştirin ve standart seviyeye kadar doldurun.
  • Normal devre iletimini sağlamak için arızalı bileşenleri onarın veya değiştirin.
(2) Kaplama Sisteminin Genel Hataları

Kaplama sistemi, kaplama malzemesinin gaz veya plazma durumuna dönüştürülmesinden ve substrat yüzeyinde yatırılmasından sorumludur.Eksiklikleri esas olarak kaplama katmanının kalite standartlarına uymama şeklinde ortaya çıkar., örneğin kaplama katmanının ayrılması, eşit olmayan kalınlık ve kaplamanın kalitesinin bozulması, ürünlerin nitelik oranını doğrudan etkiler.

Film katman ayırma:

Bu durum, film katmanının substrat yüzeyinden ayrılması ve aşırı derecede zayıf yapışma ile büyük yamalar halinde soyulması olarak ortaya çıkar.

  • Substrat yüzeyinin kirlenmesi, örneğin yağ lekeleri, nem, toz ve diğer kirliliklerin varlığı;
  • Döşeme öncesi altyapının yeterince pişirilmemesi ve temizlenmemesi, altyapının yüzeyinde oksit tabakası oluşmasına neden olur.
  • Film katmanındaki aşırı stres, substratın termal genişleme katsayısına uymuyor;
  • Buharlama kaynağının ve püskürtme hedefinin sapması, eşit olmayan film katmanının çökmesine yol açar;
  • İyon kaynağının normal olmayan çalışması, yeterli bir ön kaplama bombardıman temizliği olmadan.

Çözüm:

  • Substratın ön işlemini, ultra ses temizliği (deionize su + alkol) ile birlikte iyon bombardımanı (bias - 800V ila -1200V,Süre 5-15 dakika) katman yüzeyinin atom seviyesine ulaşmasını sağlamak için;
  • Kaplama yapmadan önce, metal substratı 150-200 °C'ye kadar ısıtarak, iç gerilimi serbest bırakmak için altyapıyı tamamen pişirmek ve plastik substratı deformasyonu önlemek için 80 °C'nin altında kontrol etmek;
  • Süreç parametrelerini optimize etmek, film katmanının gerginliğini azaltmak için kaplama malzemesi ile alt katman arasındaki eşleşmeyi ayarlamak;
  • Buharlama kaynağının ve hedefin konumunu ayarlayın, substratın merkeziyle hizalamasını sağlayın, substratı sabitlemek için alet armatürleri kullanın, engelleme önleyin;
  • Kaplama öncesi bombardıman temizliğinin tamamlanmasını sağlamak için iyon kaynağının çalışma durumunu kontrol edin.
2. Düzensiz zar tabakası kalınlığı:

Bu, aynı altüst yüzeyinde veya farklı altüst yüzeylerinde membran katmanının kalınlığında% ± 5'ten fazla bir sapma olarak ortaya çıkar.İşlem gereksinimlerini karşılamayanAna nedenler şunlardır:

  • Depozisyon kaynağının sapması veya kavurganın istikrarsız dönüş hızı;
  • Substratın sağlam bir şekilde sabitlenmemesi veya engellenmesi, dönen mekanizmanın arızalı çalışması;
  • Işık ışınının eğrilmesine neden olan manyetik ve elektrik alanlarından gelen müdahaleler;
  • Kalınlık ölçerinin (kristal kontrol cihazı) kalibrasyonunun arızası, sondun konumunun sapması veya kirliliği;
  • istikrarsız buharlaşma hızı ve eşit olmayan gaz akışı gibi süreç parametrelerindeki dalgalanmalar.

Çözüm:

  • Depolama kaynağının konumunu altlığın merkeziyle hizalamak, creek'in dönüş hızını kontrol etmek, dönen mekanizmadaki herhangi bir hatayı onarmak;
  • Altyapıyı herhangi bir engelleme önleyerek ve altyapının tekdüze dönüşünü sağlamak için alet takımı kullanmak;
  • Elektromanyetik bobinlerin parametrelerini kontrol edin, ışın yörüngesini optimize edin ve elektromanyetik müdahaleyi azaltın.
  • Kristal denetleyici enstrümanı standart film kalınlığı levhaları kullanarak çeyrekli olarak kalibre edin, sondun yüzeyini temizleyin ve sondu substrattan 5-10 cm uzaklıkta en uygun konuma ayarlayın.
  • Dayanıklı buharlaşma hızı ve gaz akış hızı sağlamak için güç kaynağı voltajı dengelenir ve gaz akış ölçümünün doğruluk hatası ± 1% arasında kontrol edilir.
3Film kalitesinin bozulması:

Bu, film katmanındaki iğne delikleri, renk lekeleri, sislenme ve diğer kusurlar olarak ortaya çıkar ve parlaklık, sertlik ve aşınma direnci gibi performans göstergeleri standartlara uymuyor.Ana nedenler şunlardır::

  • vakum odası tamamen boşaltılmamış ve su buharı ve oksijen gibi kalıntı kirlilikler bulunmaktadır;
  • Kaplama işlemi sırasında hava sızıntısı gaz kirliliğine yol açar;
  • Film malzemesi nem emiyor veya kirlilikler içerir ve buharlaşma ve püskürtme sırasında kirleticiler oluşur;
  • Filament ve kiriş sistemi anormal, bu da kaplama malzemesinin yetersiz iyonlaşmasına neden olur.
  • ısıtma sistemi arıza ederek altyapı sıcaklığının ayarlanmış değere ulaşamamasına veya aşırı dalgalanmasına neden olur.

Çözüm:

  • Kaplama yapmadan önce, vakum odasını ≤ 5*10−4 Pa basınçta boşaltın ve vakum odasında kalan gazı çıkarmak için pişirme yapın.
  • Tüm mühürleme arayüzlerini kontrol edin, hava sızıntısını önlemek için eski mühürleme bileşenlerini değiştirin;
  • Temiz kaplama malzemesini kullanmadan önce, nem ve kirlilikleri çıkarmak için vakum odasında önceden eritebilir ve nitelikli saf kaplama malzemelerini seçebilir.
  • Filament durumunu kontrol edin, yanmış veya yaşlanmış filamentleri değiştirin, kurulum pozisyonunun merkezde olduğundan emin olun, ışın sınırlayıcısını önceden erimeden sonra sıfıra ayarlayın ve sonra çalıştırın;
  • Isıtma elemanlarını, sıcaklık kontrol cihazını ve termokopleri kontrol edin, herhangi bir kısa devreyi veya kötü temas sorunlarını onarın, sıcaklık kontrol cihazının PID parametrelerini yeniden ayarlayın,Termokaplayı substratın merkez pozisyonuna ayarlayın., ve yıllık olarak kalibre edilir.
(III) Elektrikli Kontrol Sistemlerinin Genel Hataları

Elektrikli kontrol sistemi, çeşitli modüllerin çalışmasını koordine etmekten sorumlu olan vakum kaplama makinelerinin "beyni" dir.Başarısızlıkları çoğunlukla kontrol panelin yanıt vermemesiyle ortaya çıkıyor., anormal parametre gösterimi ve program kontrolü kaybı, ekipmanın normal çalışamamasına neden olur.

Genel Hatalar ve Çözümler:

Eğer işletim paneli yanıt vermiyorsa veya parametreler normal değilse, genellikle kontrol panosunun nemlenmesi veya tozla kaplanması, sensör bağlantısının gevşek veya hasarlı olmasından kaynaklanır,Çözüm: Kontrol panosunun nemli ve tozlu olmamasını önlemek için kontrol dolabını kuru basınçlı hava ile düzenli olarak temizleyin; sensör hatlarını kontrol edin,gevşek bağlantıları onarmak, ve arızalı sensörleri değiştirin; sistemi yeniden başlatın veya normal program işlevini geri yüklemek için kontrol yazılımını yeniden yükleyin.Program kontrolden çıktığında ve işlem parametreleri ayarlanamadığında, genellikle PLC endüstriyel bilgisayar arızası, iletişim kesintisi veya inverter arızasından kaynaklanır. Çözüm: PLC işletim durumunu kontrol edin, iletişim hatlarının sorunlarını giderin,İletişim kesintisi sorunlarını onarmakDeğiştiricileri kontrol edin, aşırı yük, aşırı voltaj, aşırı akım ve diğer alarm bilgileri araştırın ve arızalı bileşenleri onarın veya değiştirin.

(4) Yardımcı Sistemlerin Genel Hataları

Yardımcı sistemlere soğutma sistemi, gaz tedarik sistemi vb. dahildir.ekipmanların normal çalışması ve kaplamanın kalitesi için çok önemlidirler.Genel hatalar şunlardır:

1Soğutma sistemi arızası:

Bu, ekipman çalışması sırasında pompa gövdesinin, hedef malzemenin ve ısıtma bileşenlerinin aşırı ısınması ve hatta aşırı ısınma korumasının tetiklenmesi ve makinenin durması olarak ortaya çıkar.Ana nedenler şunlardır::

  • Soğutma suyundaki çok düşük su seviyesi, soğutma verimliliğinin azalmasına yol açan kötü su kalitesi;
  • Soğutma borusunun tıkanması veya bükülmesi, kötü su akışı;
  • Pompa arızası, tıkanmış ısı değiştiricisi;
  • Yanlış valf açılması veya kazara kapanması.

Çözümler:

  • Alganın büyümesini ve kabuğunu önlemek için soğutma suyunun su seviyesini düzenli olarak kontrol edin, soğutma suyunu doldurun ve soğutma suyunu düzenli olarak değiştirin.
  • Soğutma boru hattındaki tıkanıklıkları kaldırın, su akışının pürüzsüz olmasını sağlamak için bükülmüş boru hatlarını düzleştirin;
  • Pompanın çalışma durumunu kontrol etmek, arızalı pompayı onarmak veya değiştirmek ve ısı değiştiricisindeki tıkanıklıkları temizlemek;
  • Valflerin tamamen açık olduğundan emin olmak için açılış derecesini kontrol edin.
2Gaz kaynağı sistemi arızası:

Bu durum, istikrarsız süreç gazı akışı ve beslenme imkansızlığı olarak ortaya çıkar ve bu da kaplama işleminin kesilmesine veya film katmanının bileşimindeki sapmaya neden olur.

  • Kütle akış kontrolörü (MFC) kalibrasyonunun arızası veya hasarı;
  • Gaz yolunun tıkanması veya sızması;
  • Gaz saflığının yetersizliği ve basınç düşürücü valfinin arızası.

Çözümler:

  • Kütle akış kontrolörünü düzenli olarak kalibre edin, arızalı bileşenleri onarın veya değiştirin;
  • Gaz yolunu incelemek, tıkanıklıkları kaldırmak, sızıntı noktalarını belirlemek ve sıkıştırmak;
  • Kalifiye saflıkta bir süreç gazı seçin, basınç düşürücü valfini kontrol edin ve sabit basınç sağlayın.
III. Vakum kaplama makineleri için bilimsel bakım stratejileri

Vakum kaplama makinelerinin bakımı "önce önleme, önleme ve tedavinin bir kombinasyonu" ilkesine uymalıdır.Düzenli bakım ve özel bakım, potansiyel arızaların zamanında tespit edilebilmesi, ekipmanın kullanım ömrünün uzatılması ve istikrarlı bir üretimin sağlanması.Özellikle aşınmaya eğilimli bileşenlere ve çekirdek sistemlere odaklanarak.

(1) Gündelik bakım (gündelik çalıştırmadan önce ve kapattıktan sonra)
  1. İşe başlamadan önceki denetim:
    • Ekipmanın güç kaynağının ve kablolarının normal olup olmadığını ve herhangi bir hasar veya gevşeklik olup olmadığını kontrol edin.
    • Vakum pompasının yağ seviyesini ve kalitesini kontrol ederek, yağ seviyesinin standart ölçek içinde olduğundan ve yağın bulanıklık olmaksızın açık olduğundan emin olun.
    • Dükkanların sağlam ve temiz olup olmadığını ve yaşlanıp zarar görmediğini kontrol edin.
    • Soğutma sistemini, soğutma suyunun yeterli olduğundan ve su akışının düzgün olduğundan emin olmak için kontrol edin.
    • Gaz basıncının istikrarlı olduğundan ve gaz yolundaki herhangi bir sızıntının olmadığından emin olmak için gaz kaynağı sistemini kontrol edin.
    • Aygıtın normal bekleme durumunda olduğunu doğrulamak için kontrol paneli parametrelerini kontrol edin.
  2. Kapatma sonrası bakım:
    • Ekipmanın tüm güç kaynaklarını, gaz valflerini ve soğutma suyu valflerini kapatın.
    • Vakum odasının iç duvarlarını, iş parçasının tutucusunu ve gözlem penceresini temizleyin.Geriye kalan kaplama malzemelerini ve kirlilikleri çıkarmak için izopropil alkolüne batırılmış, tüylü bir kumaş kullanılarak;
    • Ekipmanın yüzeyindeki tozları temizleyin, devreleri ve boru hatlarını düzenleyin;
    • Ekipmanın çalışma durumunu, hatalarını ve işlem parametrelerini kaydet ve bir operasyon dosyası oluştur.
(2) Düzenli bakım (haftalık, aylık, üç aylık, yıllık)
  1. Haftalık bakım:
    • Vakum pompasının çalışma durumunu kontrol edin, pompa gövdesinden gelen herhangi bir anormal sesi veya titreşimi dinleyin ve pompa gövdesinin yüzey tozunu temizleyin.
    • Mühürleri kontrol edin, mühür halkalarını susuz etanolle temizleyin, mühürleme performansını artırmak için özel yağlama yağları uygulayın.
    • Soğutma borusunu kontrol edin, filtredeki tıkanıklıkları temizleyin.
    • Temel armatürlerin sağlam bir şekilde sabitlendiğinden ve deformasyon olmamasından emin olmak için kontrol edilmelidir.
  2. Aylık bakım:
    • Vakum pompasının yağını değiştirin ve pompa gövdesinin iç kirliliklerini temizleyin.
    • Vakum ölçüm tüpünü kontrol edin, temizleyin ve kalibre edin.
    • Güvenli bağlantıların ve normal çalışmanın sağlanması için ısıtma elemanlarını ve termokopleri kontrol edin.
    • Gaz borularını temizleyin ve herhangi bir sızıntı noktasını belirleyin;
    • Vakum odasını kapsamlı bir şekilde temizleyin ve gerekirse argon iyon kazımı yapın.
  3. Üç aylık bakım:
    • Buharlanma kaynağını ve hedef malzemenin durumunu kontrol edin, yıpranmış veya tükenmiş hedef malzemeleri ve buharlama kaplarını değiştirin;
    • Filmin kalınlık ölçerini ve kütle akış kontrol cihazını doğruluğunu sağlamak için kalibre edin.
    • Elektrikli kontrol sistemini kontrol edin, kontrol panelleri ve sensörleri temizleyin ve kablo bağlantılarını sıkın.
    • Soğutma sistemini kontrol edin, ısı değiştiricinin içini temizleyin ve eski soğutma su borularını değiştirin.
  4. Yıllık bakım:
    • Ekipmanın kapsamlı bir sökme denetimi yapılması, yıpranmış mühürleri, rulmanları, filamantları ve kolayca hasar gören diğer bileşenleri değiştirilmesi;
    • vakum pompasının iç rotorlarını ve bıçaklarını kontrol edin, yıpranmış parçaları onarın;
    • Tüm cihazları ve sayaçları doğru parametreleri sağlamak için kalibre edin;
    • Ekipmanın performans standartlarına uygun olmasını sağlamak için yüksüz çalışma testleri ve süreç doğrulamaları gerçekleştirir.
    • Operatörlere operasyon prosedürlerini standartlaştırmak için profesyonel eğitim sağlamak.
(3) Özel bakım (farslanmaya eğilimli bileşenler için ve belirli çalışma koşulları altında)
  1. Yıkım eğilimli bileşenler için özel bakım:
    • Kaplama halkası, filament, hedef malzeme, buharlaştırma teknesi vb. gibi yıpranma eğilimli bileşenler, kullanım sıklığına ve yıpranma durumuna göre yedek parçalarla önceden depolanmalıdır.ve bileşen hasarı nedeniyle ekipman kapatma önlemek için zamanında değiştirilmiş;
    • Komponentlerin düzgün montajını sağlamak ve yanlış montajdan kaynaklanan hatalardan kaçınmak için montaj koşullarını düzenli olarak kontrol edin.
  2. Özel Durumlu Bakım:
    • Yüksek sıcaklık, yüksek nem ve tozlu ortamlarda çalışan ekipmanlar için bakım döngüsü kısaltılmalı ve daha iyi mühürleme koruması ve temizlik çalışmaları yapılmalıdır.
    • Çevre faktörlerinden kaynaklanan ekipman arızalarının önlenmesi için soğutma sistemlerinin ve vakum sistemlerinin denetim sıklığı artırılmalıdır.
    • Ekipmanın içten kuru ve temizliğini sağlamak için düzenli olarak nem ve toz geçirmez işlemler yapılmalıdır.
(4) Güvenlik bakımı önlemleri
  1. Bakımdan önce,

    Ekipmanın tüm güç kaynakları bağlanmalı, gaz vanaları kapatılmalı ve ekipmanın güvenli bir durumda olmasını sağlamak için vakum odasının içindeki basınç serbest bırakılmalıdır.Yanıklardan kaçınmak için işlem yapmaya devam etmeden önce yüksek sıcaklıklı bileşenlerin soğumasını bekleyin.

  2. Bakım sürecinde,

    Operatörler kaplama parçalarının sıçramasını ve kimyasal rejanların temasını önlemek için koruyucu eldivenler, gözlükler ve diğer koruyucu ekipmanlar takmalıdır.

Herhangi bir zamanda bizimle iletişime geçin

86--18924253176
Lantang Güney Yolu, Duanzhou Bölgesi, Zhaoqing şehri, Guangdong 526060 Çin
Sorunuzu doğrudan bize gönderin