Häufige Fehler von Vakuum-Beschichtungsmaschinen und Wartungsstrategien

Die Vakuum-Beschichtungstechnologie, als Kerntechnologie im Bereich der Präzisionsfertigung, wird in der Elektronik-, Optik-, Automobil-, Luft- und Raumfahrtindustrie sowie in anderen Bereichen weit verbreitet eingesetzt. Sie trägt Metalle, Nichtmetalle und andere Materialien in einer Vakuumumgebung auf die Oberfläche von Substraten auf und bildet Schichten mit Verschleißfestigkeit, Korrosionsschutz und optischen Eigenschaften. Vakuum-Beschichtungsmaschinen sind die Schlüsselgeräte zur Realisierung dieses Prozesses, mit komplexen Strukturen und hohen Präzisionsanforderungen. Sie umfassen mehrere Kernmodule wie Vakuumsysteme, Beschichtungssysteme, elektrische Steuerungssysteme und Hilfssysteme. Während des langfristigen Betriebs unter hoher Belastung, beeinflusst durch Faktoren wie Umgebung, Betrieb und Verschleiß, ist die Ausrüstung anfällig für verschiedene Ausfälle, die nicht nur die Beschichtungsqualität und die Produktionseffizienz beeinträchtigen, sondern auch die Lebensdauer der Ausrüstung verkürzen können. Daher ist eine eingehende Analyse der häufigen Fehler von Vakuum-Beschichtungsmaschinen und die Formulierung wissenschaftlicher und standardisierter Wartungsstrategien von großer Bedeutung, um eine stabile Produktion zu gewährleisten und die Betriebs- und Wartungskosten zu senken.

Dieser Artikel analysiert systematisch die Erscheinungsformen, Ursachen und Lösungen verschiedener häufiger Fehler auf der Grundlage des Arbeitsprinzips und der praktischen Anwendungsszenarien von Vakuum-Beschichtungsmaschinen und fasst umfassende Wartungspunkte zusammen. Er bietet Referenzen für relevante Bediener und Wartungspersonal, um die Stabilität des Gerätebetriebs und die Produktionseffizienz zu verbessern.

Die Kernarbeitslogik der Vakuum-Beschichtungsmaschine besteht darin, den Druck in der abgedichteten Vakuumkammer durch die Vakuumpumpengruppe auf das erforderliche Vakuumniveau zu reduzieren. Anschließend werden durch Methoden wie Verdampfen, Sputtern und Ionenplattieren das Beschichtungsmaterial in einen gasförmigen oder Plasma-Zustand umgewandelt, wodurch es gleichmäßig auf der Substratoberfläche abgeschieden wird und eine dichte Schicht bildet. Der normale Betrieb der Ausrüstung beruht auf der Dichtleistung des Vakuumsystems, der Stabilität des Beschichtungssystems, der Genauigkeit des elektrischen Steuerungssystems und der Koordination der Hilfssysteme. Jede Abweichung in einem Modul führt zu einem Geräteausfall oder einer unterdurchschnittlichen Beschichtungsqualität.

Die Fehler der Vakuum-Beschichtungsmaschine treten hauptsächlich in vier Hauptmodulen auf: dem Vakuumsystem, dem Beschichtungssystem, dem elektrischen Steuerungssystem und dem Hilfssystem. Unter ihnen haben die Fehler des Vakuumsystems und des Beschichtungssystems die höchste Fehlerquote und beeinträchtigen direkt den Prozesseffekt. Daher muss ihnen besondere Aufmerksamkeit geschenkt werden.

Das Vakuumsystem ist die Kernkomponente einer Vakuum-Beschichtungsmaschine. Seine Hauptfunktion ist die Aufrechterhaltung einer Hochvakuumumgebung in der Kammer, um die reibungslose Abscheidung des Beschichtungsmaterials zu gewährleisten und die Auswirkungen von Luftverunreinigungen auf die Qualität der Filmschicht zu minimieren. Häufige Fehler sind das Nichterreichen des eingestellten Vakuumpegels, ein plötzlicher Abfall des Vakuumpegels und die Unfähigkeit, die Vakuumpumpe zu starten.

Dies ist der häufigste Fehler im Vakuumsystem, der sich darin äußert, dass das Vakuummeter nach dem Start der Ausrüstung einen Wert anzeigt, der konstant höher ist als die Prozessanforderungen, und der Hochvakuumzustand, der für die Beschichtung erforderlich ist, nicht erreicht werden kann. Die Hauptursachen sind:

• Alterung, Rissbildung oder unsachgemäße Installation des Dichtungsrings, was zu schlechter Hohlraumabdichtung und Luftleckagen führt;
• lose Rohrverbindungen oder kleine Risse, die Vakuumleckagen verursachen;
• Nadellöcher, Schweißfehler oder starke interne Verschmutzungen an der Vakuumkammerwand, die die Vakuumabsaugungseffizienz beeinträchtigen;
• Verschmutzung, unzureichender Ölstand oder Verschleiß von Pumpenkörperkomponenten in der Vakuumpumpe, was zu einer Verringerung der Vakuumförderkapazität führt;
• Verschmutzung, Beschädigung oder ungültige Kalibrierung des Messrohrs, was zu Abweichungen bei der Anzeige führt.

Lösung:

• Überprüfen Sie zuerst den Dichtungsring. Reinigen Sie den Dichtungsring regelmäßig und ersetzen Sie ihn alle 6-12 Monate. Stellen Sie eine dichte und unbeschädigte Passform bei der Installation sicher.
• Verwenden Sie ein Helium-Massenspektrometer-Leckdetektor, um die Leckstellen zu lokalisieren, lose Rohrleitungen festzuziehen, Risse, Nadellöcher usw. zu reparieren und nach der Reparatur erneut auf Lecks zu prüfen.
• Reinigen Sie regelmäßig die Restbeschichtungsmaterialien und Verunreinigungen an der Innenwand der Vakuumkammer. Führen Sie bei Bedarf Druckprüfungen durch.
• Überprüfen Sie den Ölstand und die Qualität der Vakuumpumpe. Ersetzen Sie das Vakuumöl alle 200-500 Betriebsstunden und halten Sie den Ölstand über der Skalenlinie. Wenn die Pumpenkörperkomponenten verschlissen sind, reparieren oder ersetzen Sie sie rechtzeitig.
• Reinigen Sie das Vakuummessrohr regelmäßig. Kalibrieren Sie es einmal alle 12 Monate. Ersetzen Sie es sofort, wenn es beschädigt ist.

Dies äußert sich in einem starken Abfall des Vakuumpegels während des Betriebs der Ausrüstung, der die Prozessanforderungen nicht erfüllt. Er ist oft von Defekten wie Nadellöchern und Farbflecken in der Beschichtungsschicht begleitet. Die Hauptursachen sind:

• Pumpenkörperausfall, wie z. B. Überhitzung der Diffusionspumpe oder Blockierung des Rotors der mechanischen Pumpe;
• starke Verschmutzung im Inneren der Vakuumkammer, wobei die Verdampfung von Restsubstanzen zu einer Zunahme von Gas führt;
• unzureichender Kühlwasserdurchfluss, der zu einer Überhitzung des Pumpenkörpers führt und die Effizienz der Vakuumabsaugung beeinträchtigt;
• Beschädigung der Dichtungen am Verdampferquellen-Wasserweg und im Hochspannungs-Elektroden-Dichtbereich, was zu Leckagen führt;
• Fehlfunktion von Hochventilen, Vorventilen usw., die zu Dichtungsversagen führen.

Lösung:

• Schalten Sie sofort alle Heizquellen aus, starten Sie Stickstoff, um das Vakuum zu brechen, und warten Sie, bis die Kammer abgekühlt ist, bevor Sie mit der Fehlersuche beginnen;
• Überprüfen Sie den Betriebszustand der Vakuumpumpe, reinigen Sie die Diffusionspumpe jährlich und ersetzen Sie das Spezialöl. Wenn die mechanische Pumpe klemmt oder ungewöhnliche Geräusche macht, zerlegen und reparieren Sie sie rechtzeitig;
• Reinigen Sie die Vakuumkammer regelmäßig. Führen Sie nach jeweils 50 Beschichtungszyklen eine Argon-Ionen-Ätzung der Kammer durch, um Restkontaminationen zu entfernen;
• Überprüfen Sie den Kühlwasserkreislauf, um sicherzustellen, dass der Durchfluss nicht weniger als 5 l/min beträgt, beseitigen Sie Verstopfungen in der Rohrleitung und stellen Sie den normalen Betrieb des Kühlsystems sicher;
• Ersetzen Sie die beschädigte Dichtung, inspizieren und warten Sie die Ventile, um eine zuverlässige Abdichtung zu gewährleisten.

Dies äußert sich darin, dass der Pumpenkörper nach dem Drücken des Startknopfes keine Reaktion zeigt und nicht in den Vakuumzustand übergehen kann. Die Hauptursachen sind:

• Stromausfall, wie z. B. instabile Spannung, Kurzschluss im Stromkreis oder durchgebrannte Sicherung;
• Motorschaden oder ausgelöster Überhitzungsschutz;
• starke Verschmutzung des Öls in der Pumpe oder unzureichender Ölstand, was zu einem Festklemmen des Pumpenkörpers führt;
• Fehler in Relais und Schützen mit durchgebrannten oder klemmenden Kontakten.

Lösung:

• Überprüfen Sie zuerst die Stromleitungen und die Spannungsstabilität. Stellen Sie sicher, dass die Spannungsschwankung innerhalb von ±5 % liegt. Ersetzen Sie die durchgebrannten Sicherungen.
• Wenn der Motor überhitzt ist, warten Sie, bis der Pumpenkörper abgekühlt ist, und starten Sie ihn dann neu. Wenn der Motor beschädigt ist, ersetzen Sie ihn umgehend.
• Überprüfen Sie den Ölstand und die Qualität der Vakuumpumpe. Ersetzen Sie das verschmutzte Vakuumöl und füllen Sie es auf das Standardniveau auf.
• Überprüfen Sie die Relais und Schütze. Reparieren oder ersetzen Sie defekte Komponenten, um eine normale Stromleitung zu gewährleisten.

Das Beschichtungssystem ist für die Umwandlung des Beschichtungsmaterials in einen gasförmigen oder Plasma-Zustand und dessen Abscheidung auf der Substratoberfläche verantwortlich. Seine Fehler äußern sich hauptsächlich in der Nichteinhaltung der Qualitätsstandards der Beschichtungsschicht, wie z. B. Ablösung der Beschichtungsschicht, ungleichmäßige Dicke und Verschlechterung der Beschichtungsqualität, was sich direkt auf die Produktqualifizierungsrate auswirkt.

Dies äußert sich in der Trennung der Filmschicht von der Substratoberfläche und dem Abblättern in großen Flecken mit extrem schlechter Haftung. Die Hauptursachen sind:

• Verschmutzung der Substratoberfläche, wie z. B. Ölspuren, Feuchtigkeit, Staub und andere Verunreinigungen;
• unzureichendes Backen und Reinigen des Substrats vor der Beschichtung, was zu einer Oxidschicht auf der Substratoberfläche führt;
• übermäßige Spannung in der Filmschicht, die nicht mit dem Wärmeausdehnungskoeffizienten des Substrats übereinstimmt;
• Abweichung der Position der Verdampferquelle und des Sputtertargets, was zu einer ungleichmäßigen Abscheidung der Filmschicht führt;
• und anormaler Betrieb der Ionenquelle mit unzureichender Vorbeschichtungs-Bombardierungsreinigung.

Lösung:

• Verstärken Sie die Vorbehandlung des Substrats, indem Sie Ultraschallreinigung (deionisiertes Wasser + Alkohol) in Kombination mit Ionenbombardierung (Bias -800V bis -1200V, Dauer 5-15 Minuten) verwenden, um sicherzustellen, dass die Sauberkeit der Substratoberfläche atomare Ebene erreicht;
• Vor der Beschichtung das Substrat vollständig backen, das Metallsubstrat auf 150-200 °C erhitzen, um innere Spannungen abzubauen, und das Kunststoffsubstrat unter 80 °C halten, um Verformungen zu vermeiden;
• Optimieren Sie die Prozessparameter, passen Sie die Abstimmung zwischen dem Beschichtungsmaterial und dem Substrat an, um die Spannung der Filmschicht zu reduzieren;
• Passen Sie die Position der Verdampferquelle und des Targets an, stellen Sie die Ausrichtung auf die Mitte des Substrats sicher, verwenden Sie Werkzeugvorrichtungen zur Fixierung des Substrats, vermeiden Sie Hindernisse;
• Überprüfen Sie den Betriebszustand der Ionenquelle, um sicherzustellen, dass die Vorbombardierungsreinigung vor der Beschichtung abgeschlossen ist.

Dies äußert sich in einer Abweichung von mehr als ±5 % der Dicke der Membranschicht auf derselben Substratoberfläche oder auf verschiedenen Substratoberflächen, die die Prozessanforderungen nicht erfüllt. Die Hauptursachen sind:

• Abweichung der Abscheidungsquelle oder instabile Drehzahl des Tiegels;
• das Substrat ist nicht fest fixiert oder wird blockiert, Fehlfunktion des Drehmechanismus;
• Störung durch Magnet- und elektrischen Felder, die zu Strahlablenkung führt;
• Fehlkalibrierung des Dickenmessgeräts (Kristallsteuerungsinstrument), Abweichung der Sondensposition oder Verschmutzung;
• Schwankungen der Prozessparameter, wie z. B. instabile Verdampfungsrate und ungleichmäßiger Gasfluss.

Lösung:

• Passen Sie die Position der Abscheidungsquelle an die Mitte des Substrats an, überprüfen Sie die Drehzahl des Tiegels, reparieren Sie alle Fehler im Drehmechanismus;
• Verwenden Sie Werkzeugvorrichtungen zur Befestigung des Substrats, vermeiden Sie Hindernisse und stellen Sie eine gleichmäßige Drehung des Substrats sicher;
• Überprüfen Sie die Parameter der Elektromagnetspulen, optimieren Sie die Strahlbahn und reduzieren Sie elektromagnetische Störungen;
• Kalibrieren Sie das Kristallsteuergerät vierteljährlich mit Standard-Filmdickenschichten, reinigen Sie die Sondenspitze und stellen Sie die Sonde auf die optimale Position von 5-10 cm vom Substrat ein;
• Stabilisieren Sie die Spannungsversorgung, um eine stabile Verdampfungsrate und einen stabilen Gasfluss zu gewährleisten, und kontrollieren Sie den Genauigkeitsfehler des Gasdurchflussmessers innerhalb von ±1 %.

Dies äußert sich in Nadellöchern, Farbflecken, Beschlagen und anderen Defekten der Filmschicht, und die Leistungsindikatoren wie Glanz, Härte und Verschleißfestigkeit erfüllen die Standards nicht. Die Hauptursachen sind:

• die Vakuumkammer wurde nicht vollständig evakuiert, und es gibt Restverunreinigungen wie Wasserdampf und Sauerstoff;
• Luftleckagen während des Beschichtungsprozesses führen zu Gasverunreinigungen;
• das Filmmaterial nimmt Feuchtigkeit auf oder enthält Verunreinigungen, und während der Verdampfung und des Sputterns entstehen Schadstoffe;
• das Filament und das Strahlsystem sind abnormal, was zu einer unzureichenden Ionisation des Beschichtungsmaterials führt;
• das Heizsystem fällt aus, wodurch die Substrattemperatur nicht den eingestellten Wert erreicht oder stark schwankt.

Lösung:

• Evakuieren Sie die Vakuumkammer vor der Beschichtung auf einen Druck von ≤ 5*10⁻⁴ Pa und führen Sie ein Backen durch, um das Restgas in der Vakuumkammer zu entfernen;
• inspizieren Sie alle Dichtungsflächen, ersetzen Sie gealterte Dichtkomponenten, um Luftleckagen zu verhindern;
• Vorschmelzen Sie das Beschichtungsmaterial vor Gebrauch in der Vakuumkammer, um Feuchtigkeit und Verunreinigungen zu entfernen, und wählen Sie qualifizierte reine Beschichtungsmaterialien aus;
• Überprüfen Sie den Filamentzustand, ersetzen Sie durchgebrannte oder gealterte Filamente, stellen Sie sicher, dass die Einbauposition zentriert ist, stellen Sie den Strahlimiter nach dem Vorschmelzen auf Null und starten Sie dann;
• inspizieren Sie die Heizelemente, den Temperaturregler und das Thermoelement, reparieren Sie Kurzschlüsse oder schlechte Kontaktprobleme, stimmen Sie die PID-Parameter des Temperaturreglers neu ab, stellen Sie das Thermoelement auf die zentrale Position des Substrats ein und kalibrieren Sie es jährlich.

Das elektrische Steuerungssystem ist das "Gehirn" der Vakuum-Beschichtungsmaschine und verantwortlich für die Koordination des Betriebs verschiedener Module. Seine Fehler äußern sich hauptsächlich darin, dass das Bedienfeld nicht reagiert, die Parameteranzeige abnormal ist und das Programm außer Kontrolle gerät, was dazu führt, dass die Ausrüstung nicht normal betrieben werden kann.

Wenn das Bedienfeld nicht reagiert oder die Parameteranzeige abnormal ist, liegt dies normalerweise daran, dass die Steuerplatine feucht oder staubbedeckt ist, die Sensorverbindung locker oder beschädigt ist oder das Softwareprogramm abgestürzt ist. Lösung: Reinigen Sie den Schaltschrank regelmäßig mit trockener Druckluft, um zu verhindern, dass die Steuerplatine feucht und staubig wird; überprüfen Sie die Sensorleitungen, reparieren Sie lose Steckverbinder und ersetzen Sie defekte Sensoren; starten Sie das System neu oder installieren Sie die Steuerungssoftware neu, um den normalen Programmbetrieb wiederherzustellen. Wenn das Programm außer Kontrolle gerät und die Prozessparameter nicht angepasst werden können, liegt dies normalerweise an einem Ausfall des SPS-Industriecomputers, einer Kommunikationsunterbrechung oder einem Wechselrichterfehler. Lösung: Überprüfen Sie den Betriebszustand der SPS, beheben Sie Kommunikationsleitungsfehler, reparieren Sie Kommunikationsunterbrechungsprobleme; überprüfen Sie den Wechselrichter, untersuchen Sie Alarminformationen wie Überlastung, Überspannung, Überstrom und reparieren oder ersetzen Sie defekte Komponenten.

Die Hilfssysteme umfassen das Kühlsystem, das Gasversorgungssystem usw. Obwohl sie nicht direkt am Kernprozess der Beschichtung beteiligt sind, sind sie entscheidend für den normalen Betrieb der Ausrüstung und die Qualität der Beschichtung. Häufige Fehler sind wie folgt:

Dies äußert sich in einer Überhitzung des Pumpenkörpers, des Targetmaterials und der Heizkomponenten während des Betriebs der Ausrüstung und löst sogar einen Überhitzungsschutz aus und stoppt die Maschine. Die Hauptursachen sind:

• zu niedriger Wasserstand im Kühlwasser, schlechte Wasserqualität führt zu verringerter Kühleffizienz;
• Blockierung oder Biegung der Kühlrohrleitung, schlechter Wasserfluss;
• Pumpenausfall, blockierter Wärmetauscher;
• unsachgemäße Ventilöffnung oder versehentliches Schließen.

Lösungen:

• Überprüfen Sie regelmäßig den Wasserstand des Kühlwassers, füllen Sie das Kühlwasser auf und ersetzen Sie das Kühlwasser regelmäßig, um Algenwachstum und Ablagerungen zu verhindern;
• Beseitigen Sie Verstopfungen in der Kühlrohrleitung, richten Sie gebogene Rohrleitungen gerade aus, um einen reibungslosen Wasserfluss zu gewährleisten;
• Überprüfen Sie den Betriebszustand der Pumpe, reparieren oder ersetzen Sie die defekte Pumpe und reinigen Sie Verstopfungen im Wärmetauscher;
• Überprüfen Sie den Öffnungsgrad der Ventile, um sicherzustellen, dass sie vollständig geöffnet sind.

Dies äußert sich in einem instabilen Prozessgasfluss und der Unfähigkeit zur Versorgung, was zu einer Unterbrechung des Beschichtungsprozesses oder einer Abweichung in der Zusammensetzung der Filmschicht führt. Die Hauptursachen sind:

• Fehlkalibrierung oder Beschädigung des Massendurchflussreglers (MFC);
• Blockierung oder Leckage des Gaswegs;
• unzureichende Gasreinheit und Fehlfunktion des Druckminderungsventils.

Lösungen:

• Kalibrieren Sie den Massendurchflussregler regelmäßig, reparieren oder ersetzen Sie defekte Komponenten;
• inspizieren Sie den Gasweg, beseitigen Sie Verstopfungen, identifizieren und ziehen Sie Leckstellen fest;
• wählen Sie Prozessgas mit qualifizierter Reinheit, überprüfen Sie das Druckminderungsventil und stellen Sie einen stabilen Druck sicher.

Die Wartung von Vakuum-Beschichtungsmaschinen sollte dem Prinzip "Prävention zuerst, Kombination von Prävention und Behandlung" folgen. Durch tägliche Wartung, regelmäßige Wartung und spezielle Wartung können potenzielle Fehler rechtzeitig erkannt, die Lebensdauer der Ausrüstung verlängert und eine stabile Produktion gewährleistet werden. Die Wartungsarbeiten sollten alle Module der Ausrüstung abdecken, mit besonderem Schwerpunkt auf verschleißanfälligen Komponenten und Kernsystemen.

1. Vorab-Inspektion:
   • Überprüfen Sie, ob die Stromversorgung und Verkabelung der Ausrüstung normal sind und ob Beschädigungen oder Lockerungen vorliegen;
   • Überprüfen Sie den Ölstand und die Qualität der Vakuumpumpe und stellen Sie sicher, dass der Ölstand innerhalb der Standardskala liegt und das Öl klar und nicht trüb ist;
   • Überprüfen Sie, ob die Dichtungsringe intakt und sauber sind und ob Alterung oder Beschädigungen vorliegen;
   • Überprüfen Sie das Kühlsystem, um sicherzustellen, dass das Kühlwasser ausreichend ist und der Wasserfluss reibungslos ist;
   • Überprüfen Sie das Gasversorgungssystem, um sicherzustellen, dass der Gasdruck stabil ist und keine Leckagen im Gasweg vorliegen;
   • Überprüfen Sie die Parameter des Bedienfelds, um zu bestätigen, dass sich die Ausrüstung im normalen Standby-Zustand befindet.
2. Wartung nach Abschaltung:
   • Schalten Sie alle Stromversorgungen, Gasventile und Kühlwasserventile der Ausrüstung aus;
   • Reinigen Sie die Innenwände der Vakuumkammer, den Werkstückhalter und das Beobachtungsfenster mit einem fusselfreien Tuch, das in Isopropylalkohol getaucht ist, um verbleibende Beschichtungsmaterialien und Verunreinigungen zu entfernen;
   • Reinigen Sie den Staub auf der Geräteoberfläche, organisieren Sie die Schaltkreise und Rohrleitungen;
   • Erfassen Sie den Betriebszustand, die Fehler und die Prozessparameter der Ausrüstung und erstellen Sie eine Betriebsakte.

1. Wöchentliche Wartung:
   • Überprüfen Sie den Betriebszustand der Vakuumpumpe, hören Sie auf ungewöhnliche Geräusche oder Vibrationen des Pumpenkörpers und reinigen Sie den Staub auf der Oberfläche des Pumpenkörpers;
   • Inspizieren Sie die Dichtungen, reinigen Sie die Dichtungsringe mit wasserfreiem Ethanol, tragen Sie spezielles Schmierfett auf, um die Dichtleistung zu verbessern;
   • Überprüfen Sie die Kühlrohrleitung, beseitigen Sie Verstopfungen im Filter;
   • Inspizieren Sie die Basisvorrichtungen, um sicherzustellen, dass sie sicher befestigt und unverformt sind.
2. Monatliche Wartung:
   • Ersetzen Sie das Vakuumpumpenöl und reinigen Sie die inneren Verunreinigungen des Pumpenkörpers;
   • inspizieren Sie das Vakuummessrohr, reinigen und kalibrieren Sie es;
   • Überprüfen Sie die Heizelemente und Thermoelemente, um sichere Verbindungen und einen normalen Betrieb zu gewährleisten;
   • reinigen Sie die Gasleitungen und identifizieren Sie Leckstellen;
   • führen Sie eine umfassende Reinigung der Vakuumkammer durch und führen Sie bei Bedarf eine Argon-Ionen-Ätzung durch.
3. Vierteljährliche Wartung:
   • Inspizieren Sie den Zustand der Verdampferquelle und des Targetmaterials, ersetzen Sie verschlissene oder verbrauchte Targetmaterialien und Verdampfungsgefäße;
   • Kalibrieren Sie das Filmdickenmessgerät und den Massendurchflussregler, um die Genauigkeit zu gewährleisten;
   • Überprüfen Sie das elektrische Steuerungssystem, reinigen Sie die Steuerplatinen und Sensoren und ziehen Sie die Kabelverbindungen fest;
   • Überprüfen Sie das Kühlsystem, reinigen Sie Ablagerungen im Wärmetauscher und ersetzen Sie gealterte Kühlwasserrohre.
4. Jährliche Wartung:
   • Führen Sie eine umfassende Demontageinspektion der Ausrüstung durch, ersetzen Sie verschlissene Dichtungen, Lager, Filamente und andere leicht beschädigte Komponenten;
   • inspizieren Sie die inneren Rotoren und Schaufeln der Vakuumpumpe, reparieren Sie verschlissene Teile;
   • kalibrieren Sie alle Instrumente und Messgeräte, um genaue Parameter zu gewährleisten;
   • führen Sie Leerlauf-Betriebstests und Prozessvalidierungen an der Ausrüstung durch, um sicherzustellen, dass sie die Leistungsstandards erfüllt;
   • bieten Sie den Bedienern professionelle Schulungen an, um die Betriebsabläufe zu standardisieren.

1. Spezielle Wartung für verschleißanfällige Komponenten:
   • Verschleißanfällige Komponenten wie Dichtungsringe, Filamente, Targetmaterial, Verdampferboot usw. sollten mit Ersatzteilen gemäß der Nutzungshäufigkeit und dem Verschleißzustand vorrätig gehalten und rechtzeitig ersetzt werden, um Geräteausfälle aufgrund von Komponentenschäden zu vermeiden;
   • Überprüfen Sie regelmäßig die Einbaubedingungen der Komponenten, um eine ordnungsgemäße Installation zu gewährleisten und Fehler aufgrund unsachgemäßer Installation zu vermeiden.
2. Wartung unter besonderen Bedingungen:
   • Für Geräte, die in Umgebungen mit hoher Temperatur, hoher Luftfeuchtigkeit und Staub betrieben werden, sollte der Wartungszyklus verkürzt und eine verbesserte Dichtungsschutz- und Reinigungsarbeit durchgeführt werden;
   • Die Inspektionsfrequenz von Kühl- und Vakuumsystemen sollte erhöht werden, um Geräteausfälle aufgrund von Umwelteinflüssen zu verhindern;
   • Regelmäßige Feuchtigkeits- und Staubschutzmaßnahmen sollten an der Ausrüstung durchgeführt werden, um ihre innere Trockenheit und Sauberkeit zu gewährleisten.

1. Vor der Wartung,

   müssen alle Stromversorgungen der Ausrüstung getrennt, Gasventile geschlossen und der Druck in der Vakuumkammer abgelassen werden, um sicherzustellen, dass die Ausrüstung in einem sicheren Zustand ist. Warten Sie, bis die Hochtemperaturkomponenten abgekühlt sind, bevor Sie mit der Arbeit beginnen, um Verbrennungen zu vermeiden.

2. Während des Wartungsprozesses,

   müssen die Bediener Schutzhandschuhe, Schutzbrillen und andere Schutzausrüstung tragen, um das Spritzen von Beschichtungsfragmenten und den Kontakt mit chemischen Reagenzien zu vermeiden.