Συχνές βλάβες των μηχανών επικαλύψεως με κενό και στρατηγικές συντήρησης

Η τεχνολογία επικαλύψεως κενού, ως βασική τεχνολογία στον τομέα της κατασκευής ακριβείας, εφαρμόζεται ευρέως στην ηλεκτρονική, την οπτική, την αυτοκινητοβιομηχανία, την αεροδιαστημική και άλλες βιομηχανίες.μη μέταλλα και άλλα υλικά στην επιφάνεια των υποστρωμάτων σε κενό περιβάλλονΟι μηχανές επικαλύψεως με κενό αποτελούν τον βασικό εξοπλισμό για την υλοποίηση αυτής της διαδικασίας.με σύνθετες δομές και υψηλές απαιτήσεις ακρίβειαςΟι νέες τεχνολογίες, οι οποίες καλύπτουν πολλαπλές βασικές ενότητες, όπως συστήματα κενού, συστήματα επίστρωσης, συστήματα ηλεκτρικού ελέγχου και βοηθητικά συστήματα.επηρεάζονται από παράγοντες όπως το περιβάλλονΤο υλικό αυτό είναι επιρρεπές σε διάφορες βλάβες, οι οποίες όχι μόνο επηρεάζουν την ποιότητα της επικάλυψης και την αποδοτικότητα της παραγωγής, αλλά μπορεί επίσης να μειώσουν τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού. in-depth analysis of the common faults of vacuum coating machines and the formulation of scientific and standardized maintenance strategies are of great significance for ensuring stable production and reducing operation and maintenance costs.

Το παρόν άρθρο, βασισμένο στην αρχή λειτουργίας και στα πρακτικά σενάρια εφαρμογής των μηχανών επικαλύψεως με κενό, αναλύει συστηματικά τις εκδηλώσεις, τις αιτίες και τις λύσεις διαφόρων κοινών σφαλμάτων,και συνοψίζει ολοκληρωμένα σημεία συντήρησηςΠαρέχει αναφορές για τους σχετικούς χειριστές και το προσωπικό συντήρησης, συμβάλλοντας στη βελτίωση της σταθερότητας της λειτουργίας του εξοπλισμού και της αποτελεσματικότητας της παραγωγής.

Η βασική λογική λειτουργίας της μηχανής επίστρωσης κενού είναι να μειώσει την πίεση μέσα στον σφραγισμένο θάλαμο κενού στο απαιτούμενο επίπεδο κενού μέσω της ομάδας αντλίας κενού.χρησιμοποιώντας μεθόδους όπως η εξάτμιση, ψεκασμός και ιόντιση, το υλικό επικάλυψης μετατρέπεται σε αέριο ή πλάσμα, επιτρέποντάς του να αποθηκεύεται ομοιόμορφα στην επιφάνεια του υποστρώματος και σχηματίζοντας ένα πυκνό φιλμ.Η κανονική λειτουργία του εξοπλισμού εξαρτάται από τις επιδόσεις σφράγισης του συστήματος κενού, τη σταθερότητα του συστήματος επικάλυψης, την ακρίβεια του συστήματος ηλεκτρικού ελέγχου και τον συντονισμό των βοηθητικών συστημάτων.Οποιαδήποτε ανωμαλία σε οποιοδήποτε μοντέλο θα οδηγήσει σε βλάβη του εξοπλισμού ή σε κακή ποιότητα της επικάλυψης.

Τα σφάλματα της μηχανής επικαλύψεως κενού εμφανίζονται κυρίως σε τέσσερις μεγάλες μονάδες: το σύστημα κενού, το σύστημα επικαλύψεως, το σύστημα ηλεκτρικού ελέγχου και το βοηθητικό σύστημα.τα σφάλματα του συστήματος κενού και του συστήματος επικάλυψης έχουν το υψηλότερο ποσοστό εμφάνισης και επηρεάζουν άμεσα την επίδραση της διαδικασίαςΕπομένως, πρέπει να τους δοθεί ιδιαίτερη προσοχή.

Το σύστημα κενού είναι το βασικό συστατικό μιας μηχανής επικαλύψεως κενού.διασφάλιση της ομαλής εναπόθεσης του υλικού επικάλυψης και ελαχιστοποίηση της επίδρασης των ακαθαρσιών του αέρα στην ποιότητα της στρώσης φιλμΤα συνηθισμένα λάθη περιλαμβάνουν την αδυναμία επίτευξης του καθορισμένου επιπέδου κενού, την ξαφνική πτώση του επιπέδου κενού και την αδυναμία εκκίνησης της αντλίας κενού.

Πρόκειται για το συχνότερο σφάλμα στο σύστημα κενού, το οποίο εκδηλώνεται όταν το μετρητή κενού παρουσιάζει τιμή σταθερά υψηλότερη από τις απαιτήσεις της διαδικασίας μετά την έναρξη του εξοπλισμού,που δεν μπορεί να επιτύχει την υψηλή κατάσταση κενού που απαιτείται για την επικάλυψηΟι κύριες αιτίες περιλαμβάνουν:

• γήρανση, ρωγμή ή ακατάλληλη εγκατάσταση του δαχτυλιδιού σφράγισης, με αποτέλεσμα κακή σφράγιση της κοιλότητας και διαρροή αέρα·
• χαλαρές συνδέσεις σωλήνων ή μικρές ρωγμές που προκαλούν διαρροή κενού·
• τρύπες βελόνων, ελαττώματα συγκόλλησης ή σοβαρή εσωτερική μόλυνση στο τοίχωμα του θαλάμου κενού που επηρεάζει την απόδοση εξαγωγής κενού·
• μόλυνση, ανεπαρκές επίπεδο ελαίου ή φθορά των στοιχείων του σώματος της αντλίας στην αντλία κενού, με αποτέλεσμα μείωση της ικανότητας αντλίας κενού·
• μόλυνση, βλάβη ή άκυρη βαθμονόμηση του σωλήνα μετρήσεως, με αποτέλεσμα αποκλίσεις ανάγνωσης.

Λύση:

• Πρώτα ελέγξτε το δαχτυλίδι σφράγισης. Καθαρίστε τακτικά το δαχτυλίδι σφράγισης και αντικαταστήστε το κάθε 6-12 μήνες.
• Χρησιμοποιήστε ανιχνευτή διαρροής με φασματομετρητή μάζας ήλιου για να εντοπίσετε τα σημεία διαρροής, να σφίξετε χαλαρούς αγωγούς, να επισκευάσετε ρωγμές, τρύπες, κλπ., και να ελέγξετε ξανά για διαρροές μετά την επισκευή.
• Καθαρίστε τακτικά τα υπολειπόμενα υλικά επικάλυψης και τις ακαθαρσίες στο εσωτερικό τοίχωμα του θαλάμου κενού.
• Ελέγξτε το επίπεδο λάδι και την ποιότητα της αντλίας κενού. αντικαταστήστε το λάδι κενού κάθε 200-500 ώρες εργασίας, διατηρώντας το επίπεδο λάδι πάνω από τη γραμμή κλίμακας. Εάν τα εξαρτήματα του σώματος της αντλίας είναι φθαρμένα,να τα επισκευάσει ή να τα αντικαταστήσει εγκαίρως.
• Καθαρίστε τακτικά τον σωλήνα κενομέτρου, βαθμολογήστε τον μία φορά κάθε 12 μήνες και αντικαταστήστε τον αμέσως εάν έχει υποστεί ζημιά.

Αυτό εκδηλώνεται ως απότομη μείωση του επιπέδου κενού κατά τη λειτουργία του εξοπλισμού, η οποία δεν ανταποκρίνεται στις απαιτήσεις της διαδικασίας.Συνήθως συνοδεύεται από ελαττώματα όπως τρύπες και χρωματικές κηλίδες στο στρώμα επικάλυψηςΟι κύριες αιτίες περιλαμβάνουν:

• βλάβη του σώματος της αντλίας, όπως υπερθέρμανση της αντλίας διάχυσης ή μπλοκάρισμα του περιστροφέα της μηχανικής αντλίας·
• σοβαρή μόλυνση στο εσωτερικό του θαλάμου κενού, με την εξάτμιση υπολειμματικών ουσιών που οδηγεί σε αύξηση του αερίου·
• ανεπαρκής ροή νερού ψύξης, η οποία προκαλεί υπερθέρμανση του σώματος της αντλίας και επηρεάζει την απόδοση της εκτόξευσης κενού·
• βλάβη των σφραγιστικών συμπιεστών στην πορεία νερού της πηγής εξατμίωσης και της περιοχής σφραγίσματος των ηλεκτροδίων υψηλής τάσης, με αποτέλεσμα διαρροή·
• δυσλειτουργία υψηλών βαλβίδων, προ-βαλβίδων κ.λπ., που προκαλεί βλάβη σφράγισης.

Λύση:

• Αμέσως κλείνει όλες οι πηγές θέρμανσης, ενεργοποιεί το άζωτο για να σπάσει το κενό και περιμένει μέχρι να κρυώσει ο θάλαμος πριν την αντιμετώπιση προβλημάτων.
• Ελέγξτε την κατάσταση λειτουργίας της αντλίας κενού, καθαρίστε την αντλία διάχυσης κάθε χρόνο και αντικαταστήστε το ειδικό λάδι.Να το αποσυναρμολογήσω και να το επισκευάσω εγκαίρως.;
• Καθαρίζετε τακτικά τον θάλαμο κενού. Μετά από κάθε 50 κύκλους επικάλυψης, εκτελείτε χαρακτική με ιόντα αργονίου στον θάλαμο για την απομάκρυνση υπολειμματικών μολυσμάτων.
• Ελέγξτε το κύκλωμα του νερού ψύξης για να βεβαιωθείτε ότι ο ρυθμός ροής δεν είναι μικρότερος από 5L/min, καθαρίστε τα μπλοκαρίσματα στον αγωγό και εξασφαλίστε την κανονική λειτουργία του συστήματος ψύξης.
• Αντικαταστήστε την κατεστραμμένη σφραγίδα σφράγισης, επιθεωρήστε και συντηρήστε τις βαλβίδες για να εξασφαλιστεί αξιόπιστη σφραγίδα.

Αυτό εκδηλώνεται ως έλλειψη απόκρισης από το σώμα της αντλίας μετά το πάτημα του κουμπιού εκκίνησης και δεν μπορεί να εισέλθει στην κατάσταση άντλησης κενού.

• σφάλμα ρεύματος, όπως ασταθής τάση, βραχυκύκλωμα ή τήξη ασφάλειας·
• η προστασία από βλάβη του κινητήρα ή υπερθέρμανση ενεργοποιείται·
• σοβαρή μόλυνση του ελαίου στο εσωτερικό της αντλίας ή ανεπαρκές επίπεδο ελαίου, με αποτέλεσμα να κολλήσει το σώμα της αντλίας·
• σφάλματα στα ρελέ και τους επαγγελιστές, με καμένες ή κολλημένες επαφές.

Λύση:

• Πρώτα, ελέγξτε τις γραμμές ηλεκτρικής ενέργειας και τη σταθερότητα της τάσης. Βεβαιωθείτε ότι η διακύμανση της τάσης είναι εντός ± 5%.
• Εάν ο κινητήρας υπερθερμανθεί, περιμένετε μέχρι το σώμα της αντλίας να κρυώσει και στη συνέχεια επανεκκινήστε το.
• Ελέγξτε το επίπεδο και την ποιότητα του ελαίου της αντλίας κενού.
• Ελέγξτε τους αναμεταδιδαστές και τους επαγγελλόμενους.

Το σύστημα επικάλυψης είναι υπεύθυνο για τη μετατροπή του υλικού επικάλυψης σε αέριο ή πλάσμα και την εναπόθεσή του στην επιφάνεια του υποστρώματος.Οι αδυναμίες του εκδηλώνονται κυρίως ως μη συμμόρφωση με τα πρότυπα ποιότητας του στρώματος επικάλυψης, όπως η αποκόλληση του στρώματος επικάλυψης, το άνιμο πάχος και η επιδείνωση της ποιότητας της επικάλυψης, τα οποία επηρεάζουν άμεσα το ποσοστό προσόντων των προϊόντων.

Αυτό εκδηλώνεται ως διαχωρισμός του στρώματος του φιλμ από την επιφάνεια του υποστρώματος και το ξεφλούδισμα σε μεγάλα σημεία, με εξαιρετικά κακή προσκόλληση.

• μόλυνση της επιφάνειας του υποστρώματος, όπως η παρουσία λεκέδων ελαίου, υγρασίας, σκόνης και άλλων προσμείξεων·
• ανεπαρκής ψήσιμο και καθαρισμός του υπόστρωμα πριν από την επικάλυψη, με αποτέλεσμα στρώμα οξειδίου στην επιφάνεια του υπόστρου·
• υπερβολική πίεση στο στρώμα φιλμ, η οποία δεν αντιστοιχεί στον συντελεστή θερμικής διαστολής του υποστρώματος·
• απόκλιση της πηγής εξάτμισης και της θέσης στόχου ψεκασμού, που οδηγεί σε άνιση κατάθεση της στρώσης φιλμ,
• και μη φυσιολογική λειτουργία της πηγής ιόντων, με ανεπαρκή καθαρισμό από βομβαρδισμό πριν από την επικάλυψη.

Λύση:

• Ενισχύεται η προεπεξεργασία του υποστρώματος, χρησιμοποιώντας υπερηχητικό καθαρισμό (δειονισμένο νερό + αλκοόλ) σε συνδυασμό με βομβαρδισμό ιόντων (προκατάληψη - 800V έως -1200V,Η καθαρότητα της επιφάνειας του υποστρώματος φτάνει το επίπεδο των ατόμων.;
• Πριν από την επικάλυψη, το υπόστρωμα ψήνεται πλήρως, το μεταλλικό υπόστρωμα θερμαίνεται στους 150-200 °C για την απελευθέρωση της εσωτερικής πίεσης και το πλαστικό υπόστρωμα ελέγχεται κάτω των 80 °C για την αποφυγή παραμόρφωσης.
• Βελτιστοποίηση των παραμέτρων της διαδικασίας, προσαρμογή της αντιστοίχισης μεταξύ του υλικού επικάλυψης και του υποστρώματος για τη μείωση της έντασης του στρώματος φιλμ.
• Ρυθμίζει τη θέση της πηγής εξατμίσεως και του στόχου, εξασφαλίζει την ευθυγράμμιση με το κέντρο του υποστρώματος, χρησιμοποιεί εργαλεία για την στερέωση του υποστρώματος, αποφεύγει την παρεμπόδιση.
• Ελέγξτε την κατάσταση λειτουργίας της πηγής ιόντων για να βεβαιωθείτε ότι έχει ολοκληρωθεί ο καθαρισμός πριν από τον βομβαρδισμό πριν από την επικάλυψη.

Αυτό εκδηλώνεται ως απόκλιση μεγαλύτερη από ± 5% στο πάχος του στρώματος μεμβράνης στην ίδια επιφάνεια υποστρώματος ή σε διαφορετικές επιφάνειες υποστρώματος,που δεν πληροί τις απαιτήσεις της διαδικασίαςΟι κύριες αιτίες περιλαμβάνουν:

• απόκλιση της πηγής εναπόθεσης ή ασταθής ταχύτητα περιστροφής του χωνευτή;
• το υπόστρωμα δεν είναι σταθερά στερεωμένο ή παρεμποδίζεται, δυσλειτουργία του μηχανισμού περιστροφής·
• παρεμβολές από μαγνητικά και ηλεκτρικά πεδία που προκαλούν εκτροπή της δέσμης·
• βλάβη της βαθμονόμησης του μετρητή πάχους (εξοπλισμού ελέγχου κρυστάλλων), απόκλιση της θέσης του ανιχνευτή ή μόλυνση·
• διακυμάνσεις στις παραμέτρους της διαδικασίας, όπως ασταθής ρυθμός εξάτμισης και άνιση ροή αερίου.

Λύση:

• Προσαρμόζοντας τη θέση της πηγής εναποθέσεων ώστε να ευθυγραμμίζεται με το κέντρο του υποστρώματος, ελέγχοντας την ταχύτητα περιστροφής του χωνευτή, διορθώνοντας τυχόν σφάλματα στον μηχανισμό περιστροφής.
• Χρησιμοποιούν μηχανήματα για τη στερέωση του υποστρώματος, αποφεύγοντας τυχόν εμπόδια και εξασφαλίζοντας ομοιόμορφη περιστροφή του υποστρώματος·
• Ελέγξτε τις παραμέτρους των ηλεκτρομαγνητικών περιτυλίξεων, βελτιστοποιήστε την τροχιά της δέσμης και μειώστε τις ηλεκτρομαγνητικές παρεμβολές.
• Το όργανο ελέγχου των κρυστάλλων βαθμολογείται κάθε τρίμηνο με τη χρήση τυποποιημένων φύλλων πάχους φιλμ, καθαρίζεται η επιφάνεια του ανιχνευτή και ρυθμίζεται ο ανιχνευτής στη βέλτιστη θέση 5-10 cm από το υπόστρωμα.
• Σταθεροποιείται η τάση τροφοδοσίας για να εξασφαλίζεται σταθερός ρυθμός εξάτμισης και ροής αερίου και ελέγχεται το σφάλμα ακρίβειας του μετρητή ροής αερίου εντός ± 1%.

Αυτό εκδηλώνεται ως τρύπες, κηλίδες χρώματος, ομίχλη και άλλα ελαττώματα στο στρώμα του φιλμ, και οι δείκτες απόδοσης όπως η λάμψη, η σκληρότητα και η αντοχή στην φθορά δεν πληρούν τα πρότυπα.Οι κύριες αιτίες περιλαμβάνουν::

• ο θάλαμος κενού δεν έχει εκκενωθεί πλήρως και υπάρχουν υπολειπόμενες ακαθαρσίες, όπως υδρατμοί και οξυγόνο·
• η διαρροή αέρα κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επικάλυψης οδηγεί σε μόλυνση αερίων·
• το υλικό φιλμ απορροφά υγρασία ή περιέχει ακαθαρσίες και παράγονται ρύποι κατά την εξάτμιση και την ψεκασμό·
• το σύστημα νήματος και δέσμης είναι ανώμαλο, με αποτέλεσμα ανεπαρκή ιονισμό του υλικού επικάλυψης·
• το σύστημα θέρμανσης αποτυγχάνει, με αποτέλεσμα η θερμοκρασία του υποστρώματος να μην φτάνει την καθορισμένη τιμή ή να διαφέρει υπερβολικά.

Λύση:

• Πριν από την επικάλυψη, εκκενώνεται ο θάλαμος κενού σε πίεση ≤ 5*10−4 Pa και πραγματοποιείται ψήσιμο για την απομάκρυνση των υπολειμματικών αερίων στον θάλαμο κενού.
• να ελέγχει όλες τις διεπαφές σφράγισης, να αντικαθιστά παλαιά εξαρτήματα σφράγισης για να αποφεύγεται η διαρροή αέρα·
• προχυτώνουν το υλικό επικάλυψης στον θάλαμο κενού πριν από τη χρήση για την απομάκρυνση υγρασίας και προσμείξεων και επιλέγουν κατάλληλα καθαρά υλικά επικάλυψης·
• Ελέγξτε την κατάσταση του νήματος, αντικαταστήστε τα καμμένα ή παλαιότερα νήματα, βεβαιωθείτε ότι η θέση εγκατάστασης είναι στο κέντρο, επαναφέρετε το όριο δέσμης στο μηδέν μετά την προδιάλυση και, στη συνέχεια, ξεκινήστε.
• να ελέγχει τα στοιχεία θέρμανσης, τον ελεγκτή θερμοκρασίας και το θερμοσύνδεσμο, να επιδιορθώνει τυχόν βραχυκυκλώματα ή προβλήματα επαφής, να επαναπροσαρμόζει τις παραμέτρους PID του ελεγκτή θερμοκρασίας,ρυθμίζει το θερμοσύνδεσμο στην κεντρική θέση του υποστρώματος, και βαθμονόμηση ετησίως.

Το ηλεκτρικό σύστημα ελέγχου είναι ο "εγκέφαλος" της μηχανής επικαλύψεως κενού, υπεύθυνος για το συντονισμό της λειτουργίας των διαφόρων μονάδων.Οι αποτυχίες του εκδηλώνονται κυρίως όταν το πάνελ λειτουργίας δεν ανταποκρίνεται., μη φυσιολογική εμφάνιση παραμέτρων και απώλεια ελέγχου του προγράμματος, με αποτέλεσμα να μην μπορεί να λειτουργήσει κανονικά ο εξοπλισμός.

Εάν ο πίνακας χειρισμού δεν ανταποκρίνεται ή η οθόνη παραμέτρων είναι ανώμαλη, αυτό συνήθως οφείλεται στο πίνακα ελέγχου να υγρανθεί ή να καλύπτεται από σκόνη, η σύνδεση αισθητήρα να είναι χαλαρή ή να έχει υποστεί ζημιά,Λύση: Καθαρίστε τακτικά το ντουλάπι ελέγχου με στεγνό συμπιεσμένο αέρα για να αποφεύγετε την υγρασία και τη σκόνη στην σανίδα ελέγχου.επισκευή χαλαρών συνδέσμων, και να αντικαταστήσουν τους ελαττωματικούς αισθητήρες, να επανεκκινήσουν το σύστημα ή να εγκαταστήσουν εκ νέου το λογισμικό ελέγχου για να αποκατασταθεί η κανονική λειτουργία του προγράμματος.Όταν το πρόγραμμα είναι εκτός ελέγχου και οι παράμετροι της διαδικασίας δεν μπορούν να ρυθμιστούν, προκαλείται συνήθως από βλάβη του βιομηχανικού υπολογιστή PLC, διακοπή επικοινωνίας ή βλάβη μετατροπέα.Επισκευή προβλημάτων διακοπής επικοινωνίας- ελέγξτε τον μετατροπέα, ερευνήστε το υπερφόρτωμα, την υπερτάταση, το υπερστροφικό ρεύμα και άλλες πληροφορίες συναγερμού και επισκευάστε ή αντικαταστήστε ελαττωματικά εξαρτήματα.

Τα βοηθητικά συστήματα περιλαμβάνουν το σύστημα ψύξης, το σύστημα τροφοδοσίας αερίου κλπ. Αν και δεν συμμετέχουν άμεσα στη βασική διαδικασία της επικάλυψης,είναι ζωτικής σημασίας για την κανονική λειτουργία του εξοπλισμού και την ποιότητα της επικάλυψηςΤα πιο συνηθισμένα σφάλματα είναι τα ακόλουθα:

Αυτό εκδηλώνεται ως υπερθέρμανση του σώματος της αντλίας, του υλικού-στόχου και των εξαρτημάτων θέρμανσης κατά τη λειτουργία του εξοπλισμού, ακόμη και ενεργοποίηση προστασίας από υπερθέρμανση και διακοπή λειτουργίας της μηχανής.Οι κύριες αιτίες περιλαμβάνουν::

• πολύ χαμηλό επίπεδο νερού στο νερό ψύξης, κακή ποιότητα νερού που οδηγεί σε μειωμένη απόδοση ψύξης·
• βλάβη ή κάμψη του αγωγού ψύξης, κακή ροή νερού·
• βλάβη της αντλίας, μπλοκάρισμα του εναλλάκτη θερμότητας·
• ακατάλληλο άνοιγμα ή τυχαίο κλείσιμο βαλβίδας.

Λύσεις:

• Ελέγξτε τακτικά το επίπεδο νερού του νερού ψύξης, συμπληρώστε το νερό ψύξης και αντικαταστήστε το νερό ψύξης τακτικά για να αποφεύγετε την ανάπτυξη και την απολέπιση των φύλλων.
• αφαίρεση των φραγμών στον αγωγό ψύξης, διόρθωση των λυγισμένων αγωγών για να εξασφαλιστεί ομαλή ροή νερού·
• ελέγχει την κατάσταση λειτουργίας της αντλίας, επιδιορθώνει ή αντικαθιστά την ελαττωματική αντλία και καθαρίζει τα μπλοκάρισμα στον εναλλάκτη θερμότητας·
• Ελέγξτε τον βαθμό ανοίγματος των βαλβίδων για να βεβαιωθείτε ότι είναι πλήρως ανοικτές.

Αυτό εκδηλώνεται ως ασταθής ροή αερίων της διαδικασίας και αδυναμία παροχής, με αποτέλεσμα τη διακοπή της διαδικασίας επίχρισσης ή απόκλιση στη σύνθεση του στρώματος φιλμ.

• βλάβη ή βλάβη της βαθμονόμησης του ελεγκτή ροής μάζας (MFC) ·
• απόφραξη ή διαρροή της διαδρομής αερίου·
• ανεπαρκής καθαρότητα αερίου και δυσλειτουργία της βαλβίδας μείωσης πίεσης.

Λύσεις:

• Τακτικά βαθμονόμηση του ελεγκτή ροής μάζας, επισκευή ή αντικατάσταση ελαττωματικών εξαρτημάτων·
• να επιθεωρεί το διάδρομο αερίου, να απομακρύνει τα μπλοκαρίσματα, να εντοπίζει και να σφίγγει τα σημεία διαρροής·
• Επιλέξτε αέριο διαδικασίας με ειδική καθαρότητα, ελέγξτε τη βαλβίδα μείωσης πίεσης και εξασφαλίστε σταθερή πίεση.

Η συντήρηση των μηχανών επικαλύψεως υπό κενό πρέπει να ακολουθεί την αρχή της "προληπτικής πρώτης ανάγκης, συνδυασμού της πρόληψης και της θεραπείας".τακτική και ειδική συντήρησηΗ εργασία συντήρησης πρέπει να καλύπτει όλες τις μονάδες του εξοπλισμού,με ιδιαίτερη έμφαση στα μέρη και τα βασικά συστήματα που είναι επιρρεπή σε φθορά.

1. Επιθεώρηση πριν από την έναρξη λειτουργίας:
   • Ελέγξτε εάν η παροχή ενέργειας και η καλωδίωση του εξοπλισμού είναι κανονικές και εάν υπάρχουν ζημίες ή χαλαρότητα.
   • Ελέγξτε το επίπεδο και την ποιότητα του ελαίου της αντλίας κενού, διασφαλίζοντας ότι το επίπεδο του ελαίου βρίσκεται εντός της τυπικής κλίμακας και ότι το έλαιο είναι διαυγές χωρίς θολούλες ουσίες.
   • Ελέγξτε εάν οι δαχτυλίδες σφράγισης είναι άθικτες και καθαρές και εάν υπάρχει κάποια γήρανση ή βλάβη.
   • Ελέγξτε το σύστημα ψύξης για να βεβαιωθείτε ότι το νερό ψύξης είναι επαρκές και ότι η ροή του νερού είναι ομαλή.
   • Ελέγξτε το σύστημα τροφοδοσίας αερίου για να βεβαιωθείτε ότι η πίεση του αερίου είναι σταθερή και ότι δεν υπάρχει διαρροή στη διαδρομή αερίου·
   • Ελέγξτε τις παραμέτρους του πίνακα χειρισμού για να επιβεβαιώσετε ότι ο εξοπλισμός βρίσκεται σε κανονική κατάσταση αναμονής.
2. Συντήρηση μετά το κλείσιμο:
   • Κλείστε όλες τις πηγές ρεύματος, τις βαλβίδες αερίου και τις βαλβίδες ψύξης νερού του εξοπλισμού.
   • Καθαρίστε τα εσωτερικά τοιχώματα του θαλάμου κενού, τον θήκη για το εργασιακό κομμάτι και το παράθυρο παρατήρησης.Χρησιμοποιώντας ένα ύφασμα χωρίς πτερύγια βουτηγμένο σε ισοπροπυλική αλκοόλη για την αφαίρεση τυχόν υπολειπόμενων υλικών επικάλυψης και προσμείξεων;
   • Καθαρίστε τη σκόνη στην επιφάνεια του εξοπλισμού, οργανώστε τα κυκλώματα και τους αγωγούς.
   • Καταγράφεται η κατάσταση λειτουργίας του εξοπλισμού, τα σφάλματα και οι παράμετροι της διαδικασίας και δημιουργείται φάκελος λειτουργίας.

1. Εβδομαδιαία συντήρηση:
   • Ελέγξτε την κατάσταση λειτουργίας της αντλίας κενού, ακούστε για τυχόν μη φυσιολογικούς ήχους ή δονήσεις από το σώμα της αντλίας και καθαρίστε την επιφανειακή σκόνη του σώματος της αντλίας.
   • Επιθεωρήστε τις σφραγίδες, καθαρίστε τους δακτυλίους σφραγίδωσης με άνυδρη αιθανόλη, εφαρμόστε ειδικό λιπαντικό λίπος για να βελτιώσετε τις επιδόσεις σφραγίδωσης.
   • Ελέγξτε τον αγωγό ψύξης, καθαρίστε τα μπλοκάρισμα στο φίλτρο.
   • Ελέγξτε τα στερεόστρωμα της βάσης για να βεβαιωθείτε ότι είναι σταθερά στερεωμένα και χωρίς παραμόρφωση.
2. Ημερήσια συντήρηση:
   • Αντικαταστήστε το λάδι της αντλίας κενού και καθαρίστε τις εσωτερικές ακαθαρσίες του σώματος της αντλίας.
   • να ελέγχει τον σωλήνα μετρητή κενού, να τον καθαρίζει και να τον βαθμολογεί·
   • ελέγχει τα θερμαντικά στοιχεία και τα θερμοσύνδετα για να εξασφαλίζεται η ασφαλή σύνδεση και η κανονική λειτουργία·
   • καθαρίζουν τους αγωγούς αερίου και εντοπίζουν τυχόν σημεία διαρροής·
   • διενεργεί ολοκληρωμένο καθαρισμό του θαλάμου κενού και, εάν είναι αναγκαίο, επιγράφει ιόντα αργονίου.
3. Τρίμηνη συντήρηση:
   • Ελέγχουν την πηγή εξάτμισης και την κατάσταση του υλικού-στόχου, αντικαθιστούν τα φθαρμένα ή εξαντλημένα υλικά-στόχους και τα δοχεία εξάτμισης·
   • Καλιμπράρει το μέτρο πάχους φιλμ και τον ελεγκτή ροής μάζας για να εξασφαλιστεί η ακρίβεια·
   • Ελέγξτε το ηλεκτρικό σύστημα ελέγχου, καθαρίστε τις πλακέτες ελέγχου και τους αισθητήρες και σφίξτε τις συνδέσεις καλωδίων.
   • Ελέγξτε το σύστημα ψύξης, καθαρίστε τα εσωτερικά αποθέματα στον εναλλάκτη θερμότητας και αντικαταστήστε τους παλιούς σωλήνες ψύξης.
4. Ετήσια συντήρηση:
   • Να διενεργείται ολοκληρωμένη επιθεώρηση αποσυναρμολόγησης του εξοπλισμού, να αντικαθίστανται φθαρμένες σφραγίδες, ρυμουλκούμενα, νήματα και άλλα εύκολα κατεστραμμένα εξαρτήματα·
   • να ελέγχει τους εσωτερικούς περιστροφείς και τις λεπίδες της αντλίας κενού, να επισκευάζει τα φθαρμένα μέρη·
   • να βαθμολογούν όλα τα όργανα και τους μετρητές ώστε να εξασφαλίζεται η ακρίβεια των παραμέτρων·
   • εκτελεί δοκιμές λειτουργίας χωρίς φορτίο και επικύρωση διαδικασιών για τον εξοπλισμό, ώστε να διασφαλίζεται ότι πληροί τα πρότυπα επιδόσεων·
   • παρέχει επαγγελματική κατάρτιση στους χειριστές για την τυποποίηση των διαδικασιών λειτουργίας.

1. Ειδική συντήρηση για τα μέρη ευάλωτα στην φθορά:
   • Τα συστατικά που είναι επιρρεπή στην φθορά, όπως οι δαχτυλίδια σφράγισης, το νήμα, το υλικό-στόχο, το σκάφος εξάτμισης κ.λπ., θα πρέπει να αποθηκεύονται εκ των προτέρων με ανταλλακτικά σύμφωνα με τη συχνότητα χρήσης και την κατάσταση φθοράς.και αντικατασταθεί εγκαίρως για να αποφευχθεί η διακοπή λειτουργίας του εξοπλισμού λόγω βλάβης των εξαρτημάτων;
   • Ελέγξτε τακτικά τις συνθήκες εγκατάστασης των εξαρτημάτων για να εξασφαλιστεί η ορθή εγκατάσταση και να αποφεύγονται σφάλματα που προκαλούνται από ακατάλληλη εγκατάσταση.
2. Ειδική συντήρηση:
   • Για τον εξοπλισμό που λειτουργεί σε περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας, υψηλής υγρασίας και σκόνης, ο κύκλος συντήρησης θα πρέπει να συντομεύεται και θα πρέπει να πραγματοποιούνται ενισχυμένες εργασίες προστασίας της σφραγίδας και καθαρισμού·
   • η συχνότητα επιθεώρησης των συστημάτων ψύξης και των συστημάτων κενού θα πρέπει να αυξάνεται για την πρόληψη αποτυχιών του εξοπλισμού που προκαλούνται από περιβαλλοντικούς παράγοντες·
   • πρέπει να διεξάγονται τακτικές επεξεργασίες ενάντια στην υγρασία και στην σκόνη για να εξασφαλίζεται η εσωτερική ξηρότητα και καθαρότητα του εξοπλισμού.

1. Πριν από τη συντήρηση,

   πρέπει να αποσυνδέονται όλες οι πηγές τροφοδοσίας του εξοπλισμού, να κλείνονται οι βαλβίδες αερίου και να απελευθερώνεται η πίεση εντός του θαλάμου κενού, ώστε να εξασφαλίζεται η ασφαλή κατάσταση του εξοπλισμού.Περιμένετε μέχρι τα υψηλής θερμοκρασίας στοιχεία να κρυώσουν πριν προχωρήσει με τη λειτουργία για να αποφευχθούν εγκαύματα.

2. Κατά τη διαδικασία συντήρησης,

   οι χειριστές πρέπει να φορούν προστατευτικά γάντια, γυαλιά προστασίας και άλλο προστατευτικό εξοπλισμό για την αποτροπή της ψεκασμού των θραυστών της επικάλυψης και της επαφής με χημικά αντιδραστήρια.